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이것들 Agilent Varian AX-65 DP, 조준경 없음, BECKMAN  부품 번호가 있습니다 R3090307, 새롭고 완전한 기능이 제공됩니다. Agilent Varian 보증. 확산 펌프는 고진공 응용 분야에 사용되는 가장 일반적인 유형의 펌프입니다. 이러한 증기 제트 펌프는 진공을 생성하는 가장 오래되고 신뢰할 수 있는 방법 중 하나입니다. 챔버 자체에는 기름 방울 외에 움직이는 부분이 없기 때문에 진공 확산 펌프는 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다. 모든 확산 펌프에서는 소량의 역류가 발생합니다. 역류는 반대 방향, 즉 펌프 입구를 향해 전자 현미경이나 용접 챔버의 단계일 수 있는 공정 흐름으로 이동하는 미세한 수준의 오일이 이동하는 것입니다. 일부 애플리케이션에서는 사소한 백스트리밍이 아무런 영향을 미치지 않습니다. 재료의 순도가 중요한 다른 곳에서는 역류가 허용되지 않습니다. 이러한 이유로 시스템은 일반적으로 오일 입자가 공정 흐름에 도달하기 전에 방향을 바꾸기 위해 다양한 디자인의 광학적으로 조밀한 배플을 추가합니다. 확산 펌프는 여러 가지 장점이 있기 때문에 널리 사용되고 있습니다. 신뢰성이 높고 설계가 단순하며 소음이나 진동 없이 작동하고 작동 및 유지 관리 비용이 상대적으로 저렴합니다. 실제로 확산 펌핑은 여전히 고진공 환경을 조성하는 가장 경제적인 수단입니다. 이 펌프는 또한 다른 유형의 고진공 펌프를 파괴할 수 있는 과잉 입자 및 반응성 가스와 같은 작동 조건을 견딜 수 있습니다.

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