MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 이중 열음극 이온 게이지 컨트롤러, 병렬, 19인치 랙용 전원 공급 장치, 115VAC. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307502-000-T1 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러(VGC)는 5 x 10-11 Torr(6.6 x 10-12 mbar 또는 6.6 x 10-10 Pa)에서 대기까지의 압력을 측정합니다. (PCB) 인쇄 회로 기판 옵션 모듈 및 변환기가 사용됩니다. 그림과 같이 가장 간단한 형태로 판매되는 New 307(VGC)은 2 X 10-11 Torr 범위에서 두 개의 이온화 게이지(IG) 유리관 또는 누드(NOT UHV) 이온 게이지를 한 번에 하나씩 실행합니다. 19인치 랙용 전원 공급 장치가 나란히 있는 왼쪽 마운트이며 AC 전원 코드 및 전원 공급 장치/제어 장치 전원 케이블이 함께 제공됩니다. 옵션 모듈을 사용하면 307 진공 게이지 컨트롤러는 2개의 대류 게이지(CG) 또는 2개의 열전대 게이지(TC)와 함께 2개의 이온 게이지(IG)를 순차적으로 작동할 수 있습니다. 압력 판독은 3개의 전면 패널 디스플레이, 아날로그 출력 및 사용 가능한 컴퓨터 인터페이스를 통해 이루어집니다. 307(VGC)은 대부분의 사용자의 정확한 요구에 맞게 쉽게 맞춤화할 수 있는 모듈형 기기입니다. 자주 사용되지 않는 컨트롤은 힌지형 전면 패널 뒤에 위치하여 전면 패널의 혼잡함을 줄이고 제어 장치를 하프랙 공간에 배치할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 별도의 인클로저에 들어 있으며 제어 장치 옆에 랙에 장착할 수 있습니다. 환기가 필요 없는 제어 장치 인클로저에서 전력 손실을 제거하여 신뢰성이 향상되었습니다. 전원 공급 장치의 원격 장착은 사용자의 장비 랙에서 발생하는 열을 최소화하여 구성 요소의 신뢰성을 높입니다. 이것은 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러입니다. 케이블, 센서/변환기 및 PCB 모듈 인터페이스 카드를 사용할 수 있지만 이 웹사이트에서는 별도로 판매됩니다. 전체 사양 및 작동을 보려면 아래의 307(VGC) 사용자 지침 설명서와 사양 시트.pdf를 다운로드하세요. 307(VGC)용 옵션 사용자 설치 모듈형 인쇄 회로 기판 카드(이 웹 사이트에서 사용 가능)는 RS-232입니다. 컴퓨터 인터페이스 - PN 307019 IEEE-488 컴퓨터 인터페이스 - PN 307020 열전대 및 이온 게이지용 선형 아날로그 출력 - PN 307100 이중 대류 게이지 - PN 307013 대류 게이지 및 커패시턴스 다이어프램 게이지 - PN 307026 이중 열전대 게이지 - 2개의 설정점이 있는 PN 307014 공정 제어 이온 게이지용 릴레이 - 6개의 설정점 릴레이가 있는 PN 307018 프로세스 제어, 채널당 2개 - PN 307017 원격 입력/출력 제어 인터페이스 - PN 307012 307(VGC)용 옵션 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어(이 웹사이트에서 사용 가능)는 다음과 같습니다. 19인치 랙용 공급 케이블 및 제어 장치 나란히 - 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽에 있는 PN 307009 제어 장치 - 19인치 랙 중앙에 있는 PN 307010 제어 장치 - PN 307011 2개의 제어 장치 나란히 19인치 랙용 측면 - PN 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN 307114

