MKS HPS® 시리즈 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러, 423 I-Mag® 냉음극 센서 또는 UHV용 421 센서와 호환됩니다. MKS 부품 번호: 943-120V60-TR-PC. MKS HPS® 시리즈 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러는 OEM 또는 산업용으로 사용되는 시리즈 423 I-Mag® 센서 및 UHV용으로 사용되는 421 센서와 호환됩니다. Series 943 냉음극 진공 게이지 컨트롤러는 사용자 친화적이고 10-10 ~ 10-2 Torr의 빠르고 안정적인 압력 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 943 냉음극 진공 게이지는 고진공 챔버의 압력 측정 및 고진공 시스템 제어를 포함한 산업, 공정 및 분석 응용 분야에 매우 적합합니다. 응용 분야에는 고에너지 물리학, 분석 기기, 레이저 생산, 이온 주입, 질량 분석법 또는 PVD가 포함될 수 있습니다. 943 디지털 컨트롤러에는 두 개의 표준 독립 릴레이 설정점이 있어 프로세스를 자신 있게 제어할 수 있습니다. 디스플레이를 보면서 전면 패널에서 설정점을 조정합니다. 빨간색 LED는 설정점 활성화 상태를 나타냅니다. 시리즈 943은 가시성이 뛰어난 LED 디스플레이를 사용하여 10-10 ~ 10-2 Torr의 압력을 표시합니다. 압력의 원격 모니터링을 위해 두 가지 유형의 아날로그 출력이 표준입니다. 내부 변환기는 전체 작동 범위에 걸쳐 전압에서 압력으로 간단한 로그 변환이 가능한 출력을 제공합니다. 후면 패널의 15핀 액세서리 커넥터를 통해 빠르게 응답하고 버퍼링된 아날로그 출력도 제공됩니다. 전면 패널 기능을 통해 사용자는 고전압을 비활성화하고 냉음극이 자동으로 꺼지는 압력을 설정할 수 있습니다. 이렇게 하면 압력이 센서의 작동 범위를 초과할 때 컨트롤러가 잘못된 판독값을 표시하는 것을 방지할 수 있습니다. 이 장치는 새 제품이며 전원 코드, 액세서리 커넥터 키트 및 사용 설명서가 함께 제공됩니다. 본 기기용 421 센서 및 423 I-Mag® 센서와 신호 케이블은 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS 냉음극 진공 게이지 신호 케이블은 943 컨트롤러를 HPS 423 I-Mag® 센서(3m)에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100007873 이것은 MKS 10피트 길이의 냉음극 진공 게이지 신호 케이블로 MKS 423 I-Mag® 냉음극 센서의 상단과 MKS 943 냉음극 컨트롤러의 후면 포트에 연결됩니다. 이것은 케이블일 뿐이며, 다른 모든 부품과 액세서리는 선택 사항입니다. 423 I-Mag® 센서는 반전된 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다.

MKS 냉음극 진공 게이지 신호 케이블은 943 컨트롤러를 HPS 423 I-Mag® 센서(15미터)에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100002395. MKS 50피트 길이의 냉음극 진공 게이지 신호 케이블입니다. MKS 423 I-Mag® 냉음극 센서의 상단과 MKS 943 냉음극 컨트롤러의 후면 포트에 연결됩니다. 이것은 케이블일 뿐이며, 다른 모든 부품과 액세서리는 선택 사항입니다. 423 I-Mag® 센서는 반전된 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다.

MKS HPS® 423 I-Mag® 센서 냉음극 진공 게이지 KF25, NW25, MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능. MKS 부품 번호: 104230004 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 냉음극 센서 전용입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS 423 I-Mag 센서 냉음극 진공 게이지 컨플랫 2.75 입구. MKS 부품 번호: 104230002. (MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능) 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag 센서는 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 적절한 컨트롤러. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 새로운 냉음극 센서입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러만 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.