ISO-K 200 흡입구, 1350l/s 펌핑 속도, 수냉식을 갖춘 Edwards nEXT1230H 터보 진공 펌프. Edwards 부품 번호: B8N4A0D00. ISO-K 200 흡입 플랜지가 장착된 Edwards nEXT1230H 터보분자 고진공 펌프는 펌핑 속도가 초당 1350리터(l/s)이고 최종 압력이 5 x 10-9mbar(3.7 x 10-9Torr)입니다. 이 nEXT1230H 펌프에는 ISO KF-40 배기 포어라인 플랜지가 있습니다. 선택적 흡입 스크린(거칠거나 미세함)을 사용할 수 있습니다. nEXT1230H 시리즈 터보 펌프는 최대 800W에서 48VDC 입력 전력이 필요합니다(정상 작동은 일반적으로 500W 미만). 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 48V 전원 케이블과 0.95m 길이의 제어 케이블이 펌프에 표준으로 제공됩니다. nEXT1230H 터보 펌프에는 RS232, RS485 및 USB 인터페이스, 5개의 상태 LED 및 하나의 액세서리(공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 환기 밸브)를 제어할 수 있는 소형 온보드 컨트롤러가 있습니다. 필요한 것은 적절한 전원 공급 장치와 시작/중지 논리뿐입니다. 실험실 사용의 경우 Edwards EPS 800 전원 공급 장치와 펌프 작동을 위한 Edwards TIC 또는 TAG 컨트롤러를 권장합니다. 또한 TIC 및 TAG, 강제 공랭식 및 수냉식 키트, 솔레노이드 작동식 배기 밸브를 포함한 다양한 옵션 액세서리도 제공합니다. 이 nEXT1230H 터보 펌프에는 Edwards 부품 번호 B8N4A0D00이 있습니다. Edwards nEXT1230H 터보 펌프 사양: 부품 번호: B8N4A0D00 입구 플랜지: ISO-K 200 기본 압력: 5 x 10-9mbar(3.7 x 10-9Torr). 작동 속도: 42,000RPM 작동 위치: 수평에서 수직(흡입구 위) 펌핑 속도: 1350l/s 냉각: 물 배출 플랜지: KF-40 작동 전압: 48VDC 최대 전력: 800W(일반 작동 < 500W) 전력 및 통신: DB15 직렬 RS232/RS485 인터페이스, USB 액세서리 포트 1개 권장 러핑 펌프: nXDS35i 또는 E2M28 nEXT 터보 펌프에는 높은 수준의 신뢰성을 유지하면서 펌프 성능을 최적화하도록 설계된 로터가 있으며 모든 가스 종에 걸쳐 우수한 펌핑 속도와 압축을 제공합니다. . 향상된 성능 외에도 nEXT1230H 터보 펌프에는 현장 서비스가 가능한 샤프트 베어링이 있어 가동 중지 시간이 크게 줄어듭니다. nEXT 터보 펌프는 펌프 작동 및 대기 속도를 제어하고 솔레노이드 벤트 밸브(TAV5, TAV6) 및 공기 냉각 장치(24VDC 액세서리 포트를 통해)를 작동하기 위한 구동 전자 장치가 있는 소형 온보드 컨트롤러의 이점을 활용합니다. 일체형 컨트롤러에는 RS232 및 RS485 직렬 통신을 위한 DB15 인터페이스가 있습니다. USB 포트를 통해 Edwards nST2 PC 소프트웨어를 사용할 수 있습니다(아래 링크에서 무료 다운로드). 또한 컨트롤러에는 펌프의 일반 상태, 작동 및 서비스 상태를 알려주는 5개의 표시기 LED가 있습니다. 옵션인 TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러가 펌프를 제어할 수 있습니다. CF 플랜지가 있는 Edwards nEXT 펌프는 최종 압력이 10-10 Torr 범위에 이르는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 청소하고 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 10-8 Torr 범위의 최종 압력으로 제한됩니다(고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해). Conflat 플랜지 nEXT1230H 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 때 최대 100°C까지 구워질 수 있습니다. Confat 펌프용 히터 밴드는 특별 주문이며 별도로 판매됩니다. 진공 시스템 통합 애플리케이션의 경우, nEXT1230H 펌프는 적절한 사용자 공급 48 VDC 전원을 통해 전원을 공급받을 수 있습니다. 실험실 응용 분야의 경우 펌프 제어를 위해 Edwards EPS 800 전원 공급 장치와 Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 활성 게이지 컨트롤러를 권장합니다. TIC 컨트롤러 시리즈는 RS232/RS485를 통해 Edwards nEXT 시리즈 펌프와 통신하고 터보 펌프에 대한 전체 모니터링 및 제어 기능을 제공하며 선택적으로 하나 이상의 진공 게이지 기기에 대한 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원입니다. . Edwards 릴레이 박스가 추가되면 TIC 컨트롤러와 주 배압 펌프, 터보 펌프 플랜지 히터 밴드 및 배압 라인 차단 밸브 사이의 제어 인터페이스가 됩니다. TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 nEXT1230H 터보 펌프 및 진공 게이지를 작동할 수 있으며 대형 LED 디스플레이에 펌프 속도 또는 진공 압력을 표시할 수 있습니다. 펌프 사용 설명서와 Edwards nEXT 펌프 제품 브로셔는 다운로드 섹션에서 제공됩니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 일반 청정 펌핑 응용 분야 주사형 전자 현미경 - SEM 빔 라인 및 고에너지 물리학 질량 분석법 전자 현미경 샘플 준비 연구 및 개발 고에너지 물리학 산업 반도체 코팅 표면 과학 장비

