HALO 뷰 윈도우, 비조명, 분해 가능, ISO-250, LF250, 3/8인치 용융 석영 이 Ideal Vacuum HALO 뷰포트 창은 ISO-K LF 250 포트가 있는 모든 진공 챔버에서 사용할 수 있습니다.
당사의 용융 석영 창문은 최고 품질의 천연 석영으로 제조되어 최고 수준의 순도와 최저의 포함 및 기포 수준을 제공합니다. Heraeus TSC-3와 비교할 때 이 창문은 투과율이 개선되었고 표준 유리보다 더 넓은 유효 파장 범위를 가지고 있습니다. 특성으로는 낮은 굴절률 변화와 낮은 열 팽창 계수가 있습니다. 용융 석영은 플라즈마 에칭 및 증착 시스템과 같은 반도체 응용 분야에 사용되며 낮은 알칼리 및 낮은 알루미늄 함량이 지정된 경우 권장됩니다. 높은 레이저 손상 임계값이 필요한 가시광선 및 근적외선에서 중적외선 파장의 투과 광학 장치에 자주 사용됩니다. 용융 석영은 용융 실리카와 유사하지만 강도가 덜한 2600~2900nm 영역에 흡수 대역을 가지고 있습니다. 270nm 영역에서 흡수되기 때문에 UV 작업에는 적합하지 않습니다.
또한 저희는 표준 저철분 강화 유리 또는 용융 실리카를 사용한 HALO View Window 조립품 및 교체용 유리창을 제공합니다. 강화 유리는 일반적으로 거친 또는 고진공 챔버 공정의 일반적인 직접 관찰에 사용되며 챔버 구성 요소의 광학 정렬을 용이하게 하거나 유체의 가스 제거를 관찰하거나 직접 관찰하여 진공 공정을 가르치는 데 사용할 수 있습니다. 유리 소재는 표준 저철분 플로트 유리입니다. 표면 품질 및 평탄도는 ASTM 1036-06 및 1048-04에 따라 Q4입니다. 유리의 낮은 철분 함량으로 인해 약간 푸른 색조가 납니다. 이 경제적인 유리는 가시광선 아래 또는 근적외선(NIR) 파장을 넘어서는 레이저 실험에는 적합하지 않습니다.
고순도 용융 실리카 창은 양면 모두 광학 등급으로 연마 및 연마되었으며 총 두께 변화(TTV)는 <10µm, 표면 마감은 S/D 40/20, 표면 거칠기는 Ra <1nm(Corning HPFS 7980과 유사)입니다. 이 창은 투과율이 상당히 향상되었고 표준 유리보다 유용한 파장 범위가 더 넓습니다. 특성으로는 매우 낮은 굴절률 변화, 낮은 복굴절 값, 매우 낮은 열 팽창 계수가 있습니다. 용융 실리카는 높은 레이저 손상 임계값이 필요한 투과 광학에 사용됩니다. 용융 실리카는 깊은 자외선, 가시광선 및 근적외선 파장 범위에서 작동하는 광학에 사용됩니다.
Ideal Vacuum이 프리미엄 창문 제품으로 용융 실리카로 전환함에 따라 용융 석영 재고가 제한되어 있습니다. 또한 용융 석영 창문에 용융 실리카 부품 번호가 잘못 표시되어 있을 수 있습니다. 판매 송장을 확인하여 창문 소재를 확인할 수 있습니다.
비조명 HALO 뷰포트는 현장에서 수리할 수 있습니다. 실험 요구 사항이 변경되면 창문 유리를 교체하거나 다른 재질로 변경할 수 있습니다. 강화 유리, 용융 석영 및 용융 실리카의 투과율 곡선은 아래 그래프를 참조하십시오.
비조명 HALO 뷰잉 윈도우는 ISO 63, 80, 100, 160, 200 및 250 크기로 제공되며 빈 ISO 플랜지 대신 사용됩니다. 다른 ISO 피팅과 마찬가지로 이러한 ISO 플랜지 윈도우는 O-링이 장착된 센터링 링과 함께 단일 또는 이중 클로 클램프를 사용합니다. ISO-K에서 ISO-K로의 연결에는 이중 클로 클램프를 사용합니다. ISO-K에서 ISO-F(볼트)로의 연결에는 단일 클로 클램프를 사용합니다. 권장되는 클로 클램프의 수와 유형과 필요한 센터링 링은 아래 표에 나와 있습니다.
당사의 ISO 뷰잉 윈도우는 3/8인치 두께의 윈도우 패널을 스테인리스 스틸 장착 플랜지에 고정하는 혁신적이고 금속과 유리가 접촉하지 않는 디자인을 채택했습니다. 이 쿠션이 있는 윈도우 장착 시스템은 작업자의 안전을 보장하며, 고진공 압력에서도 다른 뷰포트 윈도우 구성보다 누출이 적습니다. Ideal Vacuum ISO HALO 뷰잉 윈도우는 완전히 조립된 상태로 제공되며 Viton O-링과 테프론 스페이서를 사용합니다. 베이크아웃 온도는 150°C까지 허용됩니다.
참고: 모든 뷰잉 윈도우 또는 뷰포트는 본질적으로 깨지기 쉬우므로 주의해서 다루어야 하며, 사용하기 전에 항상 검사해야 합니다. Ideal Vacuum 뷰잉 윈도우는 VACUUM ONLY에 맞게 설계 및 평가되었으며 급격한 온도 변화(>10° C/분)에 노출되면 열 충격을 받을 수 있습니다. 창을 통해 레이저 빔을 보내는 경우 레이저의 파장이 창의 재료를 통해 적당히 전달될 수 있는지 확인하십시오. HALO View Window 사용자 설명서의 모든 안전 경고를 다운로드하여 읽어보세요.