MKS Granville Phillips 이리듐 필라멘트 유리 이온 게이지 튜브, Bayard-Alpert 스타일, 3/4인치 Pyrex 입구 포트, 진공 압력 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274002 이 MKS Granville Phillips 274 Iridium 유리 이온 게이지 튜브에는 3/4인치 OD 진공 연결 Pyrex Glass 포트가 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 단일 토리아 코팅 이리듐 필라멘트가 포함된 유리관 테스트 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274031 이 MKS Granville Phillips 이리듐 유리 이온 게이지 튜브는 테스트 게이지 진공 시뮬레이터로, 1 X 10-5 이하로 펌핑 및 핀치오프됩니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 응용 분야에 사용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 이리듐 필라멘트 유리 이온 게이지 튜브, Bayard-Alpert 스타일, 3/4인치 포트, 진공 압력 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274003 이 MKS Granville Phillips 이리듐 유리 이온 게이지 튜브에는 3/4인치 Kovar 금속 흡입구 OD 진공 연결 포트가 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 이리듐 필라멘트 유리 이온 게이지 튜브, Bayard-Alpert 스타일, 1인치 포트, 진공 압력 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274006 이 MKS Granville Phillips 이리듐 유리 이온 게이지 튜브에는 1인치 Kovar 금속 흡입구 OD 진공 연결 포트가 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 단일 토리아 코팅, 이리듐 필라멘트, Bayard-Alpert, KF25, ISO NW25, 3/4인치, 유리 이온 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274032 이 MKS Granville Phillips 이리듐 유리 이온 게이지 튜브에는 KF25 ISO NW25 주입구와 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr의 작동 범위를 갖는 3/4인치 진공 연결 포트가 있습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, Thoria 코팅 이리듐 필라멘트, Bayard-Alpert, 15mm OD 주입구, Pyrex 유리 이온 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274036 이 MKS Granville Phillips 이리듐 유리 이온 게이지 튜브에는 15mm OD 흡입구, 작동 범위가 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr인 진공 연결 포트가 있습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 단일 토리아 코팅, 이리듐(IR) 필라멘트 유리 이온 게이지 튜브, Bayard-Alpert 스타일, 2.75인치 CF 컨플랫, 3/4인치 OD 포트, 진공 압력 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274007 이 MKS Granville Phillips Iridium 유리 이온 게이지 튜브에는 2.75인치 CF ConfFlat 주입구와 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr의 작동 범위를 갖는 3/4인치 진공 연결 포트가 있습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 단일 토리아 코팅, 이리듐(IR) 필라멘트 유리 이온 게이지 튜브, Bayard-Alpert 스타일, 2.75인치 CF 컨플랫, 1인치 OD 포트, 진공 압력 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274008 이 MKS Granville Phillips Iridium 유리 이온 게이지 튜브에는 2.75인치 CF ConfFlat 주입구와 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr의 작동 범위를 갖는 1인치 진공 연결 포트가 있습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 -30VDC, 5VAC)을 갖습니다. MKS Granville Phillips 토리아 코팅 이리듐(IR) 필라멘트 구성은 모든 청정 환경에서 사용할 수 있습니다. 적용할 수 있지만 잠재적으로 산소가 풍부한 환경에서 특히 실용적입니다. 모든 IR 필라멘트에는 토리아 코팅이 있어 전자 방출을 텅스텐 필라멘트와 거의 동일한 수준으로 증가시킵니다. 그러나 이리듐 필라멘트는 금속 또는 유기 오염물질에 의해 심하게 분해되어 정확도가 떨어질 수 있습니다(필라멘트는 확산 또는 기계식 진공 펌프에서 역류하는 오일에 의해 쉽게 중독됩니다). Thoria 코팅 IR은 산화에 매우 강하며 작동 중 대기에 잠깐 노출되는 경우에도 견딜 수 있으며 필라멘트 수명을 손상시키거나 단축시키지 않습니다. 