새로운 애질런트 가변 누출 밸브 CF 2.75 x CF 1.33, 광학적으로 편평한 사파이어 어셈블리가 포함된 이동식 피스톤.

애질런트 가변 누출 밸브를 모든 진공 시스템에 추가하여 조정 가능한 누출을 설정할 수 있습니다. 이는 초당 1 x 10 ^-10 Torr-리터의 작은 누출율로 전례 없는 제어 감도와 안정성을 제공하며 누출 크기가 증가함에 따라 증가하는 변화율을 제공합니다. 이를 통해 누출 크기에 비례하여 정밀한 제어가 가능합니다. 구동 메커니즘을 포함한 전체 밸브는 열림 또는 닫힘 위치에서 450°C까지 구워질 수 있습니다. 이 밸브는 10 ^-11 Torr(mbar) 미만의 진공 대기 범위에서 작동할 수 있으며 입구 가스 압력은 최대 500psi입니다.

밸브는 밀봉된 상태로 누출이 없는 상태로 윤활 처리되어 설치 준비가 된 상태로 배송됩니다. 가변 누출 밸브가 장착된 메인 플랜지 연결은 2 3/4인치 OD ConFlat 플랜지와 짝을 이룹니다. 입구 가스 연결은 표준 1 1/3인치 Mini-ConFlat 플랜지를 통해 이루어집니다. 누출율 조정은 널링 손잡이로 제어됩니다. 누출을 열려면 널링 손잡이를 (함께) 시계 반대 방향으로 최소 2바퀴 완전히 돌려야 합니다. 밸브는 손잡이를 (함께) 시계 방향으로 손잡이 반대 위치로 돌려 닫습니다.

가변 누출 밸브에는 포착된 금속 개스킷과 만나는 광학적으로 평평한 사파이어가 있는 이동식 피스톤이 포함되어 있습니다. 이는 마찰, 압착 및 전단이 전혀 없는 밀봉을 형성합니다. 사파이어의 움직임은 13,000 대 1의 기계적 이점을 갖는 나사형 샤프트 및 레버 메커니즘을 통해 제어됩니다. 스프링 와셔는 이 구동 메커니즘을 지속적으로 부하 상태로 유지하고 일반적으로 이러한 유형의 장치와 관련된 백래시를 제거합니다. 이는 손가락으로 제어되는 조정 손잡이의 작은 움직임에 즉각적인 반응을 제공합니다. 씰이 만들어질 때마다 개스킷에서 일부 영구적인 압축이 발생하지만 그 변화는 매우 미미합니다. 손잡이를 이전 위치로 되돌리면 누출율이 거의 동일해집니다. 씰 메커니즘의 두 구성 요소(사파이어 어셈블리 및 개스킷 어셈블리)는 쉽게 교체할 수 있습니다. 베이킹되지 않은 시스템의 개스킷 수명은 대략 300개의 클로저이고 베이킹된 시스템의 경우 20~30개의 클로저입니다.

애질런트 가변 누출 밸브는 특정 범위에서 터보를 작동하고 해당 압력을 유지하기 위해 정확한 압력 선택이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 밸브는 특정 응용 분야의 요구에 맞게 압력 선택을 변경한 다음 쉽고 정확하게 다른 선택으로 이동하도록 설계되었습니다. 당사는 사파이어 및 개스킷 어셈블리와 같은 교체 부품을 포함하여 아래의 관련 제품 섹션에서 이 밸브를 수리하고 조정하는 데 필요한 모든 도구를 제공합니다. 애질런트 가변 누출 밸브를 작동하고 유지 관리하는 방법에 대한 자세한 내용은 아래 설명서 섹션(pdf)을 참조하십시오.

특징

• 특수 목적 밸브 용도로 제작됨
  
• 대기에서 10 ^-11 torr(10 ^-11 mbar) 미만의 진공 범위
  
• 헬륨 질량 분석기에서 누출이 감지되지 않는 누출률
  감도가 1 x 10 ^-10 std cc/sec인 누출 감지기
  
• 최대 흐름 컨덕턴스 6리터/분
  
• 450°C까지 구울 수 있음