이러한 이상적인 진공 큐브 패키지는 6x6x6인치 진공 큐브, Edwards E2M1.5 회전 날개 진공 펌프, Granville Phillips 475 Convectron 압력 게이지 및 피팅으로 완성됩니다. E2M1.5 펌프의 기본 압력은 1.0mTorr이고 펌핑 속도는 1.6cfm입니다. 포함된 Granville-Phillips MKS 475 Conventron 게이지 컨트롤러 및 275 Convectron 게이지 센서는 대기압부터 1x10-4 Torr까지 압력을 측정할 수 있습니다. 이 진공 큐브 패키지에는 대기 공기를 진공 챔버로 유입시키기 위한 환기 밸브, E2M1.5 회전 날개 진공 펌프를 진공 챔버에 연결하는 데 필요한 금속 벨로우즈 러핑 호스 및 하드웨어, KF-25용 포트 3개 플레이트, 그리고 3개의 표준 블랭크 플레이트. 당사의 진공 큐브는 Viton O-링 씰이 포함된 경량 6061-T6 합금 알루미늄으로 만들어졌으며 최종 기본 진공 압력은 10-8 Torr로 낮으며 다음 항목을 포함합니다.
당사의 Ideal Vacuum Cube는 진공 챔버 시스템 구성에서 창의성과 설계 유연성을 지원하도록 고안된 모듈식 고진공 챔버 시스템입니다. 큐브는 연결, 창 및 피드스루에 대한 다양한 기능을 제공하는 교체 가능한 플레이트를 사용하여 다양한 모양과 구성으로 함께 쌓을 수 있습니다. 플레이트에는 힌지, 포스트, 마운트, 렌즈, 편광판 및 기타 액세서리를 쉽게 연결할 수 있도록 표준 1" 광학 패턴에 1/4"-20 장착 나사산이 포함되어 있습니다.
내구성과 다양성
Ideal Vacuum Cubes의 큰 내부 치수와 개방형 디자인은 다양한 진공 챔버 응용 및 실험에 적합합니다. 진공 큐브는 가벼운 6061-T6 알루미늄 합금으로 제작되어 실험실 주위로 쉽게 운반할 수 있으며 광학 테이블에 장착할 수 있습니다(무거운 스테인레스 스틸 진공 챔버와는 다름). 특허 출원 중인 씰 보호 디자인, 스테인레스 스틸 스레드 인서트 및 분체 코팅된 외부 플레이트 마감으로 인해 Vacuum Cube는 가장 까다로운 용도에서도 내구성이 뛰어난 도구가 됩니다.
기술적 세부 사항
특허 출원 중인 챔버 시스템
우리의 Ideal Vacuum Cube는 테이퍼 씰 기술을 특징으로 하는 특허 출원 중인 디자인을 가지고 있습니다. 작업 표면에 설치할 때 쉽게 손상될 수 있는 Conflat CF, KF/NW 또는 ISO-LF(대형 플랜지)와 같은 다른 진공 플랜지 설계와 달리 당사의 테이퍼 씰 설계는 중요한 씰링 가장자리와 O-링을 보호합니다. 손상이나 오염을 일으킬 수 있는 접촉.
혁신적인 챔버 빌딩 블록
이상적인 진공 큐브는 쉽게 쌓아서 복잡하면서도 가벼운 진공 시스템을 구축할 수 있습니다(아래 그래픽 참조). 각 진공 큐브의 외부 가장자리에는 큐브 간 연결이 용이하도록 하드웨어 장착 소켓이 있습니다. 큐브 결합 키트에는 두 개의 큐브를 함께 연결하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이를 통해 과학자들은 실험실에서 길거나 이상한 모양의 진공 시스템을 창의적으로 구성할 수 있습니다.
구성 가능한 플레이트 및 액세서리
Vacuum Cube는 다양한 옵션을 갖춘 다양한 플레이트와 창으로 구성할 수 있습니다. 진공 큐브에는 전력, 열전대 온도 측정, 광학 레이저 조명 또는 이미징 감지기, 가스 공급 장치 또는 열/냉각 재순환 라인용 유체 흐름을 위한 피드스루를 장착할 수 있습니다. 호환 가능한 표준 플랜지 스타일에는 KF-16, KF-25, KF-40, KF-50, ISO-63과 confat CF 2.75, CF 3.375 및 CF 4.5인치 플랜지 포트가 포함됩니다. 관찰창도 이용 가능하며, 요청 시 맞춤형 플레이트를 제작할 수 있습니다. 옵션인 힌지 키트를 주문하면 모든 플레이트를 작동 가능한 도어로 변환할 수 있습니다.
이상적인 진공 큐브의 응용
당사의 Ideal Vacuum Cube는 레이저 연구 응용 분야에서 빠른 설치를 위해 광학 실험실에 잘 구현되도록 설계되었습니다. 아래 그래픽은 6x6x18인치 아이디얼 진공 큐브 챔버를 사용하는 레이저 분광학 실험실 설정, 공동 링다운 분광학(CRDS) 진공 챔버 시스템의 예를 보여줍니다. Ideal Vacuum Cube의 모듈식 설계는 다양한 진공 챔버 응용 분야에 적합합니다.
- 진공 자외선(VUV) 장치 및 실험
- 열진공 테스트
- 고도 테스트
- 진공 탈기 챔버
- 고출력 및 초단 펄스 레이저 연구 및 개발
- 이온 가속
- RGA(잔류 가스 분석기)
- 헬륨 분위기에서 용접된 밀폐형 장치의 헬륨 누출 테스트
- 제약 포장의 누출 감지
- 분광학
- 분자 이온 트랩
- 저온 유지 장치 진공 챔버
- 빔라인
진공 큐브 펌핑 성능 여러 이상적인 진공 큐브 구성에 대한 펌프다운 곡선이 아래 그래프에 표시되어 있습니다. 단일 6x6x6인치 큐브는 대기에서 2.5분 안에 1x10
-5 Torr로 펌핑될 수 있으며 약 15분 안에 1x10
-6 Torr 미만으로 펌핑될 수 있습니다. (
곡선 그래픽 보기 1 )
이는 110리터/분(3.3cfm) 건식 스크롤 진공 펌프가 지원하는 68리터/초 터보분자 펌프를 사용하여 달성되었습니다.
또한 인기 있는 Agilent Varian IDP-3 및 SH-110 건식 스크롤 펌프에 대한 러핑 펌프다운 곡선도 제공했습니다. 6x6x6 큐브는 펌핑 1분 이내에 IDP-3(2.1cfm)의 경우 300mTorr의 기본 압력에 도달하고, Agilent Varian SH-110(3.3cfm)의 경우 약 2분 만에 50mTorr에 도달합니다. (
곡선 그래픽 보기 2 )
특별한 요청이 있을 경우 레이저 연구 및 광학 응용 분야에서 산란된 빛을 흡수하는 데 도움이 되는 완전히 양극 처리된 플레이트를 제공할 수 있습니다. 양극산화 처리된 부품은 알루미늄 금속 표면만큼 빠르게 펌프다운되지 않습니다. (
곡선 그래픽 보기 3 )
양극 처리된 플레이트가 있는 단일 6x6x6은 1x10
-5 Torr에 도달하는 데 1시간의 펌핑이 필요했습니다.
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