이리듐 이온 게이지 튜브는 일반적으로 단일 흰색 "머리핀" 모양의 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 4개의 외부 리드가 있습니다. 이 MKS Granville Phillips 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐 필라멘트, Bayard-Alpert, 3/4인치 Pyrex, 유리 이온 압력 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274012 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브에는 3/4인치 Pyrex 포트 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐 필라멘트, Bayard-Alpert, 1인치 Pyrex, 유리 이온 압력 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274015 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브에는 1인치 Pyrex 포트 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐 필라멘트, Bayard-Alpert, 3/4인치 Kovar 금속, 유리 이온 압력 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274013 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브에는 3/4인치 Kovar 금속 포트 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐 필라멘트, Bayard-Alpert, 1인치 Kovar 금속, 유리 이온 압력 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274016 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브에는 1인치 Kovar 금속 포트 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐, Bayard-Alpert, 15mm OD Pyrex, 유리 이온 압력 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274037 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브에는 15mm Pyrex 포트 진공 연결이 있고 작동 범위는 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐, Bayard-Alpert, 3/4인치 OD, 2.75인치 CF 컨플랫, 유리 이온 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274017 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브는 3/4인치 OD, 2.75CF Conflat 포트 진공 연결 및 1x10-3 ~ 2x10-10Torr의 작동 범위를 갖습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274, 이중 텅스텐, Bayard-Alpert, 1인치 OD, 2.75인치 CF 컨플랫, 유리 이온 게이지 튜브. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274018 이 이중 텅스텐 유리 이온 게이지 튜브는 1인치 OD, 2.75 CF ConFlat 포트 진공 연결 및 1x10-3 ~ 2x10-10 Torr의 작동 범위를 갖습니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 10 Torr-1이고 표준 작동 전압(콜렉터 0 VDC, 그리드 +180 VDC, 필라멘트 -30 VDC, 5 VAC)을 갖습니다. 뜨거운 텅스텐 필라멘트는 산소와 반응하여 산화 텅스텐을 빠르게 형성하므로 진공 상태가 좋지 않으면 급속하게 뜨거운 텅스텐 성분의 치명적인 산화를 유발합니다. 산소 노출 위험이 거의 없는 환경에서 가장 실용적입니다. 그러나 텅스텐 필라멘트는 확산 펌프에서 오일의 역류가 심한 응용 분야에 적합합니다. 이중 텅스텐 필라멘트 이온 게이지 튜브는 2개의 반대 나선형 필라멘트로 식별할 수 있으며 플러그 끝에 6개의 외부 리드가 있습니다. 교체용 이온 게이지 튜브는 MKS Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제작한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 일반적으로 작동 대상:MKS Granville Phillips 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타 MKS Instruments 290, 919, 929Perkin Elmer DGC3Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971 -0003, 971-0014, 971-1008, 다중 게이지, Varian 571 튜브 K2471301Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002

