理想的な真空超高真空 UHV 空気圧ゲート バルブ Con flat CF 2.75 インチ フランジ、リンケージ ロック、バイトン ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス鋼。 CF 2.75 インチボルトダウンフランジ、1/4-28 UNF ネジ、リードスイッチ位置インジケーター付き。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、1/4-28 UNF ブラインドタップ穴付きの Con flat CF 2.75 インチ (DN CF35) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。これらの小型の空気圧操作真空ゲート バルブは、電力または空気圧の喪失時にバルブを閉じたままロックするレバー リンク ロック機構を使用して構築されています。これらの UHV ゲート バルブは、保守が必要になるまでの標準寿命が 100,000 サイクルで、耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。オープンおよびクローズのリードセンサー位置スイッチが含まれています。位置センサーは、インジケーターライトを作動させるために使用したり、より複雑または自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。当社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク率が 3.75 x 10-10 Torr l/秒未満と低く、ゲートが開いている状態で 200 °C (ゲートが閉じている状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じている場合)。ソレノイド バルブ: 当社では、12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の電圧の空気圧バルブ用のソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ソレノイドをゲート バルブのボンネット フランジに取り付けるために使用されるファスナー付き取り付けブラケット、およびゲート バルブの空気圧接続継手間を接続するための柔軟な外径 1/4 インチ エアラインが含まれています。シリンダーとソレノイドバルブです。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

理想的な真空 UltraLock 超高真空 UHV 空気圧ゲート バルブ Con flat CF 4.50 インチ フランジ、ボール溝ロック、バイトン ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス鋼。 CF 4.5 インチボルトダウンフランジ、5/16-24 UNF ネジ、リードスイッチ位置インジケーター付き。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、5/16-24 UNF ブラインドタップ穴を備えた Con flat CF 4.5 インチ (DN CF63) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム空気圧操作真空ゲート バルブは、革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されており、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックしたままにし、摩耗を軽減し、動作寿命を延ばします。これらの UltraLock ゲート バルブは、保守が必要になるまでの標準寿命が 100,000 サイクルで、耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。簡単に見える外部位置インジケーターと位置センサー スイッチが、すべての空気圧 UltraLock ゲート バルブに標準装備されています。UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 超高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、無潤滑ボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の深さの減少する溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 100,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。当社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク率が 3.75 x 10-10 Torr l/秒未満と低く、ゲートが開いている状態で 200 °C (ゲートが閉じている状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じている場合)。位置インジケーター: 当社の UltraLock シリーズの空気圧ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (空気圧ピストンの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。空気圧 UltraLock ゲート バルブには、バルブの空気圧シリンダーに取り付けられた開閉リード センサー スイッチも含まれています。これらのスイッチは、表示灯を作動させるために使用したり、より複雑なまたは自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。ソレノイド バルブ: 電圧 12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の空気圧バルブ用のソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ソレノイドをゲート バルブのボンネット フランジに取り付けるために使用されるファスナー付き取り付けブラケット、およびゲート バルブの空気圧接続継手間を接続するための柔軟な外径 1/4 インチ エアラインが含まれています。シリンダーとソレノイドバルブです。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 空気圧ゲート バルブ Conflat CF 6.0 インチ フランジ、ボール グルーブ ロック、Viton ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス スチール。CF 6.0 インチ ボルト ダウン フランジ、5/16-24 UNF スレッド、リード スイッチ位置インジケーター付き。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、5/16-24 UNF ブラインド タップ穴付きの Conflat CF 6.0 インチ (DN CF 100) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) 定格で、ISO 3669:2020 に記載されているナイフ エッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。当社の新しい UltraLock シリーズの高級空気圧式真空ゲート バルブは、革新的なボール アンド グルーブ ロック機構を使用して製造されており、電力または空気圧が失われたときにバルブが閉じた状態に保たれ、摩耗が軽減され、動作寿命が延びます。これらの UltraLock ゲート バルブは、通常 100,000 サイクルでメンテナンスが必要になり、耐腐食性の 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。すべての空気圧式 UltraLock ゲート バルブには、見やすい外部位置インジケータと位置センサー スイッチが標準装備されています。UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 超高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボール アンド グルーブ機構を採用しています。バルブ本体内には、ゲートが取り付けられている無潤滑ボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあります。バルブが作動すると、キャリッジとゲートは真空ポートに向かってスライドし、キャリッジがバルブ本体の端に到達します。これにより、ゲートはポートと同心の位置になります。キャリッジに圧力がかかり続けると、キャリッジとゲートの間の深さが徐々に浅くなる溝に載っているステンレス鋼のボールのセットがゲートに外向きの圧力をかけます。この外向きの力によってゲートが閉じた位置に押し出されます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、通常、メンテナンスが必要になるまで 100,000 サイクルという長寿命を実現します。UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Conflat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シーリング ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間シールを形成します。当社の Conflat UHV UltraLock バルブは、リーク率が 3.75 x 10-10 Torr l/sec 未満と低く、ゲートを開いた状態で 200 °C まで加熱可能 (ゲートを閉じた状態で 150 °C) です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールに Viton O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに限定されます。KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブは、リーク率が 1.5 x 10-9 Torr l/sec で、150 °C まで加熱可能 (バルブを開いた状態または閉じた状態) です。位置インジケーター: 当社の UltraLock シリーズの空気圧ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (空気圧ピストンの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。空気圧 UltraLock ゲート バルブには、バルブの空気圧シリンダーに取り付けられた開および閉リード センサー スイッチも含まれています。これらのスイッチは、インジケータ ライトをアクティブにしたり、より複雑な真空保護システムや自動化された真空保護システムを制御したりするために使用できます。ソレノイド バルブ: 電圧 12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の空気圧バルブ用ソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ゲート バルブのボンネット フランジにソレノイドを取り付けるための留め具付き取り付けブラケット、ゲート バルブの空気圧シリンダーのプッシュ ツー コネクト フィッティングとソレノイド バルブを接続するための柔軟な 1/4 インチ OD エアラインが含まれています。仕様: 当社の Ideal Vacuum UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) アプリケーション向けに設計されており、クライオ、ターボ、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。使用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、12 インチ サイズ、ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、-630 サイズ、クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50 があります。詳細については、ダウンロードを参照してください。

