MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 절대 피에조 변환기 KF16 RS485, 10-5 ~ 1500 Torr 910-12030

910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/절대 압전 진공 변환기는 광범위한 압력 측정 응용 분야를 위해 특별히 설계되었으며 NW16 ISO-KF 플랜지 피팅 크기가 특징입니다. 결합된 출력은 기존 열전도율 게이지보다 훨씬 더 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 탁월한 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도율 센서에 비해 정확도가 향상된 11~1500Torr의 가스 독립적인 절대 압력 측정 기능을 제공합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술의 결과로 910은 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 10-5 Torr까지 압력을 읽을 수 있습니다. 센서 설계는 대류 영향을 최소화하므로 910은 정확성을 저하시키지 않고 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다.

피에조(Piezo)는 절대 압력 센서로, 직접 압력 판독값을 제공하여 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 피에조 센서는 1Torr 미만에서 1500Torr까지 측정합니다. 910에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 910에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 1VDC/10년의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 세 개의 기계적 릴레이(예: 연동 차단 밸브 및 진공 펌프)가 있습니다. 각 설정점은 압전 측정 또는 결합된 절대 MicroPirani/Piezo 측정에 할당될 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄여줍니다. 이는 시스템 설계자에게 특히 매력적이며 보다 컴팩트한 진공 시스템을 가능하게 합니다.