관형 유리 이온 게이지용 MKS Granville Phillips 307 케이블, 원격 전원 공급 장치 장착, 10피트(3미터). MKS Granville Phillips 부품 번호: 307030 이 Granville Phillips 307 이온 게이지 케이블은 관형 유리 이온 게이지용으로 설계되었습니다. 이 케이블은 307 전원 공급 장치를 원격 장착할 때 사용할 수 있습니다. 이 케이블의 길이는 3미터(10피트)입니다.

MKS Granville Phillips 이온 게이지 튜브 케이블은 307 이온 게이지 컨트롤러를 유리 이온 게이지 튜브(10피트)에 연결합니다. 긴. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307042 이 MKS Granville Phillips 307 및 330 이온 게이지 컨트롤러 케이블은 MKS Granville Phillips 307 또는 330 컨트롤러를 단일 유리관 이온 게이지에 연결합니다. 이 케이블의 길이는 10피트입니다. 이온 게이지 컨트롤러, 이온 게이지 튜브 및 열전대 센서도 사용 가능하지만 별도로 판매됩니다.

관형 유리 이온 게이지용 MKS Granville Phillips 307 케이블, 원격 전원 공급 장치 장착, 25피트 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307031 이 MKS Granville Phillips 307 이온 게이지 케이블은 길이가 25피트이고 관형 유리 이온 게이지용으로 설계되었습니다. 이 케이블은 307 전원 공급 장치를 원격 장착할 때 사용할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지, KF40 NW40 플랜지, 커넥터 잠금 링이 있는 핀 가드, 전자 충격 탈가스 또는 저항 가열 탈가스(컨트롤러에 따라 다름). MKS Granville Phillips 부품 번호: 274053 MKS Graville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 능력을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 토리아 코팅 이리듐 필라멘트, KF40 NW40, 1×10-3 ~ 2×10 -11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450 °C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 Granville Phillips 274 이온화 게이지는 감소된 성능으로 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서. Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 베이야드-알퍼트 이온 게이지, KF40 NW40, 듀얼 토리아 코팅 이리듐, 핀 가드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274058 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 1×10-3 ~ 2×10-11 Torr 압력 범위, 토리아 코팅의 광범위한 작동 압력 능력을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 이리듐 필라멘트, KF40 NW40 플랜지, 최대 베이크아웃 온도: 450°C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF, 단일 토리아 코팅 이리듐, 핀 가드, 폭격 탈가스 또는 저항 가열 탈가스(컨트롤러에 따라 다름) MKS Granville Phillips 부품 번호: 274043 MKS Graville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 토리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75인치 CF 플랜지, 커넥터 잠금 링이 있는 핀 가드, 1×10-3 ~ 2×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450°C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공하며 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 열음극 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF, 이중 토리아 코팅 이리듐, 전자 충격 제거 가스, 핀 가드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274023 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 능력을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 토리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75 ConFlat 플랜지, 1×10-3 ~ 2× 10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450 °C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF, 단일 토리아 코팅 이리듐, 전자 충격 탈가스 또는 저항 가열 탈가스(컨트롤러에 따라 다름). MKS Granville Phillips 부품 번호: 274028 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 능력을 갖춘 견고한 개방형 게이지로, 단일 토리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75 CF 플랜지, 1×10-3~2 ×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450°C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF, 듀얼 토리아 코팅 이리듐, 핀 가드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274042 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능, 이중 토리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75 CF 플랜지, 잠금 링이 있는 핀 가드 커넥터, 1×10-3 ~ 2×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450°C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공하며 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 듀얼 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 교체, Bayard-Alpert 스타일, 누드 게이지. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274025 이것은 MKS Granville Phillips 274 누드 듀얼 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 이온 게이지용 이온 게이지 교체 듀얼 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 키트입니다(전자 충격 제거에만 해당). 이것은 필라멘트 키트 전용이며 알렌 렌치가 포함되어 있습니다. Ion 누드 게이지 및 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 다음 MKS Granville Phillips 274 시리즈 듀얼 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 누드 이온 게이지에 적합:• NW40 KF40 플랜지, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274058• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가능, PN: 274023• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274042

MKS Granville Phillips 274 단일 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 교체용, Bayard-Alpert 스타일, 누드 게이지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 274029 MKS Granville Phillips 274 누드 단일 토리아 코팅 이리듐용 이온 게이지 교체용 단일 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 키트입니다. 필라멘트 이온 게이지(저항성 또는 전자 충격 제거 장치). 이것은 필라멘트 키트 전용이며 알렌 렌치가 포함되어 있습니다. Ion 누드 게이지 및 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 다음 MKS Granville Phillips 274 시리즈 단일 토리아 코팅 이리듐 필라멘트 누드 이온 게이지에 적합:• NW40 KF40 플랜지, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274053• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가능, PN: 274028• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274043