Conflat CF 10.0" DN200 CF 흡입구가 포함된 Edwards nEXT1230H 터보 진공 펌프, 1350l/s 펌핑 속도, 수냉식. Edwards 부품 번호: B8N4A0F00. Conflat CF 10.0" DN200 CF 흡입구 플랜지가 포함된 Edwards nEXT1230H 터보분자 고진공 펌프에는 펌핑 속도가 있습니다. 초당 1350리터(l/s) 및 5 x 10-10mbar(3.7 x 10-10Torr)의 최종 압력. 이 nEXT1230H 펌프에는 ISO KF-40 배기 포어라인 플랜지가 있습니다. 선택적 흡입 스크린(거칠거나 미세함)을 사용할 수 있습니다. nEXT1230H 시리즈 터보 펌프는 최대 800W에서 48VDC 입력 전력이 필요합니다(정상 작동은 일반적으로 500W 미만). 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 48V 전원 케이블과 0.95m 길이의 제어 케이블이 펌프에 표준으로 제공됩니다. nEXT1230H 터보 펌프에는 RS232, RS485 및 USB 인터페이스, 5개의 상태 LED 및 하나의 액세서리(공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 환기 밸브)를 제어할 수 있는 소형 온보드 컨트롤러가 있습니다. 필요한 것은 적절한 전원 공급 장치와 시작/중지 논리뿐입니다. 실험실 사용의 경우 Edwards EPS 800 전원 공급 장치와 펌프 작동을 위한 Edwards TIC 또는 TAG 컨트롤러를 권장합니다. 또한 TIC 및 TAG, 강제 공랭식 및 수냉식 키트, 솔레노이드 작동식 배기 밸브를 포함한 다양한 옵션 액세서리도 제공합니다. 이 nEXT1230H 터보 펌프에는 Edwards 부품 번호 B8N4A0F00이 있습니다. Edwards nEXT1230H 터보 펌프 사양: 부품 번호: B8N4A0F00 입구 플랜지: DN200 CF, CF 10.0인치. 기본 압력: 5 x 10-10mbar(3.7 x 10-10Torr). 작동 속도: 42,000RPM 작동 위치: 수평에서 수직(흡입구 위) 펌핑 속도: 1350l/s 냉각: 물 배출 플랜지: KF-40 작동 전압: 48VDC 최대 전력: 800W(일반 작동 < 500W) 전력 및 통신: DB15 직렬 RS232/RS485 인터페이스, USB 액세서리 포트 1개 권장 러핑 펌프: nXDS35i 또는 E2M28 nEXT 터보 펌프에는 높은 수준의 신뢰성을 유지하면서 펌프 성능을 최적화하도록 설계된 로터가 있으며 모든 가스 종에 걸쳐 우수한 펌핑 속도와 압축을 제공합니다. . 향상된 성능 외에도 nEXT1230H 터보 펌프에는 현장 서비스가 가능한 샤프트 베어링이 있어 가동 중지 시간이 크게 줄어듭니다. nEXT 터보 펌프는 펌프 작동 및 대기 속도를 제어하고 솔레노이드 벤트 밸브(TAV5, TAV6) 및 공기 냉각 장치(24VDC 액세서리 포트를 통해)를 작동하기 위한 구동 전자 장치가 있는 소형 온보드 컨트롤러의 이점을 활용합니다. 일체형 컨트롤러에는 RS232 및 RS485 직렬 통신을 위한 DB15 인터페이스가 있습니다. USB 포트를 통해 Edwards nST2 PC 소프트웨어를 사용할 수 있습니다(아래 링크에서 무료 다운로드). 또한 컨트롤러에는 펌프의 일반 상태, 작동 및 서비스 상태를 알려주는 5개의 표시기 LED가 있습니다. 옵션인 TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러가 펌프를 제어할 수 있습니다. CF 플랜지가 있는 Edwards nEXT 펌프는 최종 압력이 10-10 Torr 범위에 이르는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(전체 금속 흡기 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 청소하고 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 10-8 Torr 범위의 최종 압력으로 제한됩니다(고무/탄성중합체 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해). Conflat 플랜지 nEXT1230H 펌프의 흡입구는 터보가 수냉식일 때 최대 100°C까지 구워질 수 있습니다. Confat 펌프용 히터 밴드는 특별 주문이며 별도로 판매됩니다. 진공 시스템 통합 애플리케이션의 경우, nEXT1230H 펌프는 적절한 사용자 공급 48 VDC 전원을 통해 전원을 공급받을 수 있습니다. 실험실 응용 분야의 경우 펌프 제어를 위해 Edwards EPS 800 전원 공급 장치와 Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러 또는 TAG 터보 및 활성 게이지 컨트롤러를 권장합니다. TIC 컨트롤러 시리즈는 RS232/RS485를 통해 Edwards nEXT 시리즈 펌프와 통신하고 터보 펌프에 대한 전체 모니터링 및 제어 기능을 제공하며 선택적으로 하나 이상의 진공 게이지 기기에 대한 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원입니다. . Edwards 릴레이 박스가 추가되면 TIC 컨트롤러와 주 배압 펌프, 터보 펌프 플랜지 히터 밴드 및 배압 라인 차단 밸브 사이의 제어 인터페이스가 됩니다. TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러는 nEXT1230H 터보 펌프 및 진공 게이지를 작동할 수 있으며 대형 LED 디스플레이에 펌프 속도 또는 진공 압력을 표시할 수 있습니다. 펌프 사용 설명서와 Edwards nEXT 펌프 제품 브로셔는 다운로드 섹션에서 이용할 수 있습니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 일반 청정 펌핑 응용 분야 주사형 전자 현미경 - SEM 빔 라인 및 고에너지 물리학 질량 분석법 전자 현미경 샘플 준비 연구 및 개발 고에너지 물리학 산업 반도체 코팅 표면 과학 장비

nEXT 터보 펌프용 200W 외부 24VDC 전원 공급 장치 및 AC 전원 코드가 포함된 Edwards TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러 키트. 이 Edwards TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러 키트에는 TAG 컨트롤러, 이에 맞는 200W 전원 공급 장치, 전원 공급 장치용 2미터 길이의 US 플러그 5-15P - C13 커넥터, IEC 60320 입력 전원 코드가 포함되어 있습니다. TAG는 다양한 진공 응용 분야에 적합한 작고 저렴한 24VDC 펌핑 시스템 컨트롤러입니다. TAG는 터보 펌프의 속도를 표시하기 위한 직렬 인터페이스를 제공하며 nEXT85D, nEXT240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원을 공급할 수 있습니다. TAG는 또한 단일 활성 게이지의 진공 압력을 제어 및 표시할 수 있으며, 펌프의 강제 공기 냉각을 위해 팬을 실행할 수 있습니다. TAG 컨트롤러는 모든 nEXT 터보 펌프 및 APG, AIM, ASG 또는 WRG 진공 게이지와 호환됩니다. TAG의 푸시 버튼 인터페이스를 통해 사용자는 대형 LED 디스플레이에 표시된 펌프 속도와 진공 압력 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 이 소형 24VDC 컨트롤러는 벤치탑에 사용하기에 이상적이며 공간이 제한되어 있지만 기능성과 신뢰성이 필수적인 모바일 플랫폼에도 적합합니다. 이 TAG 컨트롤러 키트에는 다음이 포함되어 있습니다. Edwards TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러, PN: D39592000 TAG 컨트롤러용 Edwards 200W 외부 전원 공급 장치, PN: D39592800 AC 전원 코드, 2미터 길이, 115VAC, US 플러그 5-15P - C13, PN: P106129

Edwards TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러, 24VDC, 전원 공급 장치 없음, nEXT 터보 펌프용. Edwards 부품 번호: D39592000. TAG는 다양한 진공 응용 분야에 적합한 작고 저렴한 24VDC 펌핑 시스템 컨트롤러입니다. TAG는 터보 펌프의 속도를 표시하기 위한 직렬 인터페이스를 제공하며 nEXT85D, nEXT240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원을 공급할 수 있습니다. TAG는 또한 단일 활성 게이지의 진공 압력을 제어 및 표시할 수 있으며, 펌프의 강제 공기 냉각을 위해 팬을 실행할 수 있습니다. TAG 컨트롤러는 모든 nEXT 터보 펌프 및 APG, AIM, ASG 또는 WRG 진공 게이지와 호환됩니다. TAG의 푸시 버튼 인터페이스를 통해 사용자는 대형 LED 디스플레이에 표시된 펌프 속도와 진공 압력 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 이 소형 24VDC 컨트롤러는 벤치탑에 사용하기에 이상적이며 공간이 제한되어 있지만 기능성과 신뢰성이 필수적인 모바일 플랫폼에도 적합합니다. 이 목록은 TAG 컨트롤러에만 해당됩니다. 24VDC 전원 공급 장치(부품 번호 P106340)와 표준 AC 전원 코드(부품 번호 P106129)가 필요합니다. 또한 전원 공급 장치와 AC 전원 코드가 포함된 TAG 컨트롤러 키트인 부품 번호 P106255도 제공됩니다.

Edwards TAG Turbo 및 Active Gauge Controller용 Edwards 200W 외부 전원 공급 장치, 24VDC. Edwards 부품 번호: D39592800. 이 Edwards 200W 외부 전원 공급 장치는 TAG 터보 및 활성 게이지 컨트롤러(부품 번호 P106255)에 24VDC @8A를 제공합니다. TAG에는 자체 내부 전원 공급 장치가 없으므로 외부 200W 전원 공급 장치가 필요합니다. 이 전원 공급 장치에는 TAG 컨트롤러에 연결되는 영구적으로 연결된 케이블이 함께 제공됩니다. 이 전원 공급 장치의 입력 AC 케이블은 별도로 판매됩니다(부품 번호 P106129). 이 200W Edwards 전원 공급 장치의 부품 번호는 D39592800입니다. 이 전원 공급 장치는 TAG Turbo 및 Active Gauge Controller용입니다.

