MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 PR400 컨트롤러를 3m(10피트) 길이의 DB15 질량 유량계에 연결합니다.
MKS 부품 번호: RCB147-1-10. MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 PR4000 컨트롤러를 MKS 질량 유량계 및 15핀 D-sub 커넥터가 있는 컨트롤러에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다.
MKS PR4000B는 하프랙 디지털 전원 공급 장치 및 디스플레이 모듈입니다. 1개 또는 2개 채널로 사용할 수 있으며 4.5자리 백라이트 LCD 디스플레이가 표준으로 제공됩니다. 두 버전 모두 내부 또는 외부 설정점과 마스터/슬레이브 제어 체계를 지원합니다. 단일 채널 버전은 하나의 Baratron® 압력 변환기 또는 하나의 Mass-Flo® 미터나 컨트롤러를 제어할 수 있습니다. 이중 채널 버전은 최대 2개의 압력 변환기, 2개의 질량 유량 컨트롤러 또는 각각 하나씩을 지원합니다.
공학 단위는 압력 변환기의 경우 Torr, mTorr, kTorr, Pa, kPa, cmH2O, psi, N/qm, ìbar, mbar 및 bar로 사용자가 선택할 수 있습니다. 유량계 또는 컨트롤러의 경우 sccm, scm, slm, scfm, scfh 및 V, % 및 °C.
다른 기능들:
디지털 RS232 인터페이스 표준; 2채널 모델의 경우 RS485 인터페이스 옵션 압력 변환기 및 유량 장치 모두에 대해 사용자가 선택할 수 있는 엔지니어링 단위 간단한 설정 및 작동이 가능한 메뉴 방식
전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. PR4000B 진공 시스템 컨트롤러는 2채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS PR4000B용 신호 케이블과 옵션 카드는 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.