MKS Granville Phillips 274 누드 베이야드-알퍼트 이온 게이지, KF40 NW40 플랜지, 이중 텅스텐 필라멘트. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274050 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력, 이중 텅스텐 필라멘트, KF40 NW40 플랜지, 1×10-3 ~ 2×10-를 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450°C. X선 한계가 2x10-11 Torr인 MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 감소된 성능으로 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF 플랜지, 이중 텅스텐. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274022 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능, 이중 텅스텐 필라멘트, 전자 충격 제거 가스, 2.75 CF 플랜지, 1×10-3~1을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 2×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450 °C. MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 X선 한계가 2x10-11 Torr이며 1 mTorr에서 2x10-10 Torr까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. , 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 베이야드-알퍼트 이온 게이지, KF40 NW40, 이중 텅스텐 필라멘트, 핀 가드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274057 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 이중 텅스텐 필라멘트, KF40 NW40 플랜지, 잠금 링이 있는 핀 가드 커넥터, 1×10 -3~2×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450 °C. MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 X선 한계가 2x10-11 Torr이며 1mTorr에서 2x10-까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. 10 Torr, 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-12 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온 게이지, 2.75인치 CF 플랜지, 이중 텅스텐, 핀 가드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 274041 MKS Granville Phillips 274 누드 Bayard-Alpert 이온화 게이지는 광범위한 작동 압력 기능을 갖춘 견고한 개방형 게이지입니다. 이중 텅스텐 필라멘트, 잠금 링 및 핀 가드 커넥터가 있는 2.75 ConFlat 플랜지, 1×10 -3 ~ 2×10-11 Torr 압력 범위, 최대 베이크아웃 온도: 450 °C. MKS Granville Phillips 274 이온화 게이지는 X선 한계가 2x10-11 Torr이며 1mTorr에서 2x10까지 신뢰할 수 있는 압력 측정을 제공합니다. -10 Torr, 2x10-10 Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. MKS Granville Phillips 274는 X선 한계를 5x10-10 Torr로 낮추는 매우 얇은 수집기를 사용합니다. 결과적으로 1m Torr부터 5x10-11Torr까지의 압력을 측정할 수 있으며 5x10-11Torr보다 낮은 압력에서는 성능이 저하됩니다. 그리드 구조가 진공 챔버로 돌출된 적절하게 장착된 누드 게이지는 로컬 진공 압력이 챔버 압력과 동일하다는 점에서 가장 낮은 오류를 제공합니다. MKS Granville Phillips 게이지는 다양한 진공 시스템에 통합하거나 독립형 압력 측정 도구로 사용하기 위해 Varian의 Agilent XGS-600 게이지 컨트롤러와 쉽게 인터페이스됩니다. 일반적으로 사용 가능한 제품:MKS Granville Phillips 모델: 260, 270, 280, 303, 306, 307 330, 340,350 및 기타.MKS Instruments 모델: 290, 919, 929Perkin Elmer 모델: DGC3 Varian Agilent 모델: 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 571 튜브 K2471301, XGS-600 Veeco 모델: RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830 , RG840, RG1000, RG1002

MKS Granville Phillips 274 이중 텅스텐 필라멘트용 교체 필라멘트, Bayard-Alpert 스타일, 누드 게이지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 274024 이것은 MKS Granville Phillips 274 누드 이중 텅스텐 이온 게이지(전자 충격 제거 가스)용 이온 게이지 교체 텅스텐 필라멘트 키트입니다. 오직). 이것은 필라멘트 키트 전용이며 알렌 렌치가 포함되어 있습니다. Ion 누드 게이지 및 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 다음 MKS Granville Phillips 274 시리즈 듀얼 텅스텐 필라멘트 누드 이온 게이지에 적합:• NW40 KF40 플랜지, PN: 274050• NW40 KF40 플랜지, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274057• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가능, PN : 274022• 2.75인치 CF ConFlat(NW35CF) 회전 불가, 핀 가드 잠금 스트레인 릴리프, PN: 274041

핀 가드 커넥터가 있는 누드 이온 게이지용 MKS Granville Phillips 307 케이블, 전원 공급 장치 장착용 케이블. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307034-CE 이것은 전자 충격 제거 가스용 핀 가드/잠금 스트레인 릴리프가 있는 누드 이온 게이지용 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 케이블입니다. 전원 공급 장치의 원격 장착용 케이블, 10피트(3미터) .

MKS Granville Phillips 이온 게이지 튜브 케이블은 핀 가드 커넥터를 사용하여 307 이온 게이지 컨트롤러를 누드 이온 게이지에 연결합니다. MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 307046-CE. 이것은 핀 가드 및 잠금 스트레인 릴리프가 있는 누드 게이지 케이블에 대한 MKS Granville Phillips 307, 330, 340 이온 게이지 컨트롤러이며, 나란히 장착할 수 있으며 길이는 10피트입니다.

