MKS Instruments 밸브, KF, 단독 및 LS 포함, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러, PN 163-1050K-120V/50-60
이것들 MKS Instruments 밸브, KF, 단독 및 LS 포함 부품 번호가 있습니다 163-1050K-120V/50-60, 새롭고 완전한 기능이 제공됩니다. MKS Instruments 보증. MKS 기기의 154 고유량 제어 밸브는 다른 고유량 제어 밸브에 비해 더 나은 응답 시간을 제공합니다. 이는 밸브 내에서 압력으로 인한 불균형을 자동으로 중화하는 "균형 잡힌 힘" 설계를 사용함으로써 가능합니다. 엘라스토머로 밀봉된 154 밸브는 0.2~200slm의 유량에 맞게 설계되었습니다.
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