이것은 흡입구 및 배출구 포트에 Conflat CF 4.5"(4-1/2") 플랜지가 있는 수동으로 작동되는 90° 직각 Ideal Vacuum Super-Seal 벨로우즈 밸브입니다. ConfFlat 플랜지 Super-Seal 밸브에는 진공 라인에 대한 최적의 연결을 위해 회전 가능한 플랜지가 있습니다. 이 밸브는 초고진공(10 ^-10 Torr) 사용에 적합하며 최대 60-80 psig 정압 범위까지 사용할 수 있습니다. 이러한 Super-Seal 밸브의 누출률은 10 ^-11 Torr l/s(He)입니다. 모든 초고진공 등급 Super-Seal 밸브는 밸브 본체와 메커니즘에 304L 스테인리스강을 사용하고 보닛 씰에 OFHC 구리 개스킷, Viton® 포핏 씰 O-링을 사용합니다. 이 밸브는 폴리머 엘라스토머 표면의 낮은 마찰과 마모 없이 작동하여 수천 사이클에 걸쳐 반복 가능한 밀봉 작업을 허용합니다. Super-Seal 밸브는 배기 가스 유량을 최대화하기 위해 높은 전도도를 제공합니다. 이 밸브는 최대 150°C까지 구울 수 있으며(Viton O-링에 의해 제한됨) 최대 15psig의 최대 차압을 견딜 수 있습니다. 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다.

수동으로 작동되는 Super-Seal 벨로우즈 밸브는 자동화가 필요하지 않은 경우 탁월한 솔루션입니다. 유사한 공압식 벨로우즈 밸브에 비해 가격이 훨씬 저렴하고 신속하게 배치됩니다. 수동 벨로우즈 밸브는 황삭 및 고진공 포어라인에 자주 사용되며 우수한 챔버 배기 밸브를 만듭니다. Ideal Vacuum 수동 벨로우즈 Super-Seal 밸브는 반도체 제조, 플라즈마 물리학 연구부터 핵 가속기에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용됩니다.

사양 및 치수 데이터는 브로셔를 참조하세요. 수동 작동 벨로우즈 밸브 및 액세서리로 구성된 Ideal Vacuum Super-Seal 제품군에 대한 전체 정보를 보려면 사용자 설명서를 다운로드하세요. 또한 자동화가 필요할 때 사용할 수 있는 Super-Seal 솔레노이드 작동식 공압 벨로우즈 밸브 전체 시리즈도 보유하고 있습니다.