MKS Granville Phillips 이온 게이지 튜브 케이블은 푸시온 핀(10 Ft)을 사용하여 307 이온 게이지 컨트롤러를 누드 이온 게이지에 연결합니다. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307034 이 MKS Granville Phillips 307 이온 게이지 컨트롤러 케이블은 누드 이온 게이지용으로 설계되었습니다. 이 케이블에는 전자 충격 제거를 위한 푸시온 핀이 있습니다. 이 케이블을 사용하면 307 전원 공급 장치를 원격으로 장착할 수 있으며 길이는 3미터(10피트)입니다.

MKS Granville Phillips 이온 게이지 튜브 케이블은 307 이온 게이지 컨트롤러를 10피트 길이의 누드 게이지 케이블에 연결합니다. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307046 이 MKS Granville Phillips 307, 330, 340 이온 게이지 컨트롤러 케이블은 MKS Granville Phillips 307, 330, 340 컨트롤러를 단일 누드 이온 게이지에 연결합니다. 이 케이블의 길이는 10피트입니다. 이온 게이지 컨트롤러, 이온 게이지 튜브 및 열전대 센서도 사용 가능하지만 별도로 판매됩니다.

MKS Granville Phillips 이온 게이지 튜브 케이블은 307 이온 게이지 컨트롤러를 25피트 길이의 누드 게이지 케이블에 연결합니다. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307047. 이 MKS Granville Phillips 307, 330, 340 이온 게이지 컨트롤러 케이블은 MKS Granville Phillips 307, 330, 340 컨트롤러를 단일 누드 이온 게이지에 연결합니다. 이 케이블의 길이는 25피트입니다. 이온 게이지 컨트롤러, 이온 게이지 튜브 및 열전대 센서도 사용 가능하지만 별도로 판매됩니다.

MKS Granville Phillips MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 이중 대류 게이지 PCB 인쇄 회로 기판 카드 모듈. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307013 이것은 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 MKS Granville Phillips 이중 대류 게이지 PCB 인쇄 회로 기판 카드(모듈)입니다. 두 개의 MKS Granville-Phillips 시리즈 275 대류 게이지에서 동시에 1 x 10-4 ~ 990 Torr(N2 등가)의 압력 측정을 허용합니다. 2채널(A/B) 모듈을 사용하면 대류 압력에 따라 이온 게이지를 자동으로 켜고 끌 수 있습니다. 또한 표시된 각 압력에 대한 아날로그 출력도 제공합니다. 듀얼 Convectron 카드(모듈) 설치 절차는 사용 설명서의 17-26페이지를 참조하세요. 모듈의 사양, 사용 및 설정 절차는 사용 설명서 3장을 참조하세요. 이는 듀얼 Convectron 카드 모듈 전용이며, MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/8 수 NPT MKS Granville Phillips 부품 번호 275071 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 8 VCR 1/2인치 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275282 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 MKS Granville Phillips 475로 대체되며 포함되지 않음)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 1.33 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275256 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/4인치 암 4 VCR 피팅 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275185 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller는 사용할 수 없으며 MKS Granville Phillips 475로 교체되었습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 2.75인치 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275238 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 25 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275196 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 16 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275203 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 40 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275316 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 303, 307, 316, 333, 340, 350, 358 및 360 이중 대류 게이지 케이블, 10피트 길이. MKS 그랜빌 필립스 부품 번호: 303040-10. 이 이온 게이지 케이블은 MKS Granville Phillips 303, 307, 316, 333, 340, 350, 358 및 360 이온 게이지 컨트롤러를 2개의 MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 튜브에 연결합니다. 이 케이블은 길이가 10피트이며 MKS Granville Phillips 부품 번호 303040-10을 대체합니다. 이온 게이지 컨트롤러, 이온 게이지 튜브 및 대류 센서도 사용 가능하지만 별도로 판매됩니다.

MKS Granville Phillips 307 대류 및 정전 용량 다이어프램 게이지 케이블, 10피트 길이 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307027 이 MKS Granville Phillips 대류 및 정전 용량 다이어프램 게이지 케이블은 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러와 함께 작동합니다. 이는 MKS Granville Phillips 307 컨트롤러를 275 대류 게이지 1개와 정전용량 다이어프램 게이지 1개에 연결하는 이중 게이지 케이블입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러에는 올바른 대류 및 정전용량 다이어프램 카드가 설치되어 있어야 합니다(카드는 이 웹 사이트에서도 판매됨).

