MKS GM50A 질량 유량 컨트롤러(MFC) 아날로그 제어, 1~50sccm 범위, 15핀 커넥터, 4 VCR 수. PN: GM50A013501RMM020.
MKS 부품 번호: GM50A013501RMM020. MKS GM50A 질량 유량 컨트롤러는 광범위한 안전 공급 소스 가스(SDS)를 제어하도록 구성할 수 있습니다. 입력 및 출력 피팅은 Swagelok® 4 VCR® 수입니다. 50sccm의 전체 유량 범위와 1~50sccm의 제어 범위, 접지가 연결된 15핀 D-초소형 커넥터, 0~5VDC 유량 입력/출력 신호가 있습니다. 일반적인 응답 시간은 500밀리초 정도입니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok 회사