6x6 진공 챔버 3/8" 융합 석영용 이상적인 진공 큐브 보기 창 플레이트 어셈블리

이 이상적인 진공 큐브 6x6인치 진공 챔버 융합 석영 관찰 창 플레이트 어셈블리는 6x6x6 또는 6x6x12 모듈형 큐브 챔버에 맞도록 설계되었습니다.

융합된 석영 창 보기 플레이트 어셈블리는 향상된 광학 선명도, 가시 범위 이상으로 확장된 파장 투과율이 필요하고 비용이 중요한 실험을 위해 종종 선택됩니다.

당사의 융합 석영 창은 최고 품질의 천연 석영으로 제조되어 최고 수준의 순도와 최저 함유물 및 기포 수준을 제공합니다. Heraeus TSC-3과 비교하여 이 창은 투과율이 향상되었으며 표준 유리보다 유용한 파장 범위가 더 넓습니다. 굴절률 변화가 낮고 열팽창 계수가 낮은 것이 특징입니다. 용융 석영은 플라즈마 식각 및 증착 시스템과 같은 반도체 응용 분야에 사용되며 낮은 알칼리 및 낮은 알루미늄 함량이 지정된 경우 권장됩니다. 이는 높은 레이저 손상 임계값이 요구되는 가시광선 및 근적외선 파장의 투과 광학 장치에 자주 사용됩니다. 용융 석영은 2600~2900nm 영역에 흡수 밴드를 가지며, 이는 용융 실리카와 유사하지만 그만큼 강하지는 않습니다. 270 nm 영역의 흡수로 인해 UV 작업에는 적합하지 않습니다.

Ideal Vacuum이 프리미엄 창 제품으로 용융 실리카로 전환하고 있기 때문에 용융 석영 재고가 제한되어 있습니다. 또한 용융 석영 창에는 용융 실리카 부품 번호가 잘못 표시될 수 있습니다. 판매 송장을 확인하여 창 재료를 확인할 수 있습니다.

또한 당사는 표준 저철분 강화유리 또는 용융 실리카를 사용하여 큐브 창판 어셈블리와 교체용 창유리를 제공합니다. 강화 유리는 황삭 또는 고진공 챔버 공정을 일반적으로 직접 관찰하는 데 일반적으로 사용되며, 챔버 구성 요소의 광학적 정렬을 촉진하고, 유체의 가스 제거를 관찰하거나, 직접 관찰을 통해 진공 내 공정을 가르치는 데 사용할 수 있습니다. 유리 재질은 표준적인 저철분 플로트 유리입니다. 표면 품질과 평탄도는 ASTM 1036-06 및 1048-04에 따라 Q4입니다. 유리의 철 함량이 낮기 때문에 약간 푸른 색조를 띠게 됩니다. 이 경제적인 유리는 가시광선 이하 또는 근적외선(NIR) 파장 이상의 레이저 실험에 적합하지 않습니다.

당사의 고순도 용융 실리카 대체 창은 총 두께 변화(TTV)가 10μm 미만이고 표면 마감이 S/D 40/20이며 표면 거칠기가 Ra < 1nm인 광학 등급으로 양면을 연마 및 연마합니다. 이 창은 투과율이 눈에 띄게 향상되었으며 표준 유리보다 유용한 파장 범위가 더 넓습니다. 특징으로는 매우 낮은 굴절률 변화, 낮은 복굴절 값, 매우 낮은 열팽창 계수 등이 있습니다. 용융 실리카는 높은 레이저 손상 임계값이 필요한 투과형 광학 장치에 사용됩니다. 용융 실리카는 원자외선, 가시광선 및 근적외선 파장 범위에서 작동하는 광학 장치에 사용됩니다.


당사의 큐브 보기 창은 3/8인치 두께의 창유리를 알루미늄 장착 플레이트에 고정하는 혁신적인 제로 금속 대 유리 접촉 설계를 사용합니다. 이 쿠션형 창 장착 시스템은 작업자의 안전을 보장하고 높은 진공 압력에서도 다른 뷰포트 창 구성보다 누출 가능성이 적습니다. 이상적인 진공 큐브 창은 완전히 조립되어 배송되며 Viton O-링과 테플론 스페이서를 사용합니다. 베이크아웃 온도는 150°C까지 허용됩니다.