理想的な真空 UltraLock 超高真空 UHV 空気圧ゲート バルブ Con flat CF 8.0 インチ フランジ、ボール溝ロック、バイトン ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス鋼。 CF 8.0 インチボルトダウンフランジ、5/16-24 UNF ネジ、リードスイッチ位置インジケーター付き。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、5/16-24 UNF ブラインドタップ穴を備えた Con flat CF 8.0 インチ (DN CF150) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム空気圧操作真空ゲート バルブは、革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されており、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックしたままにし、摩耗を軽減し、動作寿命を延ばします。これらの UltraLock ゲート バルブは、保守が必要になるまでの標準寿命が 50,000 サイクルで、耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。簡単に見える外部位置インジケーターと位置センサー スイッチが、すべての空気圧 UltraLock ゲート バルブに標準装備されています。UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 超高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、無潤滑ボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の浅くなる溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 50,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。弊社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク量が 3.75 x 10-10 Torr l/sec 未満と低く、ゲートが開いた状態で 200 °C (ゲートが閉じた状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じている場合)。位置インジケーター: 当社の UltraLock シリーズの空気圧ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (空気圧ピストンの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。空気圧 UltraLock ゲート バルブには、バルブの空気圧シリンダーに取り付けられた開閉リード センサー スイッチも含まれています。これらのスイッチは、表示灯を作動させるために使用したり、より複雑なまたは自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。ソレノイド バルブ: 電圧 12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の空気圧バルブ用のソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ソレノイドをゲート バルブのボンネット フランジに取り付けるために使用されるファスナー付き取り付けブラケット、およびゲート バルブの空気圧接続継手の間を接続するための柔軟な外径 1/4 インチ エアラインが含まれています。シリンダーとソレノイドバルブです。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