입력 전원 코드 Edwards TIC 컨트롤러, 릴레이 박스 또는 TAG 전원 공급 장치 US 플러그용 주 케이블 2m 길이 115VAC. 이것은 입력 전원 코드(주 전원 케이블), 115VAC, 길이 2m, C13 커넥터에 대한 US 플러그 5-15P입니다. 이는 Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러 및 TIC 릴레이 박스에 사용됩니다. 또한 TAG 터보 및 활성 게이지 컨트롤러(TAG에는 내부 전원 공급 장치가 없음)에 전원을 공급하는 200W 외부 전원 공급 장치(부품 번호 P106340)에도 사용됩니다. Edwards 부품 번호 B8J200813, A50507000 또는 D40013120을 대체하며 부품 번호 P102990과 동일합니다. 이 전원 코드는 다음에 사용됩니다. Edwards TIC Turbo 계기 컨트롤러 Edwards TIC 릴레이 박스 Edwards TAG 터보 및 액티브 게이지 컨트롤러 200W 외부 전원 공급 장치 Edwards nXDSi 건식 스크롤 펌프

nEXT 터보 펌프용 활성 진공 게이지 3개를 지원하는 Edwards 200W TIC 터보 계기 컨트롤러. Edwards 부품 번호: D39722000. 이 Edwards 200W TIC 터보 계기 컨트롤러는 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프를 제어하고 전원을 공급할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 최대 3개의 활성 진공 게이지를 지원하며 Edwards 부품 번호는 D39722000입니다. Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러는 모든 Edwards nEXT 터보 펌프와 함께 사용할 수 있는 100W 및 200W 소형 컨트롤러 시리즈입니다. TIC는 펌프에 부착된 DB15 직렬 케이블을 통해 터보 펌프에 연결하고 이를 제어합니다. 동일한 케이블을 통해 TIC는 더 작은 nEXT 펌프에 24VDC 펌프 전원을 공급할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 크고 선명한 그래픽 디스플레이, 터치 감지 키패드를 통한 사용하기 쉬운 제어 인터페이스, 사용자 제공 소프트웨어를 사용하여 원격 PC에서 제어 및 데이터 모니터링을 위한 DB9 RS232/485 인터페이스를 갖추고 있습니다. TIC에는 100-240VAC 입력 전원이 필요하며 랙에 장착하거나 벤치탑에 사용할 수 있습니다. TIC에는 입력 전원 케이블이 함께 제공되지 않습니다(부품 번호 P106129 권장). 모든 TIC 변형은 Phoenix 4핀 커넥터를 통해 강제 공기 냉각 팬과 솔레노이드 작동 환기 밸브를 지원합니다(결합 끝은 TIC와 함께 제공됨). DB25 로직 인터페이스를 통해 Edwards 릴레이 박스(부품 번호 P106081)에 연결하면 TIC는 백킹 펌프, 플랜지 히터 밴드 및 24VDC 백킹 라인 밸브도 제어할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 활성 게이지 제어 유무에 관계없이 사용할 수 있습니다. 지원되는 게이지는 APG, AIM, ASG 또는 WRG 시리즈 게이지입니다(IGC 및 Barocel 모델은 지원되지 않음). 100W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 100W, 활성 게이지에 대한 제어 없음, 부품 번호 D39711000 TIC 컨트롤러, 100W, 최대 3개의 활성 게이지 제어, 부품 번호 D39721000 제어 및 nEXT85D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT730D 제어 권장, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백킹 차단 밸브 제어 200W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 200W, 활성 게이지용 컨트롤 없음, 부품 번호 D39712000 TIC 컨트롤러, 200W, 컨트롤 최대 3개의 활성 게이지, 부품 번호 D39722000 제어 및 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT85D 터보 펌프의 더 빠른 램프 속도(100W TIC와 비교) 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백업 차단 밸브

진공 게이지 지원이 없는 Edwards 200W TIC 터보 계기 컨트롤러, nEXT 터보 펌프용. Edwards 부품 번호: D39712000. 이 Edwards 200W TIC 터보 계기 컨트롤러는 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프를 제어하고 전원을 공급할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 활성 게이지를 지원하지 않으며 Edwards 부품 번호 D39712000입니다. Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러는 모든 Edwards nEXT 터보 펌프와 함께 사용할 수 있는 100W 및 200W 소형 컨트롤러 시리즈입니다. TIC는 펌프에 부착된 DB15 직렬 케이블을 통해 터보 펌프에 연결하고 이를 제어합니다. 동일한 케이블을 통해 TIC는 더 작은 nEXT 펌프에 24VDC 펌프 전원을 공급할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 크고 선명한 그래픽 디스플레이, 터치 감지 키패드를 통한 사용하기 쉬운 제어 인터페이스, 사용자 제공 소프트웨어를 사용하여 원격 PC에서 제어 및 데이터 모니터링을 위한 DB9 RS232/485 인터페이스를 갖추고 있습니다. TIC에는 100-240VAC 입력 전원이 필요하며 랙에 장착하거나 벤치탑에 사용할 수 있습니다. TIC에는 입력 전원 케이블이 함께 제공되지 않습니다(부품 번호 P106129 권장). 모든 TIC 변형은 Phoenix 4핀 커넥터를 통해 강제 공기 냉각 팬과 솔레노이드 작동 환기 밸브를 지원합니다(결합 끝은 TIC와 함께 제공됨). DB25 로직 인터페이스를 통해 Edwards 릴레이 박스(부품 번호 P106081)에 연결하면 TIC는 백킹 펌프, 플랜지 히터 밴드 및 24VDC 백킹 라인 밸브도 제어할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 활성 게이지 제어 유무에 관계없이 사용할 수 있습니다. 지원되는 게이지는 APG, AIM, ASG 또는 WRG 시리즈 게이지입니다(IGC 및 Barocel 모델은 지원되지 않음). 100W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 100W, 활성 게이지에 대한 제어 없음, 부품 번호 D39711000 TIC 컨트롤러, 100W, 최대 3개의 활성 게이지 제어, 부품 번호 D39721000 제어 및 nEXT85D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT730D 제어 권장, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백킹 차단 밸브 제어 200W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 200W, 활성 게이지용 컨트롤 없음, 부품 번호 D39712000 TIC 컨트롤러, 200W, 컨트롤 최대 3개의 활성 게이지, 부품 번호 D39722000 제어 및 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT85D 터보 펌프의 더 빠른 램프 속도(100W TIC와 비교) 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백업 차단 밸브

nEXT 터보 펌프용 활성 진공 게이지 3개를 지원하는 Edwards 100W TIC 터보 계기 컨트롤러. Edwards 부품 번호: D39721000. 이 Edwards 100W TIC 터보 계기 컨트롤러는 nEXT85D 터보 펌프를 제어하고 전원을 공급할 수 있으며 nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프를 제어하는 데 권장됩니다. 이 컨트롤러는 최대 3개의 활성 진공 게이지를 지원하며 Edwards 부품 번호는 D39721000입니다. Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러는 모든 Edwards nEXT 터보 펌프와 함께 사용할 수 있는 100W 및 200W 소형 컨트롤러 시리즈입니다. TIC는 펌프에 부착된 DB15 직렬 케이블을 통해 터보 펌프에 연결하고 이를 제어합니다. 동일한 케이블을 통해 TIC는 더 작은 nEXT 펌프에 24VDC 펌프 전원을 공급할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 크고 선명한 그래픽 디스플레이, 터치 감지 키패드를 통한 사용하기 쉬운 제어 인터페이스, 사용자 제공 소프트웨어를 사용하여 원격 PC에서 제어 및 데이터 모니터링을 위한 DB9 RS232/485 인터페이스를 갖추고 있습니다. TIC에는 100-240VAC 입력 전원이 필요하며 랙에 장착하거나 벤치탑에 사용할 수 있습니다. TIC에는 입력 전원 케이블이 함께 제공되지 않습니다(부품 번호 P106129 권장). 모든 TIC 변형은 Phoenix 4핀 커넥터를 통해 강제 공기 냉각 팬과 솔레노이드 작동 환기 밸브를 지원합니다(결합 끝은 TIC와 함께 제공됨). DB25 로직 인터페이스를 통해 Edwards 릴레이 박스(부품 번호 P106081)에 연결하면 TIC는 백킹 펌프, 플랜지 히터 밴드 및 24VDC 백킹 라인 밸브도 제어할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 활성 게이지 제어 유무에 관계없이 사용할 수 있습니다. 지원되는 게이지는 APG, AIM, ASG 또는 WRG 시리즈 게이지입니다(IGC 및 Barocel 모델은 지원되지 않음). 100W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 100W, 활성 게이지에 대한 제어 없음, 부품 번호 D39711000 TIC 컨트롤러, 100W, 최대 3개의 활성 게이지 제어, 부품 번호 D39721000 제어 및 nEXT85D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT730D 제어 권장, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백킹 차단 밸브 제어 200W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 200W, 활성 게이지용 컨트롤 없음, 부품 번호 D39712000 TIC 컨트롤러, 200W, 컨트롤 최대 3개의 활성 게이지, 부품 번호 D39722000 제어 및 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT85D 터보 펌프의 더 빠른 램프 속도(100W TIC와 비교) 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백업 차단 밸브

