Agilent Varian 531 열전대 진공 압력 게이지 시뮬레이터 및 기준 튜브.
Agilent Varian 부품 번호 L7383301
이것은 Agilent Varian 531 열전대 게이지 시뮬레이터 및 기준 튜브입니다. 이는 게이지 컨트롤러를 테스트하거나 교정할 때 사용됩니다. 2.0 Torr 압력과 1 × 10-3 torr를 모두 시뮬레이션합니다. 기준 튜브는 <=5 × 10-6 Torr의 압력에서 내부가 진공 상태로 영구적으로 밀봉되어 있습니다.
열전대 진공 압력 게이지(Wikapedia.org 제공)
열전도율 게이지는 가스의 열 전도 능력이 압력에 따라 감소한다는 사실에 의존합니다. 이 유형의 게이지에서는 와이어 필라멘트에 전류가 흐르면서 가열됩니다. 그런 다음 열전대 또는 저항 온도 감지기(RTD)를 사용하여 필라멘트의 온도를 측정할 수 있습니다. 이 온도는 필라멘트가 주변 가스로 열을 잃는 속도, 즉 열전도도에 따라 달라집니다. 일반적인 변형은 단일 백금 필라멘트를 가열 요소와 RTD로 사용하는 Pirani 게이지입니다. 이 게이지는 20Torr에서 10-3Torr까지 정확합니다(구매한 센서 및 컨트롤러 모델에 따라 다름). 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다.