고압 작동을 위한 Ideal Vacuum AnalyzaVAC 잔류 가스 분석기(RGA) 키트, 1-100 AMU, 패러데이 컵 검출기, 수동 가변 누출 밸브, Pfeiffer HiCube 80 ECO 터보 펌핑 스테이션, AutoZ+ 기본 소프트웨어 포함.

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA는 진공 챔버 내부의 잔류 가스의 정체성과 농도를 결정하는 데 도움이 되는 소형 질량 분석기입니다. 누출 감지, 가스 방출 분석, 코팅 및 에칭 응용 분야의 공급 가스 품질 관리, 프로세스 문제 해결 등에 사용할 수 있습니다.

챔버에 직접 연결된 RGA는 총 압력이 1× ^10-6 Torr 미만, 최적은 2× ^10-7 Torr에서 연속 작동하도록 설계되었습니다. RGA를 더 높은 압력에서 작동시키면 이온화기, 필라멘트 및 사중극자 수명이 크게 줄어듭니다. AnalyzaVAC의 내장 압력 게이지는 내부적으로 그리고 포함된 AutoZ ⁺ 소프트웨어에서 모두 사용되어 RGA(대부분의 경우)에 치명적인 손상을 방지합니다.

중간 진공에서 대기압까지 챔버의 가스를 측정하려면 RGA를 별도의 작은 챔버에 넣고 자체 고진공 펌핑 시스템을 설치해야 합니다. 그런 다음 RGA 진공 시스템을 누출 밸브를 통해 챔버에 연결하면 RGA가 섬세한 사중극 프로브 주변에서 고진공을 유지하면서도 주 챔버의 가스를 샘플링할 수 있습니다.

이 키트에는 RGA를 사용하여 고압의 가스를 측정하는 데 필요한 모든 것이 들어 있습니다.

구성 요소 및 기능:

• 이상적인 진공 분석기VAC RGA.
• 1-100 AMU 스캔 범위.
• 패러데이 컵 검출기.
• 내장된 피라니 게이지는 고압에서 RGA가 켜지는 것을 방지합니다.
• 빠른 고진공 압력 측정을 위한 열음극 이온 게이지가 내장되어 있습니다.
• 파이퍼 HiCube 80 ECO 터보 분자 펌핑 스테이션.
• 수동 Agilent 가변 누출 밸브를 사용하면 1000 Torr에서 고진공까지 챔버의 RGA 샘플링이 가능합니다.
• 다른 가스 공급원에서 발생하는 측정 오염을 최소화하기 위해 모든 금속 씰이 있는 용접 매니폴드입니다.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ 기본 버전 소프트웨어.

Pfeiffer HiCube 80 ECO 펌핑 스테이션과 수동 Agilent 가변 누출 밸브를 조합하면 최소 9단계의 압력에 걸쳐 있는 챔버의 정확한 가스 샘플링이 가능합니다. 그러나 단일 격리 밸브 균열 지점은 범위 내의 모든 압력에 적합하지 않습니다. 최상의 결과를 얻으려면 챔버 압력이 변경될 때마다 밸브를 수동으로 재설정해야 합니다. 챔버 압력이 현재 작동 압력에 비해 1단계 이상 상승할 경우(예: 챔버 환기 중) RGA 및 펌핑 시스템의 손상을 방지하기 위해 누출 밸브를 먼저 닫아야 합니다. 챔버가 안정된 압력에 도달하면 RGA 이온화기를 끄고 RGA 하위 시스템 내부의 원하는 압력에 도달할 때까지 밸브를 다시 열어야 합니다. 그런 다음 RGA 이온화기를 다시 켜고 측정을 재개할 수 있습니다.

압력 사이클 동안 누출 밸브를 특정 균열 지점으로 유지하기 위해 추가 CF 1.33인치 수동 벨로우즈 밸브를 사용하여 RGA를 챔버에서 분리할 수 있습니다.

Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA에 대하여:

AnalyzaVAC는 이중 필드 교체형 토륨 이리듐 필라멘트에서 열이온으로 방출된 전자를 사용하여 프로브 팁에 있는 가스를 이온화하여 작동합니다. 생성된 양이온은 다양한 무선 주파수와 사중극자 필터에 적용된 DC 전압의 조합을 사용하여 질량 대 전하 비율로 분리됩니다. 양전하 이온은 사중극자 중앙을 따라 이동하며 전자 증배기로 증폭되거나 프로브 끝에 있는 패러데이 컵 검출기로 직접 감지됩니다. 각 가스는 원소의 자연적 동위 원소 풍부도와 RGA의 고에너지 전자 이온화로 인한 분자 파편화가 결합된 고유한 스펙트럼 지문을 생성합니다.