보기 창 플레이트 어셈블리는 다른 큐브 플레이트와 교체 가능하며 언제든지 Ideal Vacuum Cube 시스템에 추가할 수 있습니다. 보기 창은 고정된 면으로 구현되거나 큐브 챔버의 도어(옵션 힌지 어셈블리 및 하드웨어 키트 P106868 포함)로 구현될 수 있습니다.

다른 모든 큐브 플레이트와 마찬가지로 보기 창 플레이트 어셈블리는 진공 밀봉 표면의 손상을 방지하는 데 도움이 되는 경사 밀봉 기능을 통합하는 특허 받은 테이퍼 밀봉 기술로 제작되었습니다. 모든 Ideal Vacuum Cube 플레이트는 경량 6061-T6 알루미늄 합금의 단일 블록으로 CNC 밀링되었습니다.

배송 전에 모든 관찰 창 플레이트 어셈블리는 창 미디어 결함이 있는지 육안으로 검사하고 헬륨 누출 테스트를 거쳐 청소 및 밀봉되어 올바르고 안전하게 작동하며 배송 시 즉시 설치할 수 있도록 준비됩니다.

참고: 모든 보기 창이나 뷰포트는 본질적으로 깨지기 쉬우므로 조심스럽게 취급해야 하며 사용하기 전에 항상 검사해야 합니다. 이상적인 진공 관찰 창은 진공 전용으로 설계 및 등급이 지정되었으며 급격한 온도 변화(>10°C/min)에 노출되면 열충격에 취약할 수 있습니다. 창을 통해 레이저 빔을 조사하는 경우 레이저의 파장이 창 재료를 통해 적절하게 전달될 수 있는지 확인하십시오. IVP 큐브 보기 창 조립 설명서의 모든 안전 경고를 다운로드하여 읽어 보십시오.

아이디얼 진공 큐브 소개

당사의 Ideal Vacuum Cube는 진공 챔버 시스템 구성에서 창의성과 설계 유연성을 지원하도록 고안된 모듈식 고진공 챔버 시스템입니다. 큐브는 연결, 창 및 피드스루에 대한 다양한 기능을 제공하는 교체 가능한 플레이트를 사용하여 다양한 모양과 구성으로 함께 쌓을 수 있습니다. 플레이트에는 힌지, 포스트, 마운트, 렌즈, 편광판 및 기타 액세서리를 쉽게 연결할 수 있도록 표준 1" 광학 패턴에 1/4"-20 장착 나사산이 포함되어 있습니다.

내구성과 다양성

Ideal Vacuum Cubes의 큰 내부 치수와 개방형 디자인은 다양한 진공 챔버 응용 및 실험에 적합합니다. 진공 큐브는 가벼운 6061-T6 알루미늄 합금으로 제작되어 실험실 주변으로 쉽게 운반할 수 있고 광학 테이블에 장착할 수 있습니다(무거운 스테인레스 스틸 진공 챔버와는 다름). 특허 출원 중인 씰 보호 디자인, 스테인레스 스틸 스레드 인서트 및 분체 코팅된 외부 플레이트 마감으로 인해 Vacuum Cube는 가장 까다로운 용도에서도 내구성이 뛰어난 도구가 됩니다.

기술적 세부 사항

특허 받은 챔버 시스템

당사의 Ideal Vacuum Cube는 테이퍼 씰 기술을 특징으로 하는 특허받은 디자인을 갖추고 있습니다. 작업 표면에 설치할 때 쉽게 손상될 수 있는 Conflat CF, KF/NW 또는 ISO-LF(대형 플랜지)와 같은 다른 진공 플랜지 설계와 달리 당사의 테이퍼 씰 설계는 중요한 씰링 가장자리와 O-링을 보호합니다. 손상이나 오염을 일으킬 수 있는 접촉.

