비조명 뷰포트용 HALO 뷰 교체/업그레이드 창, ISO-200, LF200, 3/8인치 융합 석영

이 융합 석영 창은 Ideal Vacuum ISO-80 HALO 비조명 뷰포트 창 어셈블리를 대체하거나 업그레이드합니다. 조명이 없는 HALO 보기 창은 현장 서비스가 가능합니다. 창 미디어 교체에 대한 지침은 다운로드에 포함된 HALO View Window 설명서를 참조하십시오.

당사의 융합 석영 창은 최고 품질의 천연 석영으로 제조되어 최고 수준의 순도와 최저 함유물 및 기포 수준을 제공합니다. Heraeus TSC-3과 비교하여 이 창은 투과율이 향상되었으며 표준 유리보다 유용한 파장 범위가 더 넓습니다. 굴절률 변화가 낮고 열팽창 계수가 낮은 것이 특징입니다. 용융 석영은 플라즈마 식각 및 증착 시스템과 같은 반도체 응용 분야에 사용되며 낮은 알칼리 및 낮은 알루미늄 함량이 지정된 경우 권장됩니다. 이는 높은 레이저 손상 임계값이 요구되는 가시광선 및 근적외선 파장의 투과 광학 장치에 자주 사용됩니다. 용융 석영은 2600~2900nm 영역에 흡수 밴드를 가지며, 이는 용융 실리카와 유사하지만 그만큼 강하지는 않습니다. 270 nm 영역의 흡수로 인해 UV 작업에는 적합하지 않습니다.

또한 표준 저철분 강화 유리 또는 용융 실리카가 포함된 HALO 뷰 윈도우 어셈블리 및 교체 판유리도 제공합니다. 강화 유리는 황삭 또는 고진공 챔버 공정을 일반적으로 직접 관찰하는 데 일반적으로 사용되며, 챔버 구성 요소의 광학적 정렬을 촉진하고, 유체의 가스 제거를 관찰하거나, 직접 관찰을 통해 진공 내 공정을 가르치는 데 사용할 수 있습니다. 유리 재질은 표준적인 저철분 플로트 유리입니다. 표면 품질과 평탄도는 ASTM 1036-06 및 1048-04에 따라 Q4입니다. 유리의 철 함량이 낮기 때문에 약간 푸른 색조를 띠게 됩니다. 이 경제적인 유리는 가시광선 이하 또는 근적외선(NIR) 파장 이상의 레이저 실험에 적합하지 않습니다.

당사의 고순도 용융 실리카 창은 총 두께 변화(TTV)가 10μm 미만이고 표면 마감이 S/D 40/20이며 표면 거칠기가 Ra < 1 nm(비교 가능)인 광학 등급으로 양면을 연마하고 연마합니다. 코닝 HPFS 7980). 이 창은 투과율이 눈에 띄게 향상되었으며 표준 유리보다 유용한 파장 범위가 더 넓습니다. 특징으로는 매우 낮은 굴절률 변화, 낮은 복굴절 값, 매우 낮은 열팽창 계수 등이 있습니다. 용융 실리카는 높은 레이저 손상 임계값이 필요한 투과형 광학 장치에 사용됩니다. 용융 실리카는 원자외선, 가시광선 및 근적외선 파장 범위에서 작동하는 광학 장치에 사용됩니다.

Ideal Vacuum이 프리미엄 창 제품으로 용융 실리카로 전환하고 있기 때문에 용융 석영 재고가 제한되어 있습니다. 또한 용융 석영 창에는 용융 실리카 부품 번호가 잘못 표시될 수 있습니다. 판매 송장을 확인하여 창 재료를 확인할 수 있습니다.

비조명 HALO 뷰포트는 현장 서비스가 가능합니다. 실험 요구 사항이 변경되면 창유리를 교체하거나 다른 재료로 변경할 수 있습니다. 강화유리, 용융석영, 용융실리카의 투과율 곡선은 아래 그래프를 참조하세요.

비조명 HALO 보기 창은 ISO 63, 80, 100, 160, 200 및 250 크기로 제공되며 빈 ISO 플랜지 대신 사용됩니다. 다른 ISO 피팅과 마찬가지로 이 ISO 플랜지 창은 O-링이 장착된 센터링 링과 함께 단일 또는 이중 클로 클램프를 사용합니다. ISO-K와 ISO-K 연결에는 이중 클로 클램프를 사용하십시오. ISO-K - ISO-F(볼트식) 연결에는 단일 클로 클램프를 사용하십시오. 권장되는 클로 클램프 수와 유형, 필요한 센터링 링은 아래 표에 나와 있습니다.

당사의 ISO 보기 창은 3/8인치 두께의 창유리를 스테인레스 스틸 장착 플랜지에 고정하는 혁신적인 제로 금속 대 유리 접촉 설계를 사용합니다. 이 쿠션형 창 장착 시스템은 작업자의 안전을 보장하며 고진공 압력에서도 다른 뷰포트 창 구성보다 누출 가능성이 적습니다. 이상적인 진공 ISO HALO 관찰 창은 완전히 조립된 상태로 배송되며 Viton O-링과 Teflon 스페이서를 사용합니다. 베이크아웃 온도는 150°C까지 허용됩니다.

참고: 모든 보기 창이나 뷰포트는 본질적으로 깨지기 쉬우므로 조심스럽게 취급해야 하며 사용하기 전에 항상 검사해야 합니다. 이상적인 진공 관찰 창은 진공 전용으로 설계 및 등급이 지정되었으며 급격한 온도 변화(>10°C/min)에 노출되면 열충격에 취약할 수 있습니다. 창을 통해 레이저 빔을 조사하는 경우 레이저의 파장이 창 재료를 통해 적절하게 전달될 수 있는지 확인하십시오. HALO View Window 사용자 매뉴얼의 모든 안전 경고를 다운로드하여 읽어 보십시오.