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예어       부품 번호:      

× 진공펌프 모듈형 진공 챔버 스테인레스 스틸 진공 챔버 이상 용접 알루미늄 챔버 ExploraVAC 무제한 챔버 ExploraVAC 진공 챔버 피팅 및 플랜지 피드스루 진공 밸브 재구축 키트, 부품, 모터 진공 유체, 오일 및 그리스 터보 펌프 및 컨트롤러 필터 트랩 소음기 대류 및 진공 오븐 누출 감지 및 RGA 진공 압력 측정 재순환 냉각기 및 수조
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Agilent Varian VHS-10 확산 펌프. 표준 콜드 캡, 380V, 10인치 ASA, 16인치 OD, 5100W

상태:
  새로운
부품 번호:
  P106918
보증:
  As-Stated*

지금 이용 가능   1  

₩22,446,300.24

~에 판매: ₩19,752,744.21

Agilent Varian VHS-10 확산 펌프. 표준 콜드 캡, 380V, 10인치 ASA, 16인치 OD, 5100W 19752744.21
통화: South Korean Won (KRW)

설명

Agilent Varian VHS-10 수냉식 진공 확산 펌프, 10인치 ASA 주입구 플랜지, 16인치 OD, 최대 펌핑 속도 5300l/s
표준 콜드 캡, (2) 380VAC 2550W 히터, Agilent Varian.

Agilent Varian VHS-10은 높은 펌핑 속도가 필요하고 공간 제약이 있어 소형 펌프가 필요한 응용 분야의 특별한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. VHS-10 펌프는 4400W에서 1.7 x 10-3 ~ <5 x 10-9 Torr의 작동 범위를 갖는 견고한 범용 장치입니다. Agilent Varian VHS-10은 높은 펌핑 속도(표준 콜드 캡 사용 시 최대 정격 5300l/s) 공기와 높은 내압 내성(무부하 시 0.65Torr, 무부하 시 0.55Torr)으로 인해 빠른 사이클링이 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 전체 가스 부하). 장치의 역류 속도는 냉각된 콜드 캡을 사용하지 않고 5x10-4 mg/cm 2 / min입니다.

이 Agilent Varian VHS-10 확산 펌프에는 다음이 포함됩니다.
  • 10인치 ASA 입구 플랜지(16인치 OD 플랜지, 12개의 부드러운 볼트 구멍, 1" 직경 구멍)
  • 2인치 ASA 6인치 OD 배출구 포어라인 플랜지
  • 표준 콜드캡
  • 권장 러핑 배압 펌프: 30CFM
  • 5300 l/s 최대 펌핑 속도 공기
  • 380VAC 3상(5100W), 2550W 히터(2개)
  • 물 연결 1/8인치 FPT 티
  • Santovac 5 또는 IVP 704 확산 펌프 오일과 함께 사용하도록 설계됨, 1000cc(1.056 Qt.) 완전 충전
확산 펌프는 고속 증기 제트를 사용하여 펌프 스로트의 가스 분자를 펌프 바닥과 배출구로 보냅니다. 오일 확산 펌프는 증기압이 낮은 오일로 작동됩니다. 그 목적은 용적형 펌프만 사용하여 가능한 것보다 더 높은 진공(낮은 압력)을 달성하는 것입니다. Agilent Varian VHS-10은 <5x10-9 Torr의 압력까지 펌프다운할 수 있습니다. 확산 펌프는 대기 중으로 직접 배출할 수 없으므로 일반적으로 기계식 전펌프, 러핑 펌프를 사용하여 배출구 압력을 약 1mTorr로 유지합니다.

Agilent Varian 확산 펌프는 신뢰성이 매우 높고 설계가 단순하며 소음이나 진동 없이 작동합니다. 확산 펌프는 여전히 고진공 압력을 생성하는 가장 경제적인 수단입니다. 또한 확산 펌프는 다른 유형의 고진공 펌프를 파괴할 수 있는 과잉 입자 및 반응성 가스와 같은 작동 조건을 견딜 수 있습니다. 3상 208, 240, 380, 480 VAC 히터 하네스 및 표준 또는 확장 콜드 캡과 함께 주문할 수 있습니다. 우리는 이 펌프용 Santovac 5 확산 펌프 유체를 비축 및 판매합니다. 진공 응용 분야 및 유지 관리 요구 사항에 도움이 될 수 있는 추가 액세서리는 아래 "관련" 섹션을 참조하십시오. 당사는 이 웹사이트에서 별도로 판매되는 다양한 진공 그리스, 오일, 진공 피팅, 호스, 진공 게이지, 센서/트랜듀서, 부품 및 액세서리를 제공합니다.

