MKS Instruments ELBW,MAL,CAJ#SS-4-VCR-2-4, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러, 업스트림 밸브 및 압력 컨트롤러,  PN  SP93-3473N

이것들 MKS Instruments ELBW,MAL,CAJ#SS-4-VCR-2-4  부품 번호가 있습니다 SP93-3473N, 새롭고 완전한 기능이 제공됩니다. MKS Instruments 보증. 245 밸브는 Grainville-Philips 시리즈 216 완전 금속 베이킹 가능 제어 밸브의 수정된 버전입니다. 245 밸브는 10-11에서 6000 Torr까지 압력을 제어할 수 있으며 최대 처리량은 2500 Torr-liters/sec(200 slm)입니다. 이 밸브는 다른 밸브를 사용할 수 없는 많은 부식성 가스와 함께 사용할 수 있습니다. 밸브 드라이버 어셈블리를 제거하면 UHV 애플리케이션을 위해 밸브가 450°C까지 구워질 수 있습니다. Type 245를 구동하는 데 사용되는 스테퍼 모터는 압력이나 설정점 변화에 몇 초 안에 반응할 수 있으며 단 15초 만에 밸브를 완전히 닫힌 위치에서 완전히 열린 위치로 구동합니다. Type 244 컨트롤러가 시스템을 완성합니다. 244/245 압력/유량 제어 시스템은 광범위한 압력 또는 흐름 제어를 위해 전체 금속, 베이킹 가능한 제어 밸브가 필요한 진공 공정에 사용되는 폐쇄 루프 피드백 제어 시스템입니다. 제어 모듈과 서보 제어 누출 밸브로 구성된 244/345 시스템은 스퍼터링, 스퍼터 에칭, 이온 소스 제어, 이온 주입, 진공 게이지 교정 등과 같은 단일 가스 공정에 이상적으로 적합합니다.

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