진공 게이지 제어 기능이 없는 Edwards 100W TIC 터보 계기 컨트롤러, nEXT 터보 펌프용. Edwards 부품 번호: D39711000. 이 Edwards 100W TIC 터보 계기 컨트롤러는 nEXT85D 터보 펌프를 제어하고 전원을 공급할 수 있으며 nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프를 제어하는 데 권장됩니다. 이 컨트롤러는 활성 게이지를 지원하지 않으며 Edwards 부품 번호 D39711000입니다. Edwards TIC 터보 계기 컨트롤러는 모든 Edwards nEXT 터보 펌프와 함께 사용할 수 있는 100W 및 200W 소형 컨트롤러 시리즈입니다. TIC는 펌프에 부착된 DB15 직렬 케이블을 통해 터보 펌프에 연결하고 이를 제어합니다. 동일한 케이블을 통해 TIC는 더 작은 nEXT 펌프에 24VDC 펌프 전원을 공급할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 크고 선명한 그래픽 디스플레이, 터치 감지 키패드를 통한 사용하기 쉬운 제어 인터페이스, 사용자 제공 소프트웨어를 사용하여 원격 PC에서 제어 및 데이터 모니터링을 위한 DB9 RS232/485 인터페이스를 갖추고 있습니다. TIC에는 100-240VAC 입력 전원이 필요하며 랙에 장착하거나 벤치탑에 사용할 수 있습니다. TIC에는 입력 전원 케이블이 함께 제공되지 않습니다(부품 번호 P106129 권장). 모든 TIC 변형은 Phoenix 4핀 커넥터를 통해 강제 공기 냉각 팬과 솔레노이드 작동 환기 밸브를 지원합니다(결합 끝은 TIC와 함께 제공됨). DB25 로직 인터페이스를 통해 Edwards 릴레이 박스(부품 번호 P106081)에 연결하면 TIC는 백킹 펌프, 플랜지 히터 밴드 및 24VDC 백킹 라인 밸브도 제어할 수 있습니다. TIC 컨트롤러는 활성 게이지 제어 유무에 관계없이 사용할 수 있습니다. 지원되는 게이지는 APG, AIM, ASG 또는 WRG 시리즈 게이지입니다(IGC 및 Barocel 모델은 지원되지 않음). 100W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 100W, 활성 게이지에 대한 제어 없음, 부품 번호 D39711000 TIC 컨트롤러, 100W, 최대 3개의 활성 게이지 제어, 부품 번호 D39721000 제어 및 nEXT85D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT730D 제어 권장, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백킹 차단 밸브 제어 200W TIC 터보 계기 컨트롤러 정보 TIC 컨트롤러, 200W, 활성 게이지용 컨트롤 없음, 부품 번호 D39712000 TIC 컨트롤러, 200W, 컨트롤 최대 3개의 활성 게이지, 부품 번호 D39722000 제어 및 nEXT230D, nEXT300D 또는 nEXT400D 터보 펌프에 전원 공급 가능 nEXT85D 터보 펌프의 더 빠른 램프 속도(100W TIC와 비교) 릴레이 박스(P106081)를 사용하여 백킹 펌프, 히터 밴드 및 백업 차단 밸브

Edwards 확장 전원 및 통신 케이블 TIC 또는 TAG 컨트롤러를 nEXT 터보 펌프, D-Sub 15핀, 길이 1m에 연결합니다. Edwards 부품 번호: D39700835. 이 Edwards의 1m 길이 연장 전원 및 통신 케이블은 모든 nEXT 터보 펌프와 TIC(터보 계기 컨트롤러) 또는 TAG(터보 및 활성 게이지 컨트롤러) 사이를 연결합니다. 펌프와 컨트롤러 사이의 거리를 늘리는 데 사용됩니다. 이 연장 케이블에는 양쪽 끝에 D-Sub 15핀 커넥터가 있으며, 수놈 하나, 암놈 하나가 있습니다. Edwards nEXT Turbo 펌프에는 0.3m 길이의 전원 및 통신 케이블이 영구적으로 부착되어 있습니다. 이 1미터 연장 케이블은 펌프-컨트롤러 케이블의 전체 길이를 1.3미터로 늘립니다. 이 1m 길이의 연장 전원 및 통신 케이블에는 Edwards 부품 번호 D39700835가 있습니다. 이 Edwards 확장 전원 및 통신 케이블은 TIC 또는 TAG 컨트롤러 및 다음 nEXT 펌프와 호환됩니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 확장 전원 및 통신 케이블 TIC 또는 TAG 컨트롤러를 nEXT 터보 펌프, D-Sub 15핀, 길이 2m에 연결합니다. Edwards 부품 번호: D39700836. 이 Edwards의 2m 길이 연장 전원 및 통신 케이블은 모든 nEXT 터보 펌프와 TIC(터보 계기 컨트롤러) 또는 TAG(터보 및 활성 게이지 컨트롤러) 사이를 연결합니다. 펌프와 컨트롤러 사이의 거리를 늘리는 데 사용됩니다. 이 연장 케이블에는 양쪽 끝에 D-Sub 15핀 커넥터가 있으며, 수놈 하나, 암놈 하나가 있습니다. Edwards nEXT Turbo 펌프에는 0.3m 길이의 전원 및 통신 케이블이 영구적으로 부착되어 있습니다. 이 2m 연장 케이블은 펌프-컨트롤러 케이블의 전체 길이를 2.3m로 늘립니다. 이 2m 길이의 연장 전원 및 통신 케이블에는 Edwards 부품 번호 D39700836이 있습니다. 이 Edwards 확장 전원 및 통신 케이블은 TIC 또는 TAG 컨트롤러 및 다음 nEXT 펌프와 호환됩니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 확장 전원 및 통신 케이블 TIC 또는 TAG 컨트롤러를 nEXT 터보 펌프, D-Sub 15핀, 길이 5m에 연결합니다. Edwards 부품 번호: D39700837. 이 Edwards의 5m 길이 연장 전원 및 통신 케이블은 모든 nEXT 터보 펌프와 TIC(터보 계기 컨트롤러) 또는 TAG(터보 및 활성 게이지 컨트롤러) 사이를 연결합니다. 펌프와 컨트롤러 사이의 거리를 늘리는 데 사용됩니다. 이 연장 케이블에는 양쪽 끝에 D-Sub 15핀 커넥터가 있으며, 수놈 하나, 암놈 하나가 있습니다. Edwards nEXT Turbo 펌프에는 0.3m 길이의 전원 및 통신 케이블이 영구적으로 부착되어 있습니다. 이 5미터 연장 케이블은 펌프-컨트롤러 케이블의 전체 길이를 5.3미터로 늘립니다. 이 5미터 길이의 연장 전원 및 통신 케이블에는 Edwards 부품 번호 D39700837이 있습니다. 이 Edwards 확장 전원 및 통신 케이블은 TIC 또는 TAG 컨트롤러 및 다음 nEXT 펌프와 호환됩니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 로직 인터페이스 케이블, TIC 컨트롤러와 TIC 릴레이 박스 간 연결, 25핀 D-Sub, 길이 2m. Edwards 부품 번호: D39700833. 이 Edwards 로직 인터페이스 케이블은 TIC Turbo 계측기 컨트롤러와 TIC 릴레이 박스를 상호 연결합니다. 이 수-암 25핀 D-Sub 케이블의 길이는 2미터입니다. 이를 통해 TIC는 배킹 펌프, 흡기 플랜지 히터 밴드(베이크아웃 밴드) 및 차단 밸브의 전원 공급을 제어할 수 있습니다. 이 로직 인터페이스 케이블의 Edwards 부품 번호는 D39700833입니다. 이 로직 인터페이스 케이블은 다음과 호환됩니다: TIC Turbo 계기 컨트롤러(P106075, P105874, P106074, P106128) TIC 릴레이 박스(P106081) TIC Turbo 계기 컨트롤러 및 TIC 릴레이 박스는 다음 터보 펌프와 호환됩니다: nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TIC 릴레이 박스를 사용하면 TIC가 백킹 펌프, 플랜지 히터 밴드 및 차단 밸브를 제어할 수 있으며 설정점은 없습니다. Edwards 부품 번호: D39711805. 이 Edwards TIC 릴레이 박스는 TIC 컨트롤러와 주 배압 펌프, 터보 펌프 플랜지 히터 밴드 및 배압 라인 차단 밸브 사이의 제어 인터페이스 역할을 합니다. 이 릴레이 박스에는 설정점 릴레이가 없습니다. 릴레이 박스는 TIC 컨트롤러와 함께 장착된 벤치탑이나 랙에서 사용할 수 있습니다. TIC 릴레이 박스는 25핀 D-Sub, 로직 인터페이스 케이블(부품 번호 P1012534)을 사용하여 TIC 터보 계측기 컨트롤러에 연결됩니다. 릴레이 박스는 100-240VAC의 입력 전원을 수용합니다. Edwards 입력(주 전원) 전원 케이블(부품 번호 P106129)은 별도로 판매됩니다. 백킹 펌프에 전원을 공급하기 위한 최대 정격은 240VAC@10A이고 히터(베이크아웃) 대역의 경우 240VAC@1A입니다. 백킹 펌프와 히터 밴드 연결부는 개별적으로 융합되어 있습니다. 백킹 펌프와 히터 밴드의 정격은 릴레이 박스에 공급되는 입력 전압과 동일한 전압이어야 합니다. 차단 밸브 제어 장치의 최대 정격은 24VDC@0.5A이며 배압 펌프가 작동 중일 때마다 전원이 공급됩니다. 이 Edwards 릴레이 박스의 부품 번호는 D39711805입니다. TIC 릴레이 박스 및 TIC 터보 계기 컨트롤러는 다음 터보 펌프와 호환됩니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards EPS 800 전원 공급 장치, 48VDC, 800W, nEXT730D, 930D 및 1230H 터보 펌프용. Edwards 부품 번호: B8J200819. 이 Edwards EPS 800은 최대 17.1Amp에서 48VDC 출력을 제공하는 800W 전원 공급 장치이며 nEXT 시리즈 터보 펌프 모델 nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H에 전원을 공급하도록 설계되었습니다. 100~240VAC 입력 소스에서 48VDC 청정 퓨즈 전원을 공급합니다. EPS 800은 펌프에 장착하거나 벤치탑 장치로 사용할 수 있습니다. EPS 800을 터보 펌프 측면에 장착하려면 어댑터 장착 키트(부품 번호 P1012528)가 필요합니다. EPS 800 전원 공급 장치를 펌프에 직접 장착하는 경우 펌프에 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 전원 케이블을 사용하여 펌프를 EPS 800 전원 공급 장치에 직접 연결합니다. 이 경우 펌프-전원 공급 장치 확장 케이블이 필요하지 않습니다. 또는 EPS 800 전원 공급 장치를 원격 벤치탑 전원 공급 장치로 사용할 수 있습니다. EPS 800 전원 공급 장치를 펌프에 연결하기 위한 입력 전원 코드와 연장 전원 케이블이 필요합니다(아래 부품 번호 참조). EPS 800 전원 공급 장치는 현재 단종된 EPS 500 장치를 대체하며 Edwards 부품 번호 B8J200819를 갖습니다. Edwards 800 전원 공급 장치는 다음 펌프와 함께 사용됩니다. nEXT730D nEXT930D nEXT1230H Edwards 800 전원 공급 장치용 입력(주) 115 VAC 전원 케이블: 길이 2m, P106129 길이 3m, P1012348 nEXT 터보 펌프 사이의 거리를 늘리기 위한 연장 케이블 Edwards 800 전원 공급 장치: 길이 3m, P1012349