Ideal Vacuum UltraLock 超高真空 UHV 空気圧ゲートバルブ Con flat CF 10.0 インチ フランジ、ボール溝ロック、バイトン ゲートおよび銅製ボンネット シール、304 ステンレス鋼。 CF 10.0 インチボルトダウンフランジ、5/16-24 UNF ネジ、リードスイッチ位置インジケーター付き。これらの Ideal Vacuum UltraLock™ 空気圧操作ゲート バルブには、5/16-24 UNF ブラインドタップ穴を備えた Con flat CF 10.0 インチ (DN CF200) 真空フランジが付いています。これらは超高真空 (UHV) に対応しており、ISO 3669:2020 に記載されているナイフエッジ フランジの真空技術規格に準拠しています。当社の新しい UltraLock シリーズのプレミアム空気圧操作真空ゲート バルブは、革新的なボールと溝のロック機構を使用して構築されており、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保ち、摩耗を軽減し、動作寿命を延ばします。これらの UltraLock ゲート バルブは、保守が必要になるまでの標準寿命が 50,000 サイクルで、耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。簡単に見える外部位置インジケーターと位置センサー スイッチが、すべての空気圧 UltraLock ゲート バルブに標準装備されています。UltraLock ロック機構: 当社の UltraLock 超高真空ゲート バルブは、バルブをロックするために独創的なボールと溝の機構を採用しています。バルブ本体の内部には、無潤滑ボール ベアリングを備えたローリング キャリッジがあり、その上にゲートが取り付けられています。バルブが作動すると、キャリッジがバルブ本体の端に到達するまで、キャリッジとゲートが真空ポートに向かってスライドします。これにより、ゲートがポートと同心円状に配置されます。キャリッジに継続的に圧力がかかると、一連のステンレス鋼のボールがキャリッジとゲートの間の浅くなる溝に乗り、ゲートに外向きの圧力を加えます。この外向きの力により、ゲートが閉じた位置に押し込まれます。外向きの圧力によってゲートの O リング シールがバルブ本体のシール面に押し付けられるため、漏れのないシールが得られます。これらのバルブは、保守が必要になるまでに 50,000 サイクルの長い寿命を達成するのが一般的です。 UHV バージョンと HV バージョン: 当社の Con flat CF フランジ ゲート バルブは UHV 定格です。ベローズはボンネット プレートに溶接され、無酸素高熱伝導率 (OFHC) 銅シール ガスケットとフランジ ナイフ エッジがボンネット プレートとバルブ本体の間に必要な金属間のシールを形成します。弊社の Con flat UHV UltraLock バルブは、リーク量が 3.75 x 10-10 Torr l/sec 未満と低く、ゲートが開いた状態で 200 °C (ゲートが閉じた状態で 150 °C) までベーク可能です。当社の KF および ISO-F フランジ ゲート バルブは、ベローズとボンネット プレート シールにバイトン O リングを使用しているため、到達圧力が 3x10-8 Torr までの高真空 (HV) 用途に限定されます。 KF および ISO-F シリーズの UltraLock バルブのリーク量は 1.5 x 10-9 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いているか閉じていても)。位置インジケーター: 当社の UltraLock シリーズの空気圧ゲート バルブにはすべて、目に見える外部位置インジケーター (空気圧ピストンの下に便利に取り付けられた白いリング) が含まれています。空気圧 UltraLock ゲート バルブには、バルブの空気圧シリンダーに取り付けられた開閉リード センサー スイッチも含まれています。これらのスイッチは、表示灯を作動させるために使用したり、より複雑なまたは自動化された真空保護システムを制御するために使用したりできます。ソレノイド バルブ: 当社では、12 VDC、24 VDC、および 120 VAC の電圧の空気圧バルブ用のソレノイド キットを提供しています。ソレノイド キットは別売りで、ソレノイド バルブ、ソレノイドをゲート バルブのボンネット フランジに取り付けるために使用されるファスナー付き取り付けブラケット、およびゲート バルブの空気圧接続継手の間を接続するための柔軟な外径 1/4 インチ エアラインが含まれています。シリンダーとソレノイドバルブです。仕様: 当社の理想真空 UltraLock ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) 用途向けに設計されており、多くの場合、クライオ、ターボ、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて使用されます。利用可能なサイズには、Conflat CF 2.75、4.5、6、8、10、および 12 インチ サイズが含まれます。 ISO-F DN -63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、-500、および -630 サイズ。クイック フランジ サイズ KF-40 および KF-50。詳細については、ダウンロードを参照してください。

