MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 절대 피에조 변환기 KF16 RS232, 10-5 ~ 1500 Torr

HPS® 시리즈 910은 Pirani 및 Piezo의 압력 측정 기술과 통합 전자 제어 회로를 결합한 듀얼 센서 변환기입니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다.

Series 910 디지털 통신을 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. 910에는 RS485 또는 RS232 통신이 표준 기능으로 포함되어 있습니다. Series 910은 수형 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 910에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 910은 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 910 DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.