예어 부품 번호:
Sale: $13,117,579.98
20" 챔버 사양 | |
내부 챔버 크기 | 약 20x20x20인치(약 51x51x51cm) |
포트에는 다음이 포함됩니다. | 1개 KF16, 2개 KF25, 2개 KF40, 1개 ISO-63, 1개 ISO-160 |
챔버 재료 | 6061-T6 알루미늄 |
무게 | 127kg(280lbs)(도어 제외) |
용량 | 4.8큐빅 피트(137.3리터) |
힌지형 전면 도어 | 알루미늄, 스테인레스 스틸, 아크릴 또는 내장형 관측 포트 |
궁극의 압력 | 1x10 -6 Torr(고진공) |
누출 테스트 완료 | (헬륨) ~ 1x10 -8 atm cc/sec |
작동 온도 범위(Viton 씰) | -15°~150°C(5°~302°F) |
리드타임 | 1~2주(7~14일) |
추가 포팅 옵션 또는 확장된 온도 범위에 대한 문의 |
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