MKS Instruments 밸브, 500SCCM 4 VCR M, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러, PN 148JA52CR1M
이것들 MKS Instruments 밸브, 500SCCM 4 VCR M 부품 번호가 있습니다 148JA52CR1M, 새롭고 완전한 기능이 제공됩니다. MKS Instruments 보증. MKS 기기 148J 순금속 제어 밸브의 고급 초청정 설계는 입자 생성을 최소화하고 잔류 오염물질의 가스 방출을 줄입니다. 두 가지 모두 장치 고장과 수율 저하로 이어질 수 있습니다. 1 x 10-10 atm cc/sec(He) 미만의 외부 누출률을 보장하는 금속 씰을 사용하여 오염과 부식을 방지합니다. 148개의 고온 밸브는 150°C의 공정 온도까지 작동할 수 있습니다.
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