UtraLock 空気圧ゲート バルブ用ソレノイド キット、24 VDC、取り付け金具が含まれています。このソレノイド キットは、Ideal Vacuum ULTRALockTM または HVA 空気圧操作ゲート バルブと併用するためのものです。ソレノイドはゲート バルブの空気圧ピストンを操作します。適切な動作を保証するには、すべてのフィッティングと接続が漏れないようにする必要があります。これらの 24 VDC ソレノイド キットには、AVS-5111-24D、4 方向直動ソレノイド バルブ、およびエア ライン チューブのプッシュ接続継手を含む UltraLock または HVA 空圧ゲート バルブの操作に必要なその他すべてが含まれています。より大きなゲート バルブをより速く作動させるには、より大きなチューブとさまざまなプッシュ接続継手を使用できます。キットのコンポーネント: AVS-5111-24D 4 方向ソレノイド バルブ。 Ideal Vacuum UltraLock または HVA 空気圧ゲート バルブと併用するための取り付けブラケット。 UltraLock 空気圧ゲート バルブで使用するために必要なすべての取り付けネジとハードウェア。 5 本の外径 4 mm チューブを 1/8 インチ オス ユニバーサル パイプネジ アダプタにプッシュ接続します。排気マフラー 2 本。長さ 6 フィートの 1/4 インチ外径フレキシブル ポリウレタン チューブ。ソレノイド バルブの特徴: 24 VDC、2.5 W。20 ～ 115 PSIG の作動入力圧力。最大入力圧力 215 PSIG。ほとんどの空気圧ゲート バルブには 80 PSIG が必要です。 5 つの 1/8 インチ NPSF ポート: A: 通常は P への出口が開いています。通電時は A に排気されます。B: 通常は R への排気が行われます。通電時は P に開きます。P: 入口。R: 通常は閉じています。からの排気A 通電時 S: 通常は B から排気 通電時閉 ロック式手動オーバーライドボタン LED インジケータ付き DIN スタイル配線コネクタ ブナゴムシール 適切に接続されている場合、ソレノイドの電力が遮断されると、取り付けられたゲートがバルブはすぐに閉じ、電力が復旧するまで閉位置を維持します。ソレノイド バルブには赤い手動オーバーライド ボタンが付いています。正しく接続されている場合、オーバーライド ボタンを押すとゲート バルブが強制的に開きます。オーバーライド ボタンを放すと、ゲート バルブが閉じます。オーバーライド ボタンは、マイナス ドライバーを使用してボタンを 90 度回転させて、押した位置にロックできます。ボタンを元の位置に回転させると、押されていない位置に戻ります。取り付け手順: ソレノイドを次の場所に取り付けます。付属の取り付けブラケットとネジを使用して、ゲート バルブ ボンネットを取り付けます。タップ穴がない場合は、ソレノイドを離れた場所に取り付ける必要があります。ソレノイドポート B と、加圧時にゲートバルブを開くゲートバルブのポート (ボンネットに最も近いポート) の間にエアラインチューブを取り付けます。ソレノイド ポート A と、加圧時にゲート バルブを閉じるもう一方のゲート バルブ ポート (空気圧シリンダーの上部にあるポート) の間にエア ライン チューブを取り付けます。オプションでソレノイドポート R および S をハウス排気に接続します。ソレノイド ポート P を 80 psi の (ユーザーが供給した) 室内空気に接続します。ソレノイド バルブに 80 PSI の空気圧を加え、ゲート バルブが閉じ、閉じたままであることを確認します。ゲート バルブが開いたままの場合は、チューブをソレノイド出口 A および B に切り替えます。手動オーバーライド スイッチを押し、スイッチを押している間ゲート バルブが開き、開いたままであることを確認します。手動オーバーライド スイッチを放し、ゲート バルブが再び閉じることを確認します。電力が供給されていない場合、ソレノイドは自動的に閉じたロック位置になります。ソレノイドに電力が供給されると、ゲートバルブが開きます。