Edwards EPS 800 전원 공급 장치용 IVP 입력 전원 코드/주 케이블, 길이 2.5m, US 플러그, 입력 115VAC., 출력 48VDC. 이는 Edwards EPS 800 전원 공급 장치용으로 제작된 IVP 전원 코드(주 전원 케이블), 115VAC, 2.5m 길이입니다. 한쪽 끝에는 Edwards EPS 800 전원 공급 장치에 연결되는 4핀 나사 잠금 플러그가 있고 다른 쪽 끝에는 US 플러그 5-15P가 있습니다. IVP 전원 코드의 용도: Edwards EPS 800 전원 공급 장치

EPS 800 전원 공급 장치용 Edwards 입력 전원 코드/주 케이블, US 115VAC 5-15P 플러그, 길이 2.5m. Edwards 부품 번호: B8J200830. 이는 EPS 800 전원 공급 장치용으로 특별히 제작된 Edwards 전원 코드(주 전원 케이블), 115VAC, 2.5m 길이입니다. 한쪽 끝에는 EPS 800 전원 공급 장치에 연결되는 4핀 나사 잠금 플러그가 있고 다른 쪽 끝에는 US 플러그 5-15P가 있습니다. 이 Edwards 2.5미터 길이 입력 전원 코드의 부품 번호는 B8J200830입니다. 이 OEM 전원 코드의 용도는 다음과 같습니다. Edwards EPS 800 전원 공급 장치

EPS 800 전원 공급 장치용 IVP 입력 전원 코드/주 케이블, US 240VAC 5-15P 플러그, 길이 2.5m. 이는 Edwards EPS 800 전원 공급 장치용으로 제작된 IVP 전원 코드(주 전원 케이블), 240VAC, 2.5m 길이입니다. 한쪽 끝에는 Edwards EPS 800 전원 공급 장치에 연결되는 4핀 나사 잠금 플러그가 있고 다른 쪽 끝에는 US 플러그 5-15P가 있습니다. IVP 전원 코드의 용도: Edwards EPS 800 전원 공급 장치