MKS Granville Phillips 307 이온 게이지 MKS Granville Phillips 307 듀얼 이온 게이지 컨트롤러용 RS-232 컴퓨터 인터페이스 보드. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307019 이것은 RS-232 컴퓨터 인터페이스 카드 모듈입니다. 307 진공 게이지 컨트롤러용 RS-232 인터페이스 모듈을 사용하면 호스트 컴퓨터로 데이터를 출력하고 호스트 컴퓨터를 통해 이온 게이지를 제어할 수 있습니다. 출력은 명령-응답 메커니즘이나 RS-232 보드의 스위치를 통해 호출되는 대화 전용 모드에 의해 이루어집니다. 다양한 전송 속도와 바이트 프레이밍 옵션을 사용할 수 있을 뿐만 아니라 핸드셰이크 라인을 "항상 참" 조건으로 강제 설정하는 스위치도 사용할 수 있습니다. 사용 지침은 .pdf 설명서의 6장을 참조하세요. RS-232 컴퓨터 인터페이스 카드 모듈만 해당되며 MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 공정 제어 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 6 세트 포인트 모듈 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307017 이것은 MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈로 307 진공 게이지 컨트롤러에 단극, 쌍투 릴레이를 제공합니다. (6개의 디지털 설정값) 또는 내장된 수동 오버라이드 스위치로 제어됩니다. 이 프로세스 제어 모듈에는 사용자가 선택할 수 있는 6개의 채널이 있습니다. 처음 2개 채널은 이온 게이지에 할당됩니다. 채널 3과 4가 있는 경우 CGA 또는 TCA에 할당됩니다. 5와 6은 CGB, TCB 또는 CMB입니다. 채널 1을 IG1, IG2 또는 둘 다에 할당하기 위한 스위치가 제공됩니다. 채널 2에도 마찬가지입니다. 6개 채널 모두 설정점 위 또는 아래에서 활성화하기 위해 극성을 선택할 수 있습니다. 공정 제어 카드(모듈) 설치 절차는 사용 설명서.pdf의 16~27페이지를 참조하세요. 사양 및 사용방법은 사용설명서 5장을 참조하세요. 이는 프로세스 제어 카드 모듈(6개 설정점 포함) 전용이며, MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 매뉴얼.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 PCB 2 세트 포인트 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307018 이것은 MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈이며 307 진공 게이지 컨트롤러에 단극 쌍투 릴레이를 제공합니다. (2개의 디지털 설정값) 또는 내장된 수동 오버라이드 스위치로 제어할 수 있습니다. 이 프로세스 제어 모듈에는 사용자가 선택할 수 있는 채널이 2개 있습니다. 이 2개 채널은 이온 게이지에 할당됩니다. 채널 1을 IG1, IG2 또는 둘 다에 할당하기 위한 스위치가 제공됩니다. 채널 2의 경우에도 마찬가지입니다. 두 채널 모두 설정점 위 또는 아래에서 활성화할 수 있는 극성을 선택할 수 있습니다. 공정 제어 카드(모듈) 설치 절차는 지침 매뉴얼.pdf의 16~27페이지를 참조하십시오. 사용을 위한 사양 및 절차는 사용설명서 5장을 참조하세요. 이것은 프로세스 제어 모듈(2 세트 포인트) 전용입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 열전대 및 이온 게이지용 MKS Granville Phillips 선형 아날로그 출력 모듈 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307100 이것은 MKS Granville Phillips 선형 아날로그 출력 모듈이며 3개의 0 ~ +10 Vdc 선형화 전압을 제공합니다. 307 진공 게이지 컨트롤러의 표시된 압력 판독값에 해당합니다. 이러한 출력의 소스는 디스플레이 모듈에 대한 컨트롤러 내부 버스의 디지털 데이터입니다. 따라서 아날로그 출력 분해능은 이 데이터에 따라 달라집니다. 이 모듈은 이온 게이지와 두 개의 열전대로 구성된 307 진공 게이지 컨트롤러에 사용하도록 고안되었습니다. IG 선형 출력의 압력 범위는 전면 패널 스위치로 선택됩니다. 4개의 별도 범위를 사용할 수 있습니다. 설치, 사양 및 사용 절차는 사용 설명서.pdf의 10장을 참조하세요. 이것은 선형 아날로그 출력 모듈 전용이며, MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 원격 입력 출력 모듈 MKS Granville Phillips 부품 번호: 307012 이것은 원격 입력 출력 모듈이며 이온 게이지(IG) 상태 출력, 원격 필라멘트 켜기/끄기, 가스 제거 켜기/끄기, 전면 패널 잠금 기능, 오류 또는 가스 제거 상태 표시 릴레이. 이 사용자 설치 모듈의 설치에 대해서는 아래의 307 진공 컨트롤러 사용 설명서.pdf의 19페이지를 참조하고 사용자 지침은 27-29페이지를 참조하십시오. 이것은 원격 입력 출력 모듈 전용입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러, 랙 마운트에 전원을 공급하는 데 이상적인 진공 상호 연결 케이블입니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 랙 마운트에 전원을 공급하는 상호 연결 케이블입니다. 