Agilent Varian IDP-07 IDP07 IDP7 건식 스크롤 진공 펌프, 단상, PN X3807-64000

Agilent Varian IDP-7 건식 스크롤 진공 펌프는 55dBA 미만의 매우 조용한 작동과 낮은 진동 작동을 위해 설계되었으며, 60Hz에서 5.4cfm(9.1m3/h)의 최고 펌핑 속도를 제공하고 20mTorr의 최종 압력을 생성합니다. 이 Agilent IDP-7 건식 스크롤 펌프는 밀봉되어 있으며 헬륨 재순환은 물론 진공 오븐, 백킹 펌프 응용 분야에도 적합합니다. 밀폐형 설계는 펌프를 통해 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염의 위험을 제거하여 모터와 베어링이 대기압에서 작동하고 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않도록 차단합니다. Agilent IDP-7은 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230VAC 사이에서 쉽게 전환되는 작동 전압 범위를 위한 글로벌 단상 모터를 지원합니다.

이 IDP-7 모델(Agilent Technologies 부품 번호 X3807-64000)에는 IDP-7의 전원이 꺼질 경우 스크롤 펌프 흡입구를 통해 공기가 역방향으로 이동하는 것을 방지하는 통합 흡입구 차단 밸브 옵션이 포함되어 있지 않습니다. 이 차단 밸브는 시스템 전원 손실로 인해 고객의 챔버나 장비가 갑자기 환기되는 것을 방지합니다.

터보 분자 펌프와 같은 고진공 펌프는 건식 배압 펌프 기술과 함께 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 스크롤 기술을 기반으로 한 펌프는 터보 분자 고진공 펌프를 지원하기 위해 선택되는 건식 펌프 기술이 되었습니다. Agilent Varian IDP-7 스크롤 기술이 깨끗하고 예측 가능한 성능, 낮은 진동 및 소음, 긴 서비스 수명을 포함하여 탁월한 건식 펌프 선택이 되는 데에는 여러 가지 요소가 있습니다.

최신 Agilent IDP-7 스크롤 기술은 원활한 궤도 작동을 기반으로 합니다. 가스 압축 및 배출의 진공 펌프 사이클은 최소한의 맥동과 매우 낮은 진동으로 발생합니다. 응용 분야에 따라 진동은 부정적인 영향을 미칠 수 있으며 진동 절연 장치와 같은 추가 구성 요소를 사용해야 할 수도 있습니다. 새로운 Agilent IDP-7은 과도한 진동이 허용되지 않는 다양한 응용 분야에서 선택되는 건식 펌프입니다.

현재 스크롤 펌프 기술과 팁 씰 설계는 함께 작동하여 낮은 기본 압력을 제공하고 서비스 수명 동안 기본 압력의 점진적인 증가를 제공하는 요소입니다. 이러한 기본 압력의 점진적인 증가를 통해 진공 수준이 허용할 수 없게 되기 전에 유지 관리를 수행할 수 있으며 예정되지 않은 가동 중지 시간이 단축됩니다. Agilent IDP-7과 같은 일반적인 스크롤 펌프는 20mTorr의 기본 압력을 달성합니다.

이러한 Agilent IDP-7 건식 스크롤 펌프는 중첩된 스크롤 중 하나가 다른 스크롤 주위를 선회하면서 포집된 가스의 이동 영역을 생성하는 간단한 이중 스크롤 메커니즘을 사용하여 진공을 생성합니다. 가스는 외부 둘레에 있는 스크롤 세트로 들어가고 배기되는 허브 중심을 향해 이동 및 압축됩니다. 복잡하지 않은 이중 스크롤 설계는 낮은 소음 및 진동 수준, 간단하고 빈번하지 않은 유지 관리 요구 사항, 치명적인 오류 모드 제거 등 많은 이점을 제공합니다.

새로운 Agilent Technologies IDP-7에는 팁 씰 수명과 서비스 간격을 연장하기 위해 향상된 솔리드 팁 씰이 포함되어 있습니다. 견고한 팁 씰 소재는 응축성 증기 응용 분야에 적합합니다. IDP-07의 팁 씰 교체가 이전보다 더 쉬워졌습니다. 팁 씰 키트(X3807-67000) 외에도 마모된 팁 씰을 교체하는 데 필요한 몇 가지 간단한 도구(일자 드라이버, 4 및 5mm Allen 렌치, 이소프로필 알코올, 보푸라기 없는 약간) 물티슈. 팁 씰 교체 절차는 사용 설명서의 18~20페이지를 참조하십시오. 새로운 Agilent IDP-7 밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프에 대한 PDF 형식의 사용 설명서와 브로셔는 아래 다운로드 섹션에서 다운로드할 수 있습니다.