설명
Varian Agilent 563 유리 이온 게이지 튜브, 텅스텐 필라멘트, KF25 NW25 Kovar 플랜지, 진공 압력 게이지.
PN:K2466306
이 이온 게이지 튜브에는 KF25 NW25 Kovar 플랜지 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. Torr-1의 감도와 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 +30VDC, 4VAC 필라멘트 전압)을 갖습니다. 고진공 및 초고진공 범위에서 백금 쉴드는 외부 전기장이 낮은 이온 전류에 영향을 미치는 것을 방지합니다. 생성된 이온 수가 훨씬 더 많은 고압 범위에서는 백금 전도성 코팅이 유리관 내부에 쌓일 수 있는 정전기를 배출합니다. 따라서 563 튜브는 튜브 전체 범위에 걸쳐 탁월한 성능을 제공합니다.
교체용 이온 게이지 튜브는 Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. Agilent Varian 563 이온 게이지에 대한 사용 설명서를 보려면 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf를 다운로드하세요.
일반적으로 다음과 함께 작동합니다.
그랜빌 필립스 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340, 350 및 기타.
MKS 장비 290, 919, 929
퍼킨 엘머 DGC3
Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 572 튜브 K7360301
비코 RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002