MKS 1179C 질량 흐름 전자 절대 압력 컨트롤러, 500 sccm N2 등가, 15 핀, Swagelok 4 VCR 수.
MKS 계측기 부품 번호: 1179C01352CR1BV. MKS 1179C는 다양한 응용 분야에서 가스 흐름을 측정하도록 설계된 순금속 질량 유량 컨트롤러입니다. 입력 및 출력 연결은 Viton® O-링이 포함된 1/4" Swagelok®입니다. MKS 1179C 질량 유량 컨트롤러는 10 sccm ~ 20 slm의 전체 규모로 사용 가능하며 최저 0.1 sccm까지 빠르고 반복 가능한 유량 측정을 제공합니다. 1179C는 오늘날 시장에서 가장 일반적인 질량 유량계를 직접 형태에 맞게 기능적으로 대체하는 제품입니다. 표준 3인치 설치 공간을 통해 1179C는 기존 가스 라인을 수정하지 않고도 동일한 공간에 직접 설치할 수 있습니다. 전기 커넥터는 동일한 유형입니다. 업계 제품과 유사한 핀 배치, 신호 및 기능을 갖춘 "D" 커넥터 1179C는 MKS 또는 기타 제조업체의 질량 유량 컨트롤러 전원 공급 장치 및 디스플레이 전자 장치와 호환됩니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok 회사