이러한 Agilent Varian VHS-10 확산 펌프에는 ASA 10인치 흡입 플랜지가 있고 3상 380VAC, 표준 콜드 캡에서 작동하며 Agilent Varian 부품 번호 F0426346이 있습니다. Agilent Varian VHS-10 확산 펌프 사용자 사용 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 이는 주문한 당일 배송되는 경우가 많은 일반적인 재고 품목입니다.

소책자

Specifications
Specification Value
Pumping Speed, Operating Range 3,650 l/s air, 4,560 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed 5,300 l/s air w/standard cold cap; 4,200 w/extended cold cap
Maximum Throughput 6.3 T-l/s (8.4 mbar-l/s) in operating range, 7.5 T-l/s (10.0 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range 1.7x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr at 4,400 W. (2.3 x 10⁻³ to < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar)
Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump ≥ 30 cfm (51 m³/hr)
Backstreaming Rate < 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time 15 minutes
Cooldown Time 25 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge 1,000 cc
Electrical Requirements 3 ph, 50/60 Hz, 208/240/380/480 VAC
Pump Power 4,400 Watts
Cooling Water Requirements 0.40 gpm (80 l/h)
Water Connections ⅛ in. FPT Tee

VHS-10 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Standard Cold Cap Assembly F0429301 1
Extended Cold Cap Assembly L8917301 2
Sight Glass Repair Kit consisting of: L8908301 3
   Sight Glass L8816001 5.1
   Gasket, Teflon L9694001 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-113 CommI 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-226 CommI 5.1
Jet Assembly F0428401 4
Jet Coupling L6367301 5
Splash Baffle F0431301 6
Foreline Baffle Assembly F0435301 7
Thermal Switch Includes: L8912301 8
   Switch (set at 300 °F – 147 °C) 642906025 8a
   Lug 648056680 8b
   Wire 656179100 8c
   Box Insulator 89867001 8d
Heater wire, 10 AWG, 42 inches (3 per pump required) X3901-68003 9
Heater Wiring Kit, Includes: L8913301 9
   15 ft. wire L8913301 5.1
   Nickel lug 648056680 5.1
   Terminal Strip Molex 39100-1512 648091065 5.1
Heaters (two heaters required per pump) 10
   208 V / 2200 watt Heater Element 647310140 5.1
   240 V / 2200 watt Heater Element, 1Ph 647310150 5.1
   380 V / 2200 watt Heater Element 647310160 5.1
480 V / 2200 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310170 5.1
   208 V / 2550 watt Heater Element 647310145 5.1
   240 V / 2550 watt Heater Element, 1Ph 647310155 5.1
   380 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310165 5.1
480 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load 647310175 5.1
Heater Crush Plate (replace when either heater is replaced) K7667001 11
Heater Clamping Plate A36 Steel K4928001 12
Heater Clamping Plate Retrofit, Slotted R2667301 12
Heater Insulation Blanket L8914001 13
Heater Cover L8903301 14
O-Ring Kit includes: K0377185 15
   1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385 F0430001
   1 foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338 660893338
   10 Viton fill and drain O-rings (Old style), Viton No. 2-112 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113 5.1
   1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226 5.1
   1 PTFE gasket 5.1
Viton Centering ring for ISO inlet flange, 320K 16
Centering ring for ISO foreline flange ISO-63K IC063SV 17
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel Screw 18
Centering ring for ISO inlet flange, 160K IC160SV 19
Centering ring for ISO foreline flange, KF40 KC40SV 20
Included with the pump: 5.1
   1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385 F0430001 5.1
   1 Butyl foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338 660893338 5.1
   13/8 Hose 1/8 Pipe Barbed Connectors 264301102 5.1
5.1
DC-702 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695472005
DC-704 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695474005
DC-705 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required) 695475005
Installation and Operation Manual 699901021
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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