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예어       부품 번호:      

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640B 절대 압력 컨트롤러는 업스트림 또는 다운스트림 압력 제어에 사용되는 독립형 소형 폐쇄 루프 전자 제어 시스템입니다. 여기에는 Baratron® 용량 압력계, 상시 폐쇄 비례 제어 밸브 및 폐쇄 루프 제어 전자 장치가 포함되어 있습니다. 표준 MFC와 전기적으로 유사한 640B는 단 200mA에서 ±15VDC로 전원이 공급되므로 표준 전원 공급 장치/디스플레이 전자 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 압력 출력 및 입력 제어 신호는 선형 0-5 또는 0-10 VDC이며 사용자가 선택할 수 있습니다. 640B에는 간단한 온/오프 프로세스 제한으로 사용할 수 있도록 LED 상태 표시기와 함께 두 개의 트립 포인트가 포함되어 있습니다. 일반적인 640B 애플리케이션에는 버블러 배압 제어, 가스 매니폴드 압력 제어 및 웨이퍼 후면 압력 제어가 포함됩니다. 4876998.10458
MKS Instruments 640A 프레스 연속, MTL, 1KM, 4VCR M, NC, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러,  PN  640A13MW1M62M
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MKS Instruments 640A 프레스 연속, MTL, 1KM, 4VCR M, NC, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러,  PN  640A13MW1M62M

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가격

제품: MKS Instruments 640A 프레스 연속, MTL, 1KM, 4VCR M, NC, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러, Baratron이 통합된 소형 압력 컨트롤러,  PN  640A13MW1M62M

상태: New
보증: MKS Instruments 보증
부품 번호: 640A13MW1M62M
판매 가격: ₩4,876,998.10

통화 South Korean Won (KRW)

QTY:   

매뉴얼



사용 가능한 다운로드:
  MKS 640B, 641B 압력 컨트롤러 사용 설명서.pdf (0.58 MB)
  MKS 640B, 641B 전자 압력 컨트롤러 데이터 시트.pdf (0.2 MB)
  MKS 647B 다중 채널 유량비/압력 컨트롤러 사용 설명서.pdf (0.49 MB)
  MKS 649B 전자 압력 컨트롤러(질량 유량계 포함) 데이터 시트.pdf (0.2 MB)
  MKS DPC 이중 구역 압력 컨트롤러 데이터 시트.pdf (0.44 MB)
  일체형 질량 유량계가 포함된 MKS 649B 압력 컨트롤러 사용 설명서.pdf (0.49 MB)
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문의하기
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 뉴 멕시코 87109-5805 USA

핸드폰: (505) 872-0037
팩스: (505) 872-9001
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