Pfeiffer Vacuum 예비 측정 시스템, 잔류 가스 분석기, 잔류 가스 분석기,  PN  PT 120 137 -T

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파이퍼 프리마프로 QMG 250

패러데이 검출기가 장착된 파이퍼 베큠 4중극자 질량 분석기는 고진공 챔버에서 가스 조성을 정성적으로 분석하는 데 선호되는 장치입니다. 진공 게이지와 비교하여 4중극자 질량 분석기는 진공에 대해 훨씬 더 풍부한 정보를 제공합니다. 패러데이 검출기는 누출, 수증기 방출 또는 고진공 하의 탄화수소 오염에 대한 정보를 얻는 데 종종 충분합니다. 이를 위해 파이퍼 베큠은 다양한 질량 범위와 필라멘트 재료를 갖춘 다양한 4중극자 질량 분석기를 제공합니다.

가스 구성 요소의 질량 대 전하 비율에 대해 질량 분석계에서 공급되는 이온 전류는 설정 후 견고성과 오염 부재 여부를 결정하거나 특성화를 위해 여러 작동 단계에서 진공 시스템에 대한 의미 있는 정보를 제공합니다. 진공 공정을 운영할 때.

진공 챔버 및 펌핑 시스템의 설계에 따라 진공 시스템에서 달성할 수 있는 압력 범위에 따라 검출기와 관련된 질량 분석계의 선택이 결정됩니다. 고진공에서는 패러데이 검출기로 충분한 경우가 많지만, 초고진공에서는 매우 낮은 가스 밀도를 검출하기 위해 2차 전자 증배기가 필요합니다.

또 다른 주요 기준은 감지할 질량 범위입니다. 기존 진공 시스템에서는 질소, 산소, 아르곤, 수증기와 같은 대기 가스와 일반적으로 가벼운 탄화수소로 인한 오염이 주요 초점입니다. 이러한 가스를 감지하려면 1~100 원자 질량 단위(u) 범위의 사중극자 질량 분석기가 이상적입니다. 이는 이 범위에서 우수한 질량 분리를 보여주기 때문입니다. 긴 사슬 탄화수소와 같이 더 무거운 가스와 그 구성 요소도 감지해야 하는 경우 파이퍼 베큠은 이러한 목적으로 1~200u 또는 1~300u의 질량 필터도 제공합니다.

개방형 이온 소스는 견고한 설계와 높은 검출 감도를 결합하므로 대부분의 잔류 가스 분석 작업에 가장 적합한 선택입니다. 가스 제트 또는 가스 흐름을 분석해야 하는 작업은 폐쇄형 또는 크로스빔 이온 소스를 사용하여 유리하게 처리할 수 있습니다. 초고진공 범위의 경우 가스 방출 속도가 매우 낮은 그리드 이온 소스도 사용할 수 있습니다. 선택할 수 있는 구성 요소가 많아 파이퍼 베큠 4중극자 질량 분석기의 정확한 구성 가능성 덕분에 분광계는 모든 측정 작업에 대해 최적으로 선택할 수 있습니다. 다년간의 경험을 보유한 당사의 제품 및 응용 전문가가 적절한 잔류 가스 분석기 구성에 대해 기꺼이 조언해 드립니다.

파이퍼 고압 분석기 HPA 220

파이퍼 베큠 고압 분석기 HPA 220은 최대 압력 37 Torr(50 hPa)의 진공 상태에서 가스 분석을 위한 건식 터보 펌핑 스테이션을 갖춘 유연하게 사용할 수 있는 모듈식 질량 분석기 시스템입니다. 용도에 따라 파이퍼 베큠 HPA 220에서는 5가지 전기 공압식 및 수동 작동식 가스 흡입 밸브를 선택할 수 있습니다. 이를 통해 공정 가스의 아주 작은 불순물이라도 반응 가스로 감지할 수 있습니다. 또한 분석실의 역확산으로 인한 판독값 위조를 효과적으로 방지합니다.

파이퍼 베큠 SPM 220 스퍼터 공정 모니터

파이퍼 베큠 스퍼터 공정 모니터 SPM 220은 스퍼터 공정의 정성적 및 정량적 가스 분석을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 파이퍼 베큠 HiPace 터보 펌핑 스테이션과 질량 분석계 시스템과 특별히 개발된 SPM 이온 소스를 결합하면 최대 7.4mTorr(10-2hPa)의 압력까지 정확한 최신 공정 가스 분석이 가능합니다.

할인된 견적을 받고 진공 공정 가스 분석 영업 엔지니어와 상담하려면 (505) 872-0037번으로 Ideal Vacuum에 문의하세요. 우리는 귀하의 예산과 응용 분야 요구 사항에 맞게 가스 분석 시스템을 설계하고 구성할 수 있습니다.

이에 대한 추가 정보Pfeiffer Vacuum 예비 측정 시스템  아래 PDF 카탈로그와 문서를 다운로드하여 보실 수 있습니다. 간단히 PDF를 열어보세요 아래 카탈로그에서 PDF 검색(ctrl F)을 실행하여 검색하세요. PT 120 137 -T.