이상적인 진공 이더넷 피드스루 이중 종단 잭, KF40 플랜지에 용접된 튜브, 스테인리스 스틸 하우징. KF40 플랜지가 있는 이상적인 진공 밀폐형 이더넷 피드스루 이중 종단 잭입니다. 피드스루(또는 진공 피드스루)는 진공 외부(공기 측)에서 진공 챔버 내부(진공 측)로 전류, 신호, 유체, 가스 또는 기계적 움직임을 챔버 내의 장비로 전달하기 위해 다양한 형태로 제공됩니다. 피드스루의 진입점은 적합한 관통 구멍을 통해 진공 밀봉되어야 합니다. 피드스루에는 KF 진공 플랜지에 용접 가능한 튜브(용접)가 있습니다. 커넥터는 금도금 구리 접점이 있는 Am페놀 FRJAE-438이며 중앙에 에폭시를 사용하여 밀봉됩니다.
CF ConFlat 플랜지는 일반적으로 10 -12 Torr까지의 초고진공 압력이 필요한 공정에 사용되며 구리 개스킷이 있는 너트와 볼트를 통해 진공 밀봉됩니다. 크기는 1.33인치(미니 컨플랫), 2.75, 4.5, 6, 8, 10, 12, 13.25, 14 및 16.5입니다. 인치 OD 외부 직경. KF 또는 Quick Flange는 10 -9 Torr까지의 고진공 압력용이며 클램프와 탄성중합체 O-링을 통해 진공 밀봉됩니다. KF10, KF16, KF25, KF40 및 KF50 크기로 제공됩니다. ISO 또는 대형 플랜지는 10 -6 Torr까지의 고진공 압력용이며 너트와 볼트(볼트 구멍이 있는 플랜지의 경우) 또는 클로 클램프(볼트 구멍이 없고 매끄러운 면이 있는 플랜지의 경우)를 통해 진공 밀봉됩니다. 그들은 진공 밀봉을 위해 엘라스토머 O-링을 사용합니다. 크기는 63mm, 80, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 및 630mm입니다. 모든 플랜지는 부식 방지 스테인리스 스틸로 제작되었으며 제조업체는 1x10 -8 STD-CC/SEC 인증을 받았습니다.
수천 개의 피드스루가 있으며 특정 진공 공정에 따라 선택이 매우 어려울 수 있습니다. 귀하의 요구 사항에 대해 의문 사항이 있는 경우 당사의 직원 엔지니어에게 문의하여 귀하의 진공 공정에 적합한 피드스루를 찾는 데 도움을 받으십시오. 우리는 일반적인 맞춤형 피드스루, 진공 챔버 및 액세서리를 전문으로 합니다. 505-872-0037로 전화주세요.
피드스루의 유형
힘:
전력 피드스루는 대기(외부)에서 진공(내부)으로 전기를 전송하는 일종의 전기 피드스루입니다. 전력 피드스루에는 진공 장치 챔버 벽으로 들어가는 하나 이상의 도체가 있습니다. 도체는 진공 플랜지 또는 바닥판에 용접되거나 이를 통해 연결된 전기 절연체에 밀봉됩니다. 도체 금속은 와이어, 막대 또는 튜브로 제공됩니다. 도체 재료는 전류, 내식성 및 자성을 기반으로 합니다. 선택 시 고려해야 할 사항은 작동 전압, 최대 전류, 기본 압력 및 작업 환경입니다. 지정된 전압이나 전류 미만에서는 절대로 아크 발생, 용융 또는 절연체 파손이 발생할 수 있습니다. 선택이 확실하지 않은 경우 당사에 전화해 주십시오.
열전대:
열전대 피드스루는 광범위한 온도 측정 프로세스에 사용되는 견고하고 비용 효율적인 온도 센서입니다. 서로 다른 금속으로 구성된 두 개의 도선을 양쪽 끝에서 연결하고 한쪽 끝을 가열하면 열전 회로에 연속적인 전류가 흐릅니다. 이 회로가 중앙에서 차단되면 순 개방 회로 전압(제벡 전압)은 접합 온도와 두 금속의 구성에 따라 달라집니다. 이는 두 금속의 접합부가 가열되거나 냉각될 때 온도와 다시 상관될 수 있는 전압이 생성된다는 것을 의미합니다. 적절하게 구성되면 열전대는 광범위한 온도에 대한 측정을 제공할 수 있습니다.
