MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 센서 KF16 NW16(PN 103170010SH)(MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환 가능)
MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서의 측정 한계보다 100Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다.
모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 KF16 NW16 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.