Ideal Vacuum 3 ポジション UHV 空気圧操作ゲート バルブ、スロットル 3 番目の位置、ソレノイドおよびリード センサー付き、24VDC、CF 10.0 インチ (DN CF200) フランジ、Viton O リング標準シール、1x10-10 mbar、SUS304 本体、50,000 サイクル CF 10.0 インチ ボルトダウン フランジ (5/16-24 UNF スレッド付き) この Ideal Vacuum 3 ポジション スロットル ゲート バルブは、Conflat CF 10.0 インチ (DN CF200) フランジを使用して空気圧で操作されます。部分的に開くように設定できる 3 番目の位置があります。定格は超高真空 (UHV) で、ゲート用の標準 Viton O リング シールと、空気圧制御のソレノイド バルブを備えたボンネット用の Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケットが付属しています。バルブの標準的な寿命は、サービスが必要になるまで 50,000 サイクルです。耐腐食性の 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られています。この 3 位置制御により、さまざまな真空蒸着プロセス、特に薄膜蒸着プロセス チャンバー システムで最適な状態を維持するための柔軟性と精度が得られます。物理蒸着コーティング チャンバーでの用途 この 3 位置ゲート バルブは、信頼性の高い高真空および超高真空 (UHV) アプリケーション用に設計されており、クライオ、ターボ、イオン高真空ポンプと組み合わせて使用されることがよくあります。PVD マグネトロン スパッタリング蒸着などの絞り真空プロセスでの使用が増えています。スパッタリング システムなどの PVD コーティング チャンバーでは、ターボ分子ポンプとメイン プロセス チャンバー間の接続を制御するために 3 ポジション ゲート バルブがよく使用されます。これらのゲート バルブを使用すると、真空システムを正確に制御でき、ポンプを分離し、チャンバーを保護し、排気速度を調整できます。一般的な 3 ポジション ゲート バルブの 3 つの位置は次のとおりです。1. 全開位置: 最大コンダクタンス、フル ターボ ポンピング速度。初期排気または堆積中に高真空を維持する場合に使用します。2. 部分開 (スロットリング位置): 目的: 部分開位置では、ゲート バルブは部分的にのみ開き、チャンバーとターボ ポンプ間のコンダクタンスをスロットリングします。スロットリングは、反応性ガス (反応性スパッタリングの酸素または窒素など) を扱う場合、または最適な膜成長のために圧力を微調整する必要がある場合に重要です。この部分開位置は、インストール時に 1 回手動で設定および調整され、いつでも変更して異なるプロセス条件を実行できます。 3. 完全に閉じた位置: 目的: 完全に閉じた位置では、ゲート バルブはターボ ポンプをメイン チャンバーから完全に分離します。 使用例: この位置は、チャンバーの通気、ロード ロック チャンバーのサンプルのロードなどのプロセス中、またはチャンバーが大気圧にさらされているときにターボ ポンプを保護するために使用されます。 これにより、汚染物質や大気がターボ ポンプに入り込み、ポンプが損傷するのを防ぎます。仕様: 仕様と機能: 材質 本体 SUS304 キャリッジ リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - SUS304、A6061-T6 ゲート リンケージタイプ - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ未満 - SUS304 ボールタイプ サイズ10インチ以上(付属) - A6061-T6 ベローズ AM350 ライフ サイクル HV:DN200 - 300,000 サイクル UHV:DN200 - 50,000 サイクル 1 atm 差圧でのヘリウム リーク率 O リングの場合 <2×10-9 mbar·l /sec <5×10-10 mbar·l /sec ガスケット シールの場合 ベーク温度 開 - 200 °C バイトン ボンネット シール 閉 - 150 °C バイトン ボンネット シール 圧力範囲(mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 開く前の最大デルタ P (mbar) < 30 標準シール ゲート - Viton O リング ボンネット - Viton O リングまたは OFHC 銅ガスケット アクチュエータ - 空気圧 圧縮空気供給 チューブ接続 - 6mm 圧力範囲 - 4-6 Kg/cm2(過圧) 表面処理 - スコッチ研磨 オプション 位置表示器 空気圧制御ソレノイドバルブ 粗引きポート その他の材料 ゲート O リングシール このゲートバルブおよびその他の関連するバルブ構成の詳細については、ダウンロードを参照してください。

