MKS 유형 247 4채널 질량 흐름 컨트롤러 전원 공급 장치 및 판독값.
MKS 부품 번호: 247D. MKS 유형 247 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 247은 4채널/순차 선택이 가능한 단일 판독입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값 179, 180, 579, 1179, 1479, 1480, 1559, 1579, 2179, M10M, M100과 호환됩니다. MKS 247용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다. MKS 247에 대한 사양은 다운로드를 참조하세요.