MKS Granville Phillips 274 누드 베이야드-알퍼트 이온 게이지, KF40 NW40, 이중 텅스텐 필라멘트, 핀 가드.
MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 274057 MKS Granville Phillips 274 누드 베이야드-알퍼트 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 능력, 이중 텅스텐 필라멘트, KF40 NW40 플랜지, 잠금 링이 있는 핀 가드 커넥터, 1×10 -3 ~ 2×10 -을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450°C.
X선 한계가 2x10 -11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1mTorr에서 2x10 -10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공하며 2x10 -10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10 -12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10 -11 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 5x10 -11 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다.
그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다.
일반적으로 다음과 함께 작동합니다.- MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340, 350 및 기타.
- MKS 계측기 모델: 290, 919, 929
- 퍼킨 엘머 모델: DGC3
- Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600
- Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002