MKS 1179C 질량 유량 전자 절대 압력 컨트롤러, 50 sccm N2 등가, 15 핀, Swagelok 4 VCR.
MKS 계측기 부품 번호: 1179C00151CR1BV. MKS 1179C는 다양한 응용 분야에서 가스 흐름을 측정하도록 설계된 순금속 질량 유량 컨트롤러입니다. 입력 및 출력 연결은 Swagelok® 4 VCR®입니다. MKS 1179C 질량 유량 컨트롤러는 10 sccm ~ 20 slm의 전체 범위에서 사용 가능하며 최저 0.1 sccm까지 빠르고 반복 가능한 유량 측정을 제공합니다. 오늘날 시장에 나와 있는 가장 일반적인 질량 유량계에 대한 기능 교체입니다. 표준 3인치 설치 공간 덕분에 기존 가스 라인을 수정하지 않고도 1179C를 동일한 공간에 직접 배치할 수 있습니다. 전기 커넥터는 업계 제품과 핀 배치, 신호 및 기능이 유사한 동일한 유형 "D" 커넥터입니다. 1179C는 MKS 또는 기타 제조업체의 질량 유량 컨트롤러 전원 공급 장치 및 디스플레이 전자 장치와 호환됩니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok 회사