MKS GM50A 질량 흐름 컨트롤러(MFC) 디지털 제어, 범위 20~1000 sccm, 15핀 D 초소형 커넥터, 4 VCR 수.
MKS 부품 번호: GM50A013103RMM020. MKS GM50A 질량 흐름 컨트롤러는 광범위한 SDS(안전 공급 소스 가스)를 제어하도록 구성할 수 있습니다. 입력 및 출력 피팅은 Swagelok® 4 VCR® 수형입니다. 이는 1000 sccm의 전체 스케일 유량 범위와 20 ~ 1000 sccm의 제어 범위, 접지가 연결된 15핀 D 초소형 커넥터 및 0-5 VDC 유량 입력/출력 신호를 갖습니다. 일반적인 응답 시간은 500밀리초 정도입니다. 디지털 교정은 교정 가스에 대한 설정점 정확도의 1%를 산출합니다.
다중 범위 기능은 이더넷 케이블을 통해 MFC를 라우터 또는 컴퓨터에 연결하여 액세스하는 웹 브라우저 기반 애플리케이션을 통해 구성할 수 있습니다. E-진단 애플리케이션을 사용하면 사용자는 MFC의 성능을 실시간으로 모니터링하고 데이터를 플롯하고 변수를 선택할 수 있습니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok 회사