Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 진공 펌프, ISO-200K 주입구 플랜지, 펌핑 속도 950 L/S, PN: 9698931

이러한 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보분자 고진공 펌프에는 ISO-200K 흡입 플랜지, 1x10-8 Torr의 최종 압력(흡입 ISO 센터링 링에 있는 고무 O-링 씰의 가스 방출로 제한됨)이 있습니다. Agilent Varian 부품 번호 9698931이 있습니다. 모든 금속으로 밀봉된 Conflat 흡기 개스킷이 포함된 Conflat 버전은 올바르게 사용할 경우 최대 압력이 1x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공 펌프입니다. Turbo-V 1001 터보 펌프는 950 l/s의 질소(N2) 펌핑 속도로 최소 비용과 크기로 최대 성능을 제공합니다. 모든 펌핑 프로필에서 Turbo V 1001을 작동하는 데 사용할 수 있는 14 CFM만큼 작은 기본 펌프 크기(예: IDP-15 건식 스크롤 또는 DS402 회전 날개 진공 펌프)를 권장합니다. Turbo-V 1001은 경질 가스에 대한 높은 압축비를 달성하고 펌프의 처리량을 극대화하기 위해 MacroTorr 드래그 스테이지 기술을 포함하는 복합 펌프입니다.

정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전에는 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 대신 랙 장착 컨트롤러에 의해 전원이 공급되는 경우, 네비게이터라고 부르지 않고 간단히 터보 V 1001 터보 펌프라고 부릅니다. 랙 장착형 컨트롤러의 애질런트 부품 번호는 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator(아래 펌프 장착 컨트롤러 포함)는 전자현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 다양한 분석 계측 응용 분야에 통합되는 경우가 많습니다. SEM, TEM 및 FIB는 상세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 시료 챔버에서 오일 없이 빠른 공기 배출을 제공하기 때문에 최신 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다. 반도체 제조).

Agilent Varian Turbo-V 1001 기능:

• 가벼운 가스에 대한 높은 압축비로 낮은 기본 압력에서 작동 가능
• 깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 프리
• 리모콘으로 100m 떨어진 곳에서도 작동 가능
• 어떤 위치에든 설치하면 쉽게 통합할 수 있습니다.
• 운영 비용이 전혀 들지 않는 유지보수가 필요 없는 베어링
• 이동 중에도 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선 제어 가능
• 방사선 및 자기장 방지 설계
• 내장된 전자 장치가 없어 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동할 수 없습니다.
• 낮은 전자기 방출로 적용 과정에 간섭이 없음을 보장합니다.
• 시스템에 영향을 주지 않는 낮은 진동 및 소음 수준

Agilent Varian Turbo-V 1001 사양:

• 주변 작동 온도: +5 ~ +35 °C
• 주변 보관 온도: -20 ~ +70 °C
• 기본 압력: 1x10-8 Torr(ISO O-링 씰로 제한됨)
• 압축비 H2: 1 x 10^6
• 플랜지 유형: Conflat CF 10인치
• 포어라인 플랜지 크기: KF 40 NW
• 최대 가스 처리량 - Ar, 수냉식: 7.5mbar L/s; 444sccm
• 최대 가스 처리량 - N2, 수냉식: 10mbar L/s; 592 sccm
• 소음 수준: 45dB(A)
• 공칭 회전 속도: 38 KRPM
• 작동 위치: 모두
• 펌핑 속도 - H2: 900 L/s(ISO-200 흡입 플랜지)
• 펌핑 속도 - He: 870 L/s(ISO-200 흡입 플랜지)
• 펌핑 속도 - N2: 950 L/s(ISO-200 입구 플랜지)
• 권장 포어펌프 용량: 15m³/h
• 시작 시간: < 4분
• 무게: 21.2kg