MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 압전 냉음극 변환기, KF-40, RS-232. MKS 부품 번호: 974-91020 974 QuadMag는 1x10-8 ~ 1500 Torr의 측정 범위를 제공하고 냉음극 반전 마그네트론, MicroPirani™ 및 Piezo 차동 센서 기술을 결합합니다. 974는 진공 로드록 내 압력 측정을 위해 특별히 설계되었습니다. 대기에서 10-8Torr까지의 절대 압력 측정 및 대기 전환 기능으로 로드록의 여러 압력 측정 장치를 대체할 수 있는 기능이 있습니다. 결과적으로 OEM은 단순화된 로드록 설계를 통해 비용을 절감할 수 있습니다. 974는 절대 압력 측정과 대기 전환 기능이 모두 필요한 로드락이나 진공 챔버에서 사용할 수 있습니다. Series 974 QuadMag에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 또는 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 974 QuadMag 변환기에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 0.5VDC/decade의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 기타 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. Series 974 QuadMag에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 최대 3개의 기계식 릴레이가 있으며, 예를 들어 연동 밸브 또는 펌프가 있습니다. 974 QuadMag 변환기에는 변환기 전자 장치를 분해하지 않고도 손쉬운 서비스 가능성을 제공하는 사용자 변경 가능 냉음극 양극 모듈이 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974 QuadMag를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS®는 등록 상표이고 MicroPirani™는 ©2009 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다. 판권 소유. 옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 피에조 냉음극 변환기NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-21020, 2009 가격 $12952 3/4 CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-71020, 2009 가격 $1365NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수- 릴레이 없음PN 974-91020, 2009 가격 $1325NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-22020, 2009 가격 $12952 3/4 CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-릴레이 없음PN 974-72020, 2009 가격 $1335NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-없음 릴레이PN 974-92020, 2009 가격 $1275NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-21030, 2009 가격 $13052 3/4 CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-71030, 2009 가격 $1375NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-91030, 2009 가격 $1315NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-22030, 2009 가격 $13052 3/4 CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-72030, 2009 가격 $1395NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이PN 974-92030, 2009 가격 $1315?모든 가격에는 다음이 적용됩니다. 예고 없이 바뀌나요?

MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기 KF-25, 1 x 10-8 ~ 1500 Torr. RS232, 절대 프로세스 측정. MKS 부품 번호: 974B-21020 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기는 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™ 및 Piezo 기술)를 활용하는 컴팩트하고 저렴한 범용 변환기 제품군인 MKS 970 시리즈에 속합니다. . 이러한 감지 기술을 결합하면 대기에서 10-8 Torr까지 넓은 측정 범위가 가능해집니다. 작은 크기, 광범위한 범위 및 저렴한 비용 외에도 970 시리즈는 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. 디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 RS485 또는 RS232 통신을 표준 기능으로 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 974B에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차동 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기 KF-40, 1 x 10-8 ~ 1500 Torr. MKS 부품 번호: 974B-92020 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기는 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™ 및 Piezo 기술)를 활용하는 컴팩트하고 저렴한 범용 변환기 제품군인 MKS 970 시리즈에 속합니다. . 이러한 감지 기술을 결합하면 대기에서 10-8 Torr까지 넓은 측정 범위가 가능해집니다. 작은 크기, 광범위한 범위 및 저렴한 비용 외에도 970 시리즈는 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. 디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 RS485 또는 RS232 통신을 표준 기능으로 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 974B에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차동 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

시리즈 900 변환기용 MKS PDR900 진공 게이지 컨트롤러 MKS PDR900 전원 공급 장치 및 판독 장치는 시리즈 900 디지털 진공 변환기와 함께 사용하기 위한 독립형 단일 채널 컨트롤러입니다. 이 기기는 진공 게이지 컨트롤러에 대한 새로운 표준을 설정하고 독립형 전원 공급 장치 판독 장치로 사용하거나 OEM 애플리케이션에서 시스템 통합 변환기의 구성, 교정 및 진단을 위한 도구로 사용할 수 있습니다. PDR900 컨트롤러는 진공 측정, 디지털 변환기 구성 및 고급 시스템 진단을 위한 이상적인 솔루션입니다. 컨트롤러는 원격 변환기 매개변수의 설정 및 구성을 통해 사용자를 안내하는 사용하기 쉬운 메뉴 기반 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 판독 장치는 변환기 케이블을 통해 아날로그 측정 노이즈 커플링을 제거하는 변환기와 디지털 방식으로 통신합니다. 장치는 900 시리즈 변환기 유형을 자동으로 감지하며 RS232 및 RS485 변환기와 함께 사용할 수 있습니다(909/909A 또는 903 아날로그 변환기와 호환되지 않음). 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.