이러한 중형 Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 90° 앵글 밸브에는 스루홀 회전 플랜지가 있는 CF 4-5/8" 흡입구 및 배출구 포트가 있습니다. 주로 초고진공 범위(10 ^-10Torr )에서 사용하도록 설계되었습니다. , 누출률은 10 ^-11 Torr l/s(He)이지만 최대 60-80 psi의 양압까지 사용할 수 있습니다. 이 밸브는 304L 스테인레스 스틸 밸브 본체 및 메커니즘, 알루미늄 액추에이터로 구성되며 구리 보닛 씰 Super-Seal 밸브는 최대 100°C까지 구울 수 있습니다(밸브 본체만 해당).이 밸브는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다.

이러한 중간 크기의 Super-Seal 밸브를 열고 닫는 데는 공기가 필요합니다. 스프링 리턴이 없으므로 자동으로 닫히지 않습니다. 60~80psi 범위의 저용량 건조 압축 공기가 필요합니다. 자동 스프링 폐쇄 기능이 없기 때문에 전원이 차단되거나 공기 공급이 중단될 경우 챔버 진공을 유지하는 고장 방지 기능을 제공할 수 없습니다.

밸브를 열고 닫는 공기 흐름은 (중형) 복동식 전기 작동 솔레노이드에 의해 제어됩니다. 12VDC, 24VDC, 110VAC 및 220VAC의 4가지 솔레노이드 전압 중에서 선택할 수 있습니다.

기계식 리드 스위치와 두 가지 트랜지스터 유형(NPN 및 PNP)을 포함하여 Super-Seal 밸브에 세 가지 위치 표시 센서를 사용할 수 있습니다. 각 센서에는 밸브 상태(열림 또는 닫힘)를 시각적으로 확인할 수 있는 LED가 있습니다. 이러한 센서는 보조 장치를 전환하거나 트리거하는 데에도 사용할 수 있습니다.

Super-Seal 밸브 제품군에는 3/4" OD 튜브(KF-16)부터 10" OD 튜브(ISO-K 250)까지 용접 가능한 튜브, KF, ISO-K 및 ConfFlat(CF) 플랜지 옵션이 포함됩니다. 많은 제품이 직각(90°) 및 인라인 버전으로 제공됩니다.

이 밸브는 가치가 높고 신뢰성이 매우 높아 반도체 제조, 플라즈마 물리학 연구, 핵 가속기와 같은 응용 분야에 유용합니다. 이는 진공 공정 자동화의 주요 구성 요소이며 평균 고장률(MTTF)이 100만 주기 이상입니다.

솔레노이드 및 위치 표시 센서는 별도로 판매됩니다.

기술 사양은 아래를 참조하고 공압 벨로우즈 밸브 및 액세서리의 Ideal Vacuum Super-Seal 제품군에 대한 전체 정보는 사용자 설명서를 다운로드하십시오.