UtraLock 空気圧ゲート バルブ用ソレノイド キット、AC 110 ～ 120 V、取り付け金具が含まれています。このソレノイド キットは、Ideal Vacuum ULTRALockTM または HVA 空気圧操作ゲート バルブと併用するためのものです。ソレノイドはゲート バルブの空気圧ピストンを操作します。適切な動作を保証するには、すべてのフィッティングと接続が漏れないようにする必要があります。これらの 110 ～ 120 VAC ソレノイド キットには、AVS-5111-120A、4 方向直動ソレノイド バルブ、およびエア ライン チューブのプッシュ接続継手を含む UltraLock または HVA 空圧ゲート バルブの操作に必要なその他すべてが含まれています。より大きなゲート バルブをより速く作動させるには、より大きなチューブとさまざまなプッシュ接続継手を使用できます。キットのコンポーネント: AVS-5111-120A 4 方向ソレノイド バルブ。 Ideal Vacuum UltraLock または HVA 空気圧ゲート バルブと併用するための取り付けブラケット。 UltraLock 空気圧ゲート バルブで使用するために必要なすべての取り付けネジとハードウェア。 5 本の外径 4 mm チューブを 1/8 インチ オス ユニバーサル パイプネジ アダプタにプッシュ接続します。排気マフラー 2 本。長さ 6 フィートの 1/4 インチ外径フレキシブル ポリウレタン チューブ。ソレノイドバルブの特長：DC24V、3.5VA。 20 ～ 115 PSIG の作動入力圧力。最大入力圧力 215 PSIG。ほとんどの空気圧ゲート バルブには 80 PSIG が必要です。 5 つの 1/8 インチ NPSF ポート: A: 通常は P への出口が開いています。通電時は A に排気されます。B: 通常は R への排気が行われます。通電時は P に開きます。P: 入口。R: 通常は閉じています。からの排気A 通電時 S: 通常は B から排気 通電時閉 ロック式手動オーバーライドボタン LED インジケータ付き DIN スタイル配線コネクタ ブナゴムシール 適切に接続されている場合、ソレノイドの電力が遮断された場合、取り付けられたゲートバルブはすぐに閉じ、電力が復旧するまで閉位置を維持します。ソレノイド バルブには赤色の手動オーバーライド ボタンが付いています。正しく接続されている場合、オーバーライド ボタンを押すとゲート バルブが強制的に開きます。オーバーライド ボタンを放すと、ゲート バルブが閉じます。オーバーライド ボタンは、マイナス ドライバーを使用してボタンを 90 度回転させて、押した位置にロックできます。ボタンを元の位置に回転させると、押されていない位置に戻ります。取り付け手順: ソレノイドを次の位置に取り付けます。付属の取り付けブラケットとネジを使用して、ゲート バルブ ボンネットを取り付けます。タップ穴がない場合は、ソレノイドを離れた場所に取り付ける必要があります。ソレノイドポート B と、加圧時にゲートバルブを開くゲートバルブのポート (ボンネットに最も近いポート) の間にエアラインチューブを取り付けます。ソレノイド ポート A と、加圧時にゲート バルブを閉じるもう一方のゲート バルブ ポート (空気圧シリンダーの上部にあるポート) の間にエア ライン チューブを取り付けます。オプションでソレノイドポート R および S をハウス排気に接続します。ソレノイド ポート P を 80 psi の (ユーザーが供給した) 室内空気に接続します。ソレノイド バルブに 80 PSI の空気圧を加え、ゲート バルブが閉じ、閉じたままであることを確認します。ゲート バルブが開いたままの場合は、チューブをソレノイド出口 A および B に切り替えます。手動オーバーライド スイッチを押し、スイッチを押している間ゲート バルブが開き、開いたままであることを確認します。手動オーバーライド スイッチを放し、ゲート バルブが再び閉じることを確認します。電力が供給されていない場合、ソレノイドは自動的に閉じたロック位置になります。ソレノイドに電力が供給されると、ゲートバルブが開きます。