모든 AnalyzaVAC 프로브에는 반복 가능하고 정량적이며 고도로 선형적인 검출을 제공하는 패러데이 컵 검출기가 함께 제공되며, 1.5× ^10-12 Torr ^* 까지 가능합니다. 옵션 전자 증배기는 정성적 측정을 위해 감도를 무려 6× ^10-15 Torr ^* 까지 높입니다. 표준 및 전자 증배기가 장착된 검출기는 모두 적절하게 보정된 경우 10% 피크 높이(또는 그 이상)에서 0.5 AMU 분해능을 제공합니다.

Ideal Vacuum의 만료되지 않는 기본 AutoZ ⁺ 소프트웨어는 Windows 10 애플리케이션으로, 데스크톱이나 랩톱 컴퓨터에서 모든 AnalyzaVAC RGA 시스템을 제어할 수 있습니다. AutoZ ⁺ 는 운영자에게 모든 수집 매개변수를 제어할 수 있는 권한을 제공합니다. AutoZ ^+는 실시간 데이터 스트리밍을 제공하고 사용자가 수집된 데이터를 아날로그 스펙트럼, 질량 히스토그램 및 시간 경과에 따른 추세로 볼 수 있도록 합니다. 원치 않는 피크와 스펙트럼 기여를 제거하기 위해 사용자는 이전에 수집된 스펙트럼을 사용하여 데이터를 기준으로 삼을 수 있습니다.

Ideal Vacuum의 옵션 프리미엄 AutoZ ⁺ 소프트웨어 업그레이드에는 기본 소프트웨어의 모든 기능이 포함되어 있으며 고급 데이터 로깅, 평균화, Ideal Vacuum의 물질 라이브러리에 대한 액세스가 가능한 스펙트럼 피팅, 라이브러리에 추가 화합물을 추가하는 기능이 추가되었습니다. 프리미엄 AutoZ ^+는 강력한 최소 제곱 알고리즘을 사용하여 일반적인 잔류 가스의 분압을 계산하고 현재 표시된 스펙트럼에 대한 기여도를 식별하며 알려지지 않은 피크를 분리합니다. 프리미엄 소프트웨어는 매년 갱신해야 하며 그렇지 않으면 기본 버전으로 돌아갑니다.

일부 RGA 응용 프로그램:

• 누출 테스트
• 프로세스 모니터링
• 펌프다운 및 베이크아웃 모니터링
• 진공 진단
• 공급 가스 품질 관리
• 가스 및 오염 물질 식별

* AnalyzaVAC 프로브는 섬세한 기구입니다. 부적절한 사용, 프로브의 잘못된 취급 또는 장시간 고압에서 작동하면 오염 및 손상될 수 있습니다. 따라서 프로브는 원래 포장에서 꺼낸 후에는 보증이 제공되지 않습니다.
Pfeiffer HiCube 80 ECO 터보는 전체 제조업체 보증이 적용됩니다. 다른 구성품의 보증은 제품 결함에 대한 것입니다.

RGA의 최적 총 작동 압력은 대부분 가스에 대해 2× ^10-7 Torr입니다. 가변 누출 밸브와 터보 펌프 시스템을 사용하여 RGA 시스템 내부에서 압력을 낮추는 한 외부 압력은 훨씬 더 높을 수 있습니다. 장시간 더 높은 RGA 시스템 압력에서 작동하면 프로브의 조기 노화, 이득 손실, 스펙트럼 드리프트, 필라멘트 및 이온화기 소진이 발생합니다. RGA는 해당 시간 동안 다음 압력 영역에서 사용할 수 있습니다.
^10-4 Torr, 몇 시간
^10-5 Torr, 며칠
^10-6 Torr, 몇 달
^10-7 Torr, 수년
^10-8 토르, 무기한
유기 증기는 필라멘트와 이온화기의 그을음 오염을 방지하기 위해 대기 가스보다 2배 낮은 압력으로 유지해야 합니다. 실리콘 증기는 필라멘트와 이온화기에 유리가 쌓이는 것을 방지하기 위해 대기 가스보다 최소 10배 낮은 압력으로 유지해야 합니다. 부식성 증기는 또한 일반 가스보다 RGA에 더 큰 피해를 줍니다. 압력을 적절히 관리하면 RGA를 사용하여 값비싼 수리를 하지 않고도 이러한 가스를 측정할 수 있습니다.

* 질소 가스로 측정, 5초 체류 시간, 1 amu 전체 피크 폭, 10% 높이, 70 eV 전자 에너지, 6 eV 이온 에너지, 2 mA 전자 방출, 기준선 노이즈로부터 3표준편차 계산.