Inficon Inc. 석영 모니터 크리스탈.6Mhz 합금 크리스탈 센서, 플랫 팩 디스펜서, 10개/팩. 부품 번호 750-1002-G10
인피콘(주) INFICON 6MHz 크리스털은 모든 INFICON 컨트롤러 및 모니터와 함께 사용됩니다. 6MHz 크리스털은 금, 은 또는 합금 전극으로 제공되며 필요에 따라 다양한 패키지로 제공됩니다.
INFICON 클린룸 석영 크리스탈 패키지를 사용하면 패키지에서 센서로 직접 크리스탈을 편리하게 분배할 수 있어 작업자의 취급과 오염 위험이 최소화됩니다. 크리스탈 패키지를 더욱 클린룸 친화적으로 만들기 위해 종이와 폼 인서트를 제거하고 쉽게 보관할 수 있도록 패키지를 쌓을 수 있도록 만들었습니다.
특징- 주파수: 6MHz
- 직경: 14mm(0.550인치)
- 전면 풀 패드
- 이중 앵커 후면 전극 패턴
- 금 - Au, Al, Ag와 같이 열 부하가 높고 필름 응력 증착이 낮은 프로세스에 범용으로 권장됩니다.
- 은 - SiO2, Si3N4, W, Ta, Cr, Ni, AlN, TiN, ZnO, GaN, Mo, DLC 등 열 부하가 높고 응력이 높은 필름 공정에 권장됩니다.
- 합금 - 광학/유전체 코팅 최적화(예: MgF2, SiO, TiO, HfO2 및 기타 고응력 응용 분야)
참고: 이러한 필름의 특정 응력 특성은 증착 방법(예: 스퍼터링, 화학 기상 증착 또는 원자층 증착) 및 처리 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 박막 응력을 제어하고 이해하는 것은 이러한 재료를 통합하는 장치의 신뢰성과 성능을 보장하는 데 중요합니다.