2.75 (2-3/4) インチのコンフラット タップ ボルト穴フランジ用ボルト キット、ワッシャー付き銀メッキ六角ボルト。これらのボルト キットには、タップ穴 2.75 (2-3/4) インチ CF コンフラット フランジ フィッティングを固定するための銀メッキ 12 ポイント ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンフラット フラグは、10-13 torr (10-11 Pa) までポンプで減圧でき、450 °C まで加熱して焼き出すことができます。北米のフランジ サイズは、フランジ外径によってインチ単位で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブの内径（ミリメートル）で示されます：DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。完全なキット - 2.75（2-3/4）インチコンフラットタップボルト穴ファスナー：数量6、銀メッキ1/4-28 x 0.875インチ長12ポイントヘッドボルト数量6、ワッシャー

4.5 (4-1/2) インチ用ボルトキットCon flat タップボルト穴フランジ、銀メッキ 12 点ヘッドボルト、ワッシャー付き。これらのボルト キットには、タップ穴 4.50 (4-1/2) インチの CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズはフランジ外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (ミニ コンフラット)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6 -3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 4.50 (4-1/2) インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 8 個、銀メッキ 5/16-24 x 1.25 インチ長の 12 点ヘッドボルト 8 個、ワッシャー

6.00 (6) インチ用ボルトキットCon flat タップボルト穴フランジ、銀メッキ 12 点ヘッドボルト、ワッシャー付き。これらのボルト キットには、タップ穴 6.00 (6) インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズはフランジ外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (ミニ コンフラット)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6 -3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 6.00 (6) インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 16 個、銀メッキ 5/16-24 x 1.25 インチ長の 12 点ヘッドボルト 16 個、ワッシャー

8.00 (8) インチ用ボルトキットCon flat タップボルト穴フランジ、銀メッキ 12 点ヘッドボルト、ワッシャー付き。これらのボルト キットには、タップ穴 8.00 (8) インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450 °C まで加熱できます。北米のフランジ サイズはフランジ外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (ミニ コンフラット)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6、6 -3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 8.00 (8) インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 20 個、銀メッキ 5/16-24 x 1.75 インチ長の 12 点ヘッドボルト 20 個、ワッシャー

10.00 (10) インチ用ボルトキットCon flat タップボルト穴フランジ、銀メッキ 12 点ヘッドボルト、ワッシャー付き。これらのボルト キットには、タップ穴 10.00 (10) インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450℃ まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 10.00 (10) インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 数量 24、銀メッキ 5/16-24 x 長さ 1.75 インチの 12 点ヘッドボルト数量 24、ワッシャー

10.00 (10) インチ用ボルトキットCon flat タップボルト穴フランジ、銀メッキ 12 点ヘッドボルト、ワッシャー付き、各 32 個。これらのボルト キットには、タップ穴 12.00 (12) インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450℃ まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 12.00 (12) インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 数量 32、銀メッキ 5/16-24 x 長さ 3.0 インチの 12 点ヘッドボルト数量 32、ワッシャー

13.25 インチおよび 14 インチのコンフラット タップボルト穴フランジ用ボルトキット、銀メッキ 12 点ボルト、ワッシャー付き、各 30 個。これらのボルト キットには、タップ穴 13.25 および 14 インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450℃ まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 13.25 および 14 インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 数量 30、銀メッキ 3/8-24 x 3.0 インチ長の 12 点ヘッドボルト数量 30、ワッシャー