Edwards 전원 공급 장치 케이블은 nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프를 EPS 800 전원 공급 장치(3m 길이)에 연결합니다. Edwards 부품 번호: B8J200824. 이 Edwards의 3m 길이, 48VDC 전원 공급 장치 연장 케이블은 nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프와 EPS 800 전원 공급 장치 사이의 전원 케이블 길이를 연장합니다. 이 3미터 케이블은 일반적으로 펌프에서 멀리 떨어진 벤치탑에서 전원 공급 장치를 사용할 때 사용됩니다. 5m 길이의 연장 전원 공급 케이블도 제공됩니다(부품 번호 P1012349). 이 3미터 길이의 전원 공급 장치 케이블은 양쪽 끝에 3핀 Hastings 유형 커넥터가 있고 Edwards 부품 번호 B8J200824가 있습니다. EPS 800 전원 공급 장치를 펌프에 직접 장착하는 경우(장착 키트 부품 번호 P1012528 사용) 펌프에 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 전원 케이블을 사용하여 펌프를 EPS 800 전원 공급 장치에 직접 연결합니다. 이 경우 펌프-전원 공급 장치 확장 케이블이 필요하지 않습니다. 이 Edwards 연장 케이블은 EPS 800 전원 공급 장치와 다음 터보 펌프 사이의 거리를 연장하는 데 사용됩니다. nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 전원 공급 장치 확장 케이블은 nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프를 EPS 800 전원 공급 장치(5m 길이)에 연결합니다. Edwards 부품 번호: B8J200825. 이 Edwards의 5m 길이, 48VDC 전원 공급 장치 연장 케이블은 nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프와 EPS 800 전원 공급 장치 사이의 전원 케이블 길이를 연장합니다. 이 5미터 연장 케이블은 일반적으로 펌프에서 멀리 떨어진 벤치탑에서 전원 공급 장치를 사용할 때 사용됩니다. 3m 길이의 연장 전원 공급 케이블도 제공됩니다(부품 번호 P1012527). 이 5미터 길이의 연장 전원 공급 장치 케이블은 양쪽 끝에 3핀 Hastings 유형 커넥터가 있고 Edwards 부품 번호 B8J200825가 있습니다. EPS 800 전원 공급 장치를 펌프에 직접 장착하는 경우(장착 키트 부품 번호 P1012528 사용) 펌프에 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 전원 케이블을 사용하여 펌프를 EPS 800 전원 공급 장치에 직접 연결합니다. 이 경우 펌프-전원 공급 장치 확장 케이블이 필요하지 않습니다. 이 Edwards 연장 케이블은 EPS 800 전원 공급 장치와 다음 터보 펌프 사이의 거리를 연장하는 데 사용됩니다. nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 장착 키트는 EPS 800 전원 공급 장치를 nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프 측면에 적용합니다. Edwards 부품 번호: B8J200832. 이 Edwards 적응형 장착 키트는 EPS 800 전원 공급 장치를 nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 측면에 장착하는 데 필요합니다. 장착 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이러한 터보 펌프(730D 및 930D 펌프, 부품 번호 P1012350)용 방사형 공기 냉각 장치를 이 장착 키트와 함께 사용할 수 있습니다. 이 장착 키트의 Edwards 부품 번호는 B8J200832입니다. 이 장착 키트를 사용하여 EPS 800 전원 공급 장치를 펌프에 직접 장착하면 펌프에 영구적으로 부착된 0.6m 길이의 전원 케이블을 사용하여 펌프를 전원 공급 장치에 직접 연결합니다. 펌프-전원 공급 장치 연장 케이블은 필요하지 않습니다. 이 장착 키트는 다음 펌프에 사용할 수 있습니다: nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 미세 센터링 링 흡입구 스크린(1.1mm), 스플린터 가드는 ISO-K 200 플랜지가 있는 nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 적합합니다. Edwards 부품 번호: B8J200808. 이 Edwards 미세 스크린 센터링 링(1.1mm 메시)은 진공 흐름을 필터링하고 물체가 nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프로 흡입되는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이 스크린의 플랜지 크기는 ISO-K 200입니다. 이 스크린을 사용할 때 사용되는 가스에 따라 펌프 속도가 약간 감소할 수 있습니다. 이 정밀 스크린 센터링 링에는 Edwards 부품 번호 B8J200808이 있습니다. 이 화면에 맞는 항목: ISO-K 200 흡입구가 있는 nEXT930D, Edwards 펌프 부품 번호: B8K200D00 ISO-K 200 흡입구가 있는 nEXT1230H, Edwards 펌프 부품 번호: B8N4A0D00

Edwards 미세 센터링 링 흡입구 스크린(1.1mm), 스플린터 가드, CF 10.0인치 플랜지가 있는 nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 적합합니다. Edwards 부품 번호: B8J200810. 이 Edwards 미세 스크린 센터링 링(1.1mm 메시)은 진공 흐름을 필터링하고 물체가 nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프로 흡입되는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이 스크린의 플랜지 크기는 CF 10.0인치입니다. 사용되는 가스에 따라 이 화면을 사용할 때 펌프 속도가 약간 감소할 수 있습니다. 이 정밀 스크린 센터링 링에는 Edwards 부품 번호 B8J200810이 있습니다. 이 화면에 맞는 제품: CF 10.0인치(DN 200 CF) 흡입구가 있는 nEXT930D, Edwards 펌프 부품 번호: B8K200F00 CF 10.0인치(DN 200 CF) 흡입구가 있는 nEXT1230H, Edwards 펌프 부품 번호: B8N4A0F00

Edwards 거친 센터링 링 흡입구 스크린(2.5mm), 스플린터 가드는 ISO-K 200 플랜지가 있는 nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 적합합니다. Edwards 부품 번호: B8J200807. 이 Edwards의 거친 스크린 센터링 링(2.5mm 메시)은 진공 흐름을 필터링하고 물체가 nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프로 흡입되는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이 스크린의 플랜지 크기는 ISO-K 200입니다. 이 스크린을 사용할 때 사용되는 가스에 따라 펌프 속도가 약간 감소할 수 있습니다. 이 거친 스크린 센터링 링의 Edwards 부품 번호는 B8J200807입니다. 이 화면에 맞는 항목: ISO-K 200 흡입구가 있는 nEXT930D, Edwards 펌프 부품 번호: B8K200D00 ISO-K 200 흡입구가 있는 nEXT1230H, Edwards 펌프 부품 번호: B8N4A0D00

Edwards 거친 센터링 링 흡입구 스크린(2.5mm), 스플린터 가드, CF 10.0인치 플랜지가 있는 nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 적합합니다. Edwards 부품 번호: B8J200809. 이 Edwards의 거친 스크린 센터링 링(2.5mm 메시)은 진공 흐름을 필터링하고 물체가 nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프로 흡입되는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이 스크린의 플랜지 크기는 CF 10.0인치입니다. 사용되는 가스에 따라 이 화면을 사용할 때 펌프 속도가 약간 감소할 수 있습니다. 이 거친 스크린 센터링 링에는 Edwards 부품 번호 B8J200809가 있습니다. 이 화면에 맞는 제품: CF 10.0인치(DN 200 CF) 흡입구가 있는 nEXT930D, Edwards 펌프 부품 번호: B8K200F00 CF 10.0인치(DN 200 CF) 흡입구가 있는 nEXT1230H, Edwards 펌프 부품 번호: B8N4A0F00

nEXT1230H 터보 펌프용 Edwards 베어링 키트. Edwards 부품 번호: B8M200827. 이것은 nEXT1230H 터보 펌프용 Edwards 베어링 키트입니다. 베어링은 Edwards의 교육을 받은 서비스 엔지니어가 현장에서 서비스할 수 있습니다. 베어링을 교체하려면 Edwards 베어링 도구 키트(부품 번호 P1012545)가 필요합니다. nEXT1230H 펌프용 베어링 키트에는 다음이 포함됩니다. 홈이 있는 볼 베어링 O-링, 0.4ml LVO 821 그리스가 포함된 FKM 그리스 주사기 펌프 설명서에 지정된 서비스 간격과 서비스 설명서의 설치 지침을 따르십시오. 이 Edwards 베어링 키트의 부품 번호는 B8M200827입니다. 이 베어링 키트는 다음과 같습니다. 적합: nEXT1230H 터보 펌프

nEXT 1230H 터보 펌프용 Edwards 듀얼 팬 레이디얼 에어 쿨링 장치. Edwards 부품 번호: B8J200801. 이 Edwards 레이디얼 에어 쿨링 듀얼 팬 장치는 nEXT1230H 터보 펌프에 맞으며 펌프에 수직으로 공기 흐름을 제공합니다. 에어 쿨링 시설은 펌프의 보조 커넥터를 통해 전원을 공급받으며 펌프가 켜지면 항상 작동합니다. 이 레이디얼 에어 쿨링 장치는 펌프 측면에 장착된 EPS 800 전원 공급 장치와 함께 사용할 수 있습니다(장착 키트 부품 번호 P1012528 필요). 전원 공급 장치를 펌프에서 원격으로 사용하는 경우 전원 공급 장치 장착 키트가 필요하지 않습니다. 이 Edwards 레이디얼 에어 쿨링 장치에는 장착 나사가 포함되어 있으며 부품 번호는 B8J200801입니다. 이 듀얼 팬 레이디얼 에어 쿨링 키트는 다음 펌프에서 사용할 수 있습니다: nEXT1230H

nEXT1230H 터보 펌프용 Edwards 베어링 교체 도구 키트. Edwards 부품 번호: B8M200845. 이것은 nEXT1230H 터보 펌프용 Edwards 베어링 교체 도구 키트입니다. 이 도구 키트는 펌프 베이스의 베어링(베어링 부품 번호 P1012544)을 제거하고 교체하는 데 필요합니다. 베어링은 Edwards의 교육을 받은 서비스 엔지니어가 현장에서 서비스할 수 있습니다. 펌프 설명서에 명시된 서비스 간격과 서비스 설명서의 설치 지침을 따르십시오. 이 Edwards 베어링 도구 키트의 부품 번호는 B8M200845입니다. 이 베어링 도구 키트는 nEXT1230H 터보 펌프에 사용됩니다.

nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프 액세서리용 Edwards 액세서리 Y 커넥터. Edwards 부품 번호: B8G200837. 이 Edwards 액세서리 Y 커넥터는 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프의 액세서리 포트에 부착되며 두 개의 액세서리를 동시에 연결할 수 있습니다. 두 장치 모두 병렬로 전환됩니다(즉, 전원이 차단된 활성/비활성). 펌프의 액세서리 인터페이스는 연결된 장치와 즉시 작동할 준비가 되어 있습니다(펌프가 켜진 상태에서 전원 공급됨). 공기 냉각 장치, 환기 또는 퍼지 밸브, 릴레이와 같은 보조 장치는 액세서리 연결을 통해 직접 전원을 공급하고 활성화할 수 있습니다. 이 Y 커넥터는 4핀 액세서리 포트 대신 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있는 nEXT 240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프에서는 사용할 수 없습니다. 이 Y 커넥터의 Edwards 부품 번호는 B8G200837입니다. Edwards 액세서리 Y 커넥터는 다음과 호환됩니다. nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프 액세서리용 Edwards 액세서리 연장 케이블, 길이 0.2m. Edwards 부품 번호: B8G200836. 이 Edwards 액세서리 연장 케이블은 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프의 액세서리 포트 또는 액세서리 Y 커넥터(부품 번호 P1012518)에 연결됩니다. 이는 액세서리와 펌프의 거리를 0.2미터 연장합니다. 케이블에는 공간이 제한된 설치를 위한 직선 암 커넥터 1개와 직각 수 커넥터 1개가 있습니다. 공기 냉각 장치, 환기 또는 퍼지 밸브, 릴레이와 같은 장치는 액세서리 연결을 통해 직접 전원을 공급하고 활성화할 수 있습니다. 이 Y 커넥터는 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있는 nEXT 240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프에는 사용할 수 없습니다. 이 액세서리 연장 케이블의 Edwards 부품 번호는 B8G200836입니다. Edwards 액세서리 연장 케이블은 다음과 호환됩니다: nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프 액세서리용 나선 끝이 있는 Edwards 액세서리 연장 케이블, 길이 1.5m. Edwards 부품 번호: B8G200839. 이 Edwards 액세서리 연장 케이블은 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프 액세서리 포트의 한쪽 끝이나 액세서리 Y 커넥터(부품 번호 P1012518)에 연결됩니다. 케이블의 다른 쪽 끝은 노출된 전선으로 종단 처리되지 않습니다. 이 케이블은 액세서리에서 펌프까지의 거리를 1.5m 연장하고 짝을 이루는 액세서리 플러그와 함께 사전 배선되지 않은 액세서리를 사용할 수 있게 해줍니다. 공기 냉각 장치, 환기 또는 퍼지 밸브, 릴레이와 같은 장치는 액세서리 연결을 통해 직접 전원을 공급하고 활성화할 수 있습니다. 이 Y 커넥터는 4핀 액세서리 포트 대신 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있는 nEXT 240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프에서는 사용할 수 없습니다. 이 액세서리 연장 케이블(나선에 대한 수 액세서리 커넥터)에는 Edwards 부품 번호 B8G200839가 있습니다. Edwards 액세서리 연장 케이블(나선에 대한 액세서리 커넥터)은 다음과 호환됩니다. nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 퍼지 벤트 밸브 상시 열림(N/O), 24VDC, BSPP(G) 1/8인치 피팅이 있는 모든 nEXT 터보 펌프용 3m 길이의 종단되지 않은 와이어 포함 Edwards 부품 번호: B58066010 이 Edwards TAV5 배기 밸브는 모든 nEXT85D, 240D, 300D, 400D, 730D, 930D 또는 1230H 시리즈 터보 펌프에 설치할 수 있습니다. 이는 상시 열림(N/O) 밸브이며 24VDC에서 작동합니다. 이 TAV5 솔레노이드 밸브는 끝이 종단 처리되지 않은(나선) 끝이 있는 3미터 길이의 전원 케이블과 함께 제공되며 펌프의 배기 포트에 연결하기 위한 BSPP(G) 1/8" 피팅이 있습니다. 이 밸브는 펌프의 액세서리 포트에서 전원을 공급받을 수 있습니다. (nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H) 또는 커넥터 소켓(nEXT240D, nEXT300D 또는 nEXT400D), TIC 컨트롤러 또는 별도의 24 VDC 전원 공급 장치 85D, 730D, 930D 또는 1230H nEXT 터보 펌프와 함께 사용하려면, 한쪽 끝에 액세서리 커넥터가 있고 다른 쪽 끝에는 종단되지 않은 액세서리 연장 케이블(부품 번호 P1012520)이 필요합니다. 240D, 300D 및 400D 펌프의 경우 밸브의 종단되지 않은 전원 와이어가 펌프의(24 VDC)에 연결됩니다. Phoenix 커넥터 소켓(결합되는 phoenix 플러그는 펌프와 함께 제공됩니다. 평소에는 열려 있는 이 밸브를 정전 배출 밸브로 사용할 수 있습니다. 정전이 발생하면 이 밸브는 펌프와 전진공 라인을 닫고 배출하여 오일을 유지합니다. 전진공 라인에서 다시 확산되는 증기 TAV5 환기 밸브에는 0.5mm 직경의 오리피스가 있으며 5리터 미만의 소형 진공 시스템을 환기시키는 데 적합합니다(더 큰 시스템 용량의 경우 1.0mm의 오리피스가 있는 TAV6 환기 밸브 사용(부품 번호) P106355). TAV5 벤트 밸브는 터보 펌프와 함께 제공되는 수동 벤트 밸브를 대체하거나 터보 분자 펌프 상류의 진공 시스템에 있는 다른 적합한 포트에 장착할 수 있습니다. 이 밸브에는 3m 길이의 종단 처리되지 않은 케이블, 소결 청동 흡입 필터, 건조 질소 공급 장치에 부착하기 위한 리플형 호스 커넥터, 진공 시스템에 직접 연결(선택 사항)하기 위한 DN10NW 어댑터가 함께 제공됩니다. 이 TAV5 상시 개방(NO) 솔레노이드 배기 밸브에는 Edwards 부품 번호 B58066010이 있습니다. 나선 케이블이 있는 이 TAV5 상시 개방형 배기 밸브는 다음 터보 펌프에 사용하기에 적합합니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 퍼지 벤트 밸브 키트, 24VDC, BSP 1/8인치 피팅이 있는 모든 nEXT 터보 펌프용 3m 길이의 종단 처리되지 않은 와이어 포함 Edwards 부품 번호: B58066020. 이 Edwards TAV6 배기 밸브는 모든 nEXT85D, 240D, 300D, 400D, 730D, 930D 또는 1230H 시리즈 터보 펌프에 설치할 수 있습니다. 이 밸브는 24 VDC에서 작동하며 끝이 종단 처리되지 않은(나선) 3미터 길이의 전원 케이블과 함께 제공되며 펌프의 배기 포트에 연결하기 위한 BSP 1/8" 피팅이 있습니다. 이 밸브는 펌프의 부속품으로 전원을 공급받을 수 있습니다. 포트(nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H) 또는 nEXT240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프의 3핀 Phoenix 커넥터 소켓(결합 phoenix 플러그는 펌프와 함께 제공됨) 이 밸브는 TIC 컨트롤러에 직접 연결할 수도 있습니다. 또는 별도의 24 VDC 전원 공급 장치 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 또는 nEXT1230H 터보 펌프와 함께 사용하려면 한쪽 끝에 액세서리 커넥터가 있고 다른 쪽 끝에는 종단되지 않은 액세서리 연장 케이블(부품 번호 P1012520)이 필요합니다. 상시 개방형 밸브는 정전 배기 밸브로 사용할 수 있으며, 정전 발생 시 이 밸브가 닫혀서 펌프와 전진공 라인을 배기함으로써 오일 증기가 전진공 라인에서 역으로 확산되는 것을 방지합니다. . TAV6 벤트 밸브는 직경 1.0mm의 오리피스로 5리터가 넘는 대형 진공 시스템 배기에 적합합니다. 5리터 미만의 소규모 진공 시스템의 경우 오리피스가 0.5mm인 TAV5 환기 밸브(부품 번호 P105358)를 사용하십시오. TAV6 벤트 밸브는 터보 펌프와 함께 제공되는 수동 벤트 밸브를 대체하거나 터보 분자 펌프 상류의 진공 시스템에 있는 다른 적절한 포트에 장착할 수 있습니다. 이 밸브에는 3미터 길이의 종단 처리되지 않은 케이블, 소결 청동 흡입 필터, 건조 질소 공급 장치에 부착하기 위한 리플형 호스 커넥터, 진공 시스템에 직접 연결(선택 사항)하기 위한 DN10NW 어댑터가 함께 제공됩니다. 종단 처리되지 않은 전원 케이블이 포함된 이 TAV6 배기 밸브에는 Edwards 부품 번호 B58066020이 있습니다. 나선 케이블이 있는 이 TAV6 배기 밸브는 다음 터보 펌프에 사용하기에 적합합니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 배기 밸브, 액세서리 커넥터, nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프용, 24 VDC, 평상시 열림(NO), G 1/8인치 피팅. Edwards 부품 번호: B8G200834. 이 Edwards TAV5 배기 밸브는 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 사용할 수 있습니다. 이는 상시 열림(NO) 밸브이며 24VDC에서 작동합니다. 이 TAV5 솔레노이드 밸브에는 0.3m 길이의 전원 케이블이 함께 제공되며 펌프의 액세서리 포트에 연결하기 위한 액세서리 커넥터로 종단 처리되며 펌프의 배기 포트에 연결하기 위한 G 1/8"(BSPP) 피팅이 있습니다. 이 밸브는 구성됩니다. 펌프의 온보드 컨트롤러에 의해 구동됩니다. 일반적으로 열려 있는 이 밸브는 정전 배출 밸브로 사용할 수 있습니다. 정전이 발생하면 이 밸브는 펌프와 전진공 라인을 닫고 배출하여 오일 증기가 펌프에서 다시 확산되는 것을 방지합니다. 4핀 액세서리 포트 대신 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있는 nEXT 240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프에 사용하려면 TAV5 밸브 부품 번호 P105358을 사용하십시오. TAV5 배기 밸브에는 0.5mm 직경의 오리피스가 있으며 다음 용도에 적합합니다. 5리터 미만의 소형 진공 시스템 배기(더 큰 시스템 용량의 경우 오리피스가 1.0mm인 TAV6 배기 밸브, 부품 번호 P106355 사용) TAV5 배기 밸브는 터보 펌프와 함께 제공되는 수동 배기 밸브를 대체할 수 있습니다. 터보분자 펌프 상류의 진공 시스템에 있는 다른 적절한 포트에 장착해야 합니다. 밸브에는 액세서리 커넥터로 끝나는 0.3m 전원 코드, 소결 청동 흡입 필터, 건조 질소 공급 장치에 부착하기 위한 리플형 호스 커넥터, 진공 시스템에 직접 연결(선택 사항)하기 위한 DN10NW 어댑터가 함께 제공됩니다. 이 TAV5 상시 열림(NO) 솔레노이드 배기 밸브에는 Edwards 부품 번호 B8G200834가 있습니다. 이 TAV5 상시 개방형 배기 밸브는 다음 제품에 사용하기에 적합합니다. nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 배기 밸브, 액세서리 커넥터, nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프용, 24 VDC, 평상시 닫힘(NC), G 1/8인치 피팅. Edwards 부품 번호: B8G200835. 이 Edwards TAV5 배기 밸브는 nEXT85D, nEXT730D, nEXT930D 및 nEXT1230H 터보 펌프에 사용할 수 있습니다. 이는 NC(상시 닫힘) 밸브이며 24VDC에서 작동합니다. 이 TAV5 솔레노이드 밸브에는 0.3m 길이의 전원 케이블이 함께 제공되며 펌프의 액세서리 포트에 연결하기 위한 액세서리 커넥터로 종단 처리되며 펌프의 배기 포트에 연결하기 위한 G 1/8"(BSPP) 피팅이 있습니다. 이 밸브는 구성됩니다. 펌프의 온보드 컨트롤러에 의해 구동됩니다. 이 밸브는 4핀 액세서리 포트 대신 3핀 Phoenix 커넥터 소켓이 있는 nEXT 240D, nEXT300D 또는 nEXT400D 펌프에는 사용할 수 없습니다. TAV5 환기 밸브에는 0.5mm 직경의 오리피스가 있으며 5리터 미만의 소형 진공 시스템 환기에 적합합니다(시스템 용량이 더 큰 경우 오리피스가 1.0mm인 TAV6 환기 밸브, 부품 번호 P106355 사용). TAV5 환기 밸브는 터보 펌프와 함께 제공되는 수동 환기 밸브를 대체할 수 있습니다. 또는 터보분자 펌프 상류의 진공 시스템에 있는 다른 적절한 포트에 장착됩니다. 밸브에는 액세서리 커넥터로 끝나는 0.3m 전원 코드, 소결 청동 흡입 필터, 파이프에 부착하기 위한 리플 호스 커넥터가 함께 제공됩니다. 건조 질소 공급 장치 및 진공 시스템에 직접 연결하는 옵션인 DN10NW 어댑터. 이 TAV5 상시 폐쇄형(NC) 솔레노이드 배기 밸브에는 Edwards 부품 번호 B8G200835가 있습니다. 이 TAV5 상시 폐쇄형 배기 밸브는 다음 제품에 사용하기에 적합합니다. nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

