MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기 KF-25, RS232, 절대 공정 측정. PN: 974B-21020

MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기는 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™ 및 Piezo 기술)를 활용하는 컴팩트하고 저렴한 범용 변환기 제품군인 MKS 970 시리즈에 속합니다. 이러한 감지 기술을 결합하면 대기에서 ^10-8Torr 까지 넓은 측정 범위가 가능해집니다. 작은 크기, 광범위한 범위 및 저렴한 비용 외에도 970 시리즈는 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다.

변환기 측정 범위는 ^10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 ^10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다.

디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 RS485 또는 RS232 통신을 표준 기능으로 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다.

프로세스 제어를 위해 974B에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차동 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.