16.50インチのConflatタップボルト穴フランジ用ボルトキット、銀メッキ12点ボルト、ワッシャー付き、各36個。これらのボルト キットには、タップ穴 16.50 インチ CF コンフラット フランジ継手を固定するための銀メッキ 12 点ヘッド ボルトとワッシャーが含まれています。これらのコンファルト フラグは、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで減圧でき、ベークアウトのために 450℃ まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジの外径をインチで表します: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2-1/8、2-3/4、4-1/2、4-5/8、6 、6-3/4、8、10、12、13-1/4、14、16-1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。コンプリートキット - 16.50 インチのコンフラットタップボルト穴ファスナー: 数量 36、銀メッキ 3/8-24 x 3.0 インチ長の 12 点ヘッドボルト数量 36、ワッシャー

コンフラット フランジ (CFF) 銅製ガスケット CF サイズ 2-3/4" これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、2-3/4 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空アプリケーションに使用されます。これらの継手は、銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはミリメートル単位のチューブ内径で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。真空継手は耐腐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラットフランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 2-3/4" - 1 個 CF フランジ サイズ: CF 2-3/4 インチ 共通寸法: フランジ外径 (OD) 2-3/4"、ガスケット外径 (OD) 1.895"、ガスケット内径 (ID) 1.451"

コンフラット フランジ (CFF) 銅製ガスケット CF サイズ 4-1/2" これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、4-1/2 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空アプリケーションに使用されます。これらの継手は、銅製ガスケットとナイフ エッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10-13 torr (10-11 Pa) まで動作し、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、インチ単位のフランジ外径で示されます: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4½、6、8、10、12、13¼、14、16½。ヨーロッパとアジアでは、サイズはミリメートル単位のチューブ内径で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐腐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラットフランジ（CF）銅ガスケットCFサイズ4-1/2インチ - 各1個CFフランジサイズ：CF 4-1/2インチ共通寸法：フランジ外径（OD）4-1/2インチ、ガスケット外径（OD）3.243インチ、ガスケット内径（ID）2.506インチ

コンフラット フランジ (CF) 銅製ガスケット CF サイズ 6 これらのコンフラット 銅製コンフラット ガスケットは、6 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジ外径 (インチ) で示されます: 1-1/3 (ミニ コンフラット)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2。ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐腐食性のステンレス鋼で作られています。コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 6 - 各 1 CF フランジ サイズ: CF 6 インチ 共通寸法: フランジ外径 (OD) 6、ガスケット外径 (OD) 4.743、ガスケット内径 (ID) 4.010

コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 8、CF フランジ 8.0 インチ。これらのコンフラット銅製コンフラット ガスケットは、8 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。 ConFlat (CF) フランジは超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは、銅ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 トール (10 ～ 11 Pa) まで動作可能で、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズは、フランジ外径のインチ単位で表されます: 1-1/3 (ミニ コンフラット)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14、16 1/2 。ヨーロッパとアジアでは、サイズは次のとおりです。チューブ内径 (ミリメートル): DN16、DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 8 - 各 1 CF フランジ サイズ: CF 8 インチ共通寸法: フランジ外径 (OD) 8、ガスケット外径 (OD) 6.743、ガスケット内径 (ID) 6.007

コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 10 インチ、CF フランジ 10.0 インチ。これらのコンフラット銅コンフラット ガスケットは、10 インチのコンフラット フランジ サイズに適合します。コンフラット (CF) フランジは、超高真空用途に使用されます。これらのフィッティングは銅を使用します。ガスケットとナイフエッジ フランジを使用して高真空シールを実現し、10 ～ 13 torr (10 ～ 11 Pa) までの動作が可能で、ベークアウトのために 450°C まで加熱できます。北米のフランジ サイズはフランジの外径によって示されます。インチ: 1-1/3 (「ミニ コンフラット」)、2¾、4 1/2、6、8、10、12、13 1/4、14 および 16 1/2 、ヨーロッパとアジアでは、サイズはチューブ内径 (ミリメートル) で示されます: DN16、 DN40、DN63、DN100、DN160、DN200、DN250。これらの真空継手は耐食性ステンレス鋼で作られています。コンフラット フランジ (CF) 銅ガスケット CF サイズ 10 インチ - 各 1 枚CF フランジ サイズ: CF 10 インチ共通寸法: フランジ外径 ( OD) 10 インチ、ガスケット外径 (OD) 8.743 インチ、ガスケット内径 (ID) 8.007 インチ