Agilent Varian TriScroll 300 및 600 진공 펌프 퍼지 가스 키트.
애질런트 부품 번호: PTSPURGEKIT. 이러한 Agilent Varian OEM Triscroll 퍼지 키트를 사용하면 베어링 퍼지 포트나 Triscroll 300 및 600 시리즈 펌프의 가스 밸러스트 포트를 통해 메인 베어링을 안전하고 적절하게 퍼지할 수 있습니다. 이 키트에는 수동 스로틀 밸브가 있는 유량계, 5 psig 릴리프 밸브 및 필요한 튜브와 피팅이 포함되어 있습니다. 다음 응용 분야에서는 Triscroll 300 또는 600 시리즈 펌프와 함께 이 퍼지 키트를 사용해야 합니다.
- 크라이오펌프 재생
- 습식 챔버 청소
- 높은 사이클 속도 로드록 애플리케이션
- 유기용매 펌핑
- 미량의 브롬 또는 염소 펌핑
- 잔류 부식제 펌핑