모든 nEXT 터보 펌프용 Edwards 벤트 또는 퍼지 포트 어댑터, G 1/8인치 ~ KF10. Edwards 부품 번호: B58066011 이 Edwards 배기 또는 퍼지 포트 어댑터는 nEXT 터보 펌프의 G 1/8인치(BSPP) 암 배기 또는 퍼지 포트를 KF10 NW10 플랜지로 변환하는 데 사용됩니다. 그런 다음 TAV5 또는 TAV6 밸브에 대한 대체 벤트 밸브나 벤트 또는 퍼지 파이프라인을 이 플랜지에 장착할 수 있습니다. 이 벤트 포트 어댑터에는 유량 제한기(벤트 포트에 사용되는 경우)와 어댑터를 펌프에 밀봉하기 위한 O-링이 함께 제공됩니다. 퍼지 포트에 사용하는 경우 PRX10 퍼지 제한기(부품 번호 P1012056)를 사용하여 퍼지 가스 유량을 제한하십시오. 이 어댑터의 Edwards 부품 번호는 B58066011입니다. 이 Edwards 벤트 포트 어댑터는 다음 터보 펌프에 사용하기에 적합합니다. nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

모든 nEXT 시리즈 터보 펌프용 Edwards PRX10 퍼지 제한 장치. Edwards 부품 번호: B58065001 이 Edwards 퍼지 가스 제한기는 모든 nEXT 터보 펌프의 퍼지 포트를 통과하는 건식 퍼지 가스의 유량을 설정합니다. 불활성 퍼지 가스는 베어링과 모터를 부식으로부터 보호하는 데 사용됩니다. 이 퍼지 제한 장치를 사용하려면 배기 포트 어댑터(부품 번호 P106356)를 사용하여 G 1/8"(BSPP) 퍼지 포트를 KF10 NW10 플랜지에 맞춰야 합니다. PRX10 퍼지 제한 장치는 특수 KF10 센터링 링입니다. 필터 및 제한 장치가 내장되어 있습니다. 공급된 이 퍼지 제한 장치는 25 sccm의 공급 압력에서 건조 질소의 유량을 제한하도록 조정됩니다. 공급 압력을 높여 유량을 늘릴 수 있습니다. 자세한 내용은 액세서리 다운로드를 참조하십시오. 퍼지 제한 장치 교정에 대한 추가 정보 이 Edwards PRX10 퍼지 제한 장치의 부품 번호는 B58065001입니다. 이 Edwards PRX10 퍼지 제한 장치는 다음 터보 펌프(P106356 배기 어댑터 포함)에 사용하기에 적합합니다.