MKS 248D 범용 유량 제어 밸브, 5000sccm, 1/4인치 Swagelok 튜브 피팅, Viton 씰. MKS 부품 번호: 0248D-05000RV.
제어 전류가 공급되면 이 범용 수정 솔레노이드 밸브는 가스 흐름을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 유량을 조절합니다. 응용 분야에는 흐름 제어, 업스트림 또는 다운스트림 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 0248D-05000RV 밸브는 5,000 sccm(표준 입방 센티미터)의 질소 전체 범위, Swagelok® 1/4인치 튜브 피팅 및 Viton 씰을 갖추고 있습니다. 닫힌 밸브를 통한 누출 전도도는 <1x10 -5 scc/sec He입니다.
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