여기에는 하나 이상의 전선 쌍이 포함될 수 있으며 성형 플러그, 푸시온, 분할 커넥터가 있을 수 있으며 내부(진공) 또는 외부(대기)에 러그 또는 나사 커넥터가 있을 수 있습니다. 고려해야 할 사항은 온도 범위, 온도 위치 수, 피복 재료, 와이어 직경, 금속 유형 및 동일한 피드스루 내의 전원 도체입니다. 다양한 온도 범위를 갖는 다양한 금속으로 만들어진 다양한 유형의 열전대 피드스루가 있습니다. 선택이 확실하지 않은 경우 당사에 전화해 주십시오.
수단:
다중 핀 피드스루라고도 알려진 계측 피드스루는 진공 벽을 통해 전기 신호 및/또는 저전력 애플리케이션을 전송합니다. 이는 전자 현미경, 표면 분석 및 반도체 공정 제어와 같은 계측 응용 분야에 사용됩니다. 진공 벽의 양쪽, 내부(진공) 또는 외부(대기)에 핀이나 동축이 있는 전기 커넥터로 구성될 수 있습니다. 선택하기 전에 고려해야 할 사항은 차폐할 최대 전압 케이블, 접지에 대한 최대 전압 차폐, 신호 전압, 접지, 임피던스, 온도 범위, 연결 수, 커넥터 유형 등입니다. 주문할 때 올바른 커넥터가 있는지 확인하는 것이 매우 중요합니다. 주문과 함께 제공되거나 제공되지 않습니다. 다양한 유형의 계측 연결 피드스루에 대해 의문이 있는 경우 당사에 전화해 주십시오.
액체 또는 가스:
액체 또는 가스 피드스루는 진공 장착 장치 또는 챔버에 가스 또는 액체를 전달합니다. 이 가스나 액체는 진공실 내에서 특정 온도를 유지할 수 있습니다. CF 또는 KF 플랜지 또는 관통 구멍에 용접된 하나 이상의 튜브가 있는 베이스플레이트 포트로 주문할 수 있으며, 튜브는 플랜지/베이스포트의 양쪽에서 확장됩니다. 튜브는 다양한 직경을 가지며 작은 플랜지나 가스 피팅으로 끝나는 경우가 많습니다. 고려해야 할 사항은 장치 벽의 사용되지 않는 플랜지와 일치하는 플랜지, 피드스루 수, 튜브 직경, 피드스루 입구 포트 크기 및 양쪽 측면 구성 요소와 일치하는 종단입니다. 의심스러우면 저희에게 전화해 주십시오.
회전 운동:
회전 모션 피드스루는 진공측 샤프트를 회전시키는 공기측 샤프트입니다. 액추에이터 메커니즘, 진공 밀봉, 호환 가능한 압력 범위 및 애플리케이션에 따라 차별화되는 여러 유형의 회전 드라이브가 존재합니다. 두 가지 유형은 씰링을 위해 연속 이중 O-링을 사용하는 엘라스토머 씰링과 더 높은 RPM 및 높은 토크 용량을 위해 자성 유체 O-링 기술을 사용하는 Ferro-Sealed입니다. 피드스루는 반복 가능한 움직임이나 대략적인 위치 지정을 제공할 수 있으며 회전 모션, 선형 모션 또는 이 둘의 조합을 제공할 수 있습니다. 수동 회전부터 공압식, 전기 전동식까지 다양한 작동 설계를 사용할 수 있습니다. 의심스러우면 저희에게 전화해 주십시오.
부속품:
피드스루에는 필요한 연결을 만들기 위해 추가 하드웨어가 필요할 수 있습니다. 우리는 진공 챔버 내부 및 외부용 케이블, 전기/동축 커넥터 및 핀을 운반합니다. 어떤 액세서리를 구입해야 할지 모르시면 전화로 문의해 주세요.
맞춤형 피드스루:
진공 공정에 적합한 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려운 작업일 수 있습니다. 우리는 귀하가 그러한 선택을 하도록 도와드릴 수 있습니다. 우리는 또한 귀하의 특정 진공 공정을 위한 고유한 피드스루를 설계하고 제조하는 것을 전문으로 합니다. 선택에 도움이 되거나 새로운 피드스루를 제조하는 경우 당사의 기술자/엔지니어가 귀하의 진공 공정 목표를 신속하게 처리하는 방법을 알 수 있도록 하십시오. 지금 505-872-0037로 전화하세요.
