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이에 대한 추가 정보MKS Instruments MFC, AR, 50 SCCM, RS - 485, NC 테플론, LCMA51CR15M20  아래 PDF 카탈로그와 문서를 다운로드하여 보실 수 있습니다. 간단히 PDF를 열어보세요 아래 카탈로그에서 PDF 검색(ctrl F)을 실행하여 검색하세요. GM50A004501R5M020.