혁신적인 챔버 빌딩 블록

이상적인 진공 큐브는 쉽게 쌓아서 복잡하면서도 가벼운 진공 시스템을 구축할 수 있습니다(아래 그래픽 참조). 각 진공 큐브의 외부 가장자리에는 큐브 간 연결이 용이하도록 하드웨어 장착 소켓이 있습니다. 큐브 결합 키트에는 두 개의 큐브를 함께 연결하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이를 통해 과학자들은 실험실에서 길거나 이상한 모양의 진공 시스템을 창의적으로 구성할 수 있습니다.

구성 가능한 플레이트 및 액세서리

Vacuum Cube는 다양한 옵션을 갖춘 다양한 플레이트와 창으로 구성할 수 있습니다. 진공 큐브에는 전력, 열전대 온도 측정, 광학 레이저 광 또는 이미징 감지기, 가스 공급 또는 열/냉각 재순환 라인용 유체 흐름을 위한 피드스루를 장착할 수 있습니다. 호환 가능한 표준 플랜지 스타일에는 KF-16, KF-25, KF-40, KF-50, ISO-63과 confat CF 2.75, CF 3.375 및 CF 4.5인치 플랜지 포트가 포함됩니다. 관찰창도 이용 가능하며, 요청 시 맞춤형 플레이트를 제작할 수 있습니다. 옵션인 힌지 키트를 주문하면 모든 플레이트를 작동 가능한 도어로 변환할 수 있습니다.

이상적인 진공 큐브의 응용

당사의 Ideal Vacuum Cube는 레이저 연구 응용 분야에서 빠른 설치를 위해 광학 실험실에 잘 구현되도록 설계되었습니다. 아래 그래픽은 6x6x18인치 아이디얼 진공 큐브 챔버를 사용하는 레이저 분광학 실험실 설정, 공동 링다운 분광학(CRDS) 진공 챔버 시스템의 예를 보여줍니다. Ideal Vacuum Cube의 모듈식 설계는 다양한 진공 챔버 응용 분야에 적합합니다.

• 진공 자외선(VUV) 장치 및 실험
• 열진공 테스트
• 고도 테스트
• 진공 탈기 챔버
• 고출력 및 초단 펄스 레이저 연구 및 개발
• 이온 가속
• RGA(잔류 가스 분석기)
• 헬륨 분위기에서 용접된 밀폐형 장치의 헬륨 누출 테스트
• 제약 포장의 누출 감지
• 분광학
• 분자 이온 트랩
• 저온 유지 장치 진공 챔버
• 빔라인

진공 큐브 펌핑 성능

여러 이상적인 진공 큐브 구성에 대한 펌프다운 곡선이 아래 그래프에 표시되어 있습니다. 단일 6x6x6인치 큐브는 대기에서 2.5분 안에 1x10 ^-5 Torr로 펌핑될 수 있으며 약 15분 안에 1x10 ^-6 Torr 미만으로 펌핑될 수 있습니다. ( 곡선 그래픽 보기 1 )
이는 110리터/분(3.3cfm) 건식 스크롤 진공 펌프가 지원하는 68리터/초 터보분자 펌프를 사용하여 수행되었습니다.

또한 인기 있는 Agilent Varian IDP-3 및 SH-110 건식 스크롤 펌프에 대한 러핑 펌프다운 곡선도 제공했습니다. 6x6x6 큐브는 펌핑 1분 이내에 IDP-3(2.1cfm)의 경우 300mTorr의 기본 압력에 도달하고, Agilent Varian SH-110(3.3cfm)의 경우 약 2분 만에 50mTorr에 도달합니다. ( 곡선 그래픽 보기 2 )

특별한 요청이 있을 경우 레이저 연구 및 광학 응용 분야에서 산란된 빛을 흡수하는 데 도움이 되는 완전히 양극 처리된 플레이트를 제공할 수 있습니다. 양극산화 처리된 부품은 알루미늄 금속 표면만큼 빠르게 펌프다운되지 않습니다. ( 곡선 그래픽 보기 3 ) 양극 처리된 플레이트가 있는 단일 6x6x6은 1x10 ^-5 Torr에 도달하는 데 1시간의 펌핑이 필요했습니다.