이것은 인터커넥트 케이블/전원 케이블 전용이며, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 매뉴얼.pdf는 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. 이 웹사이트에서 제공되는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 기타 옵션 하드웨어 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 19인치 랙용 전원 공급 케이블 및 제어 장치 나란히 - PN: 307009 19인치용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 랙 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 나란히 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러, 랙 마운트 하드웨어, 하프랙 패널의 전원 공급 장치. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307114 이것은 하프 랙 패널에 전원 공급 장치를 장착하기 위한 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러, 하드웨어입니다. 이것은 전원 공급 장치만 장착하기 위한 패널 플레이트와 하드웨어입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 전원 공급 장치 케이블 및 제어 장치 19인치 랙용 병렬 - PN: 307009 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 병렬형 19인치 랙 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 하드웨어, 왼쪽 또는 오른쪽에 제어 장치 장착용, 19인치 랙. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307010 이것은 왼쪽 또는 오른쪽에 제어 장치를 장착하기 위한 MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 하드웨어, 19인치 랙입니다. 이것은 제어 장치만 장착하기 위한 왼쪽 또는 오른쪽 플레이트입니다. MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 전원 공급 장치 케이블 및 제어 장치 19인치 랙용 병렬 - PN: 307009 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 병렬형 19인치 랙 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러용 장착 플레이트 키트. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307009 이것은 상호 연결 케이블(MKS 및 Graville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러에 전원을 공급하는 케이블), 나란히 있는 플레이트 패널 및 장착용 하드웨어를 포함하는 MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 랙 장착 플레이트 키트입니다. 19인치 랙에 전원 공급 장치와 컨트롤러 장치를 나란히 배치합니다. 이것은 전원 공급 장치와 제어 장치를 나란히 장착하기 위한 전원 케이블, 병렬 플레이트 및 하드웨어입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹 사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 다운로드: 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 전원 공급 장치 케이블 및 제어 장치 측면 19인치 랙용 병렬 - PN: 307009 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 병렬 인치 랙 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 - 랙 마운트 하드웨어 - 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개용. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307008MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 - 랙 마운트 하드웨어 - 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개용입니다. 이것은 전원 공급 장치 1개 또는 2개만 장착할 수 있는 하드웨어입니다. MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 전원 공급 장치 케이블 및 제어 장치 19인치 랙용 병렬 - PN: 307009 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 병렬형 19인치 랙 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 하드웨어, 19인치 랙 중앙에 제어 장치 장착용. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307011 이것은 MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 하드웨어, 왼쪽 또는 오른쪽에 제어 장치 장착용, 19인치 랙입니다. 이것은 제어 장치만 장착하기 위한 왼쪽 또는 오른쪽 플레이트입니다. MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 전원 공급 장치 케이블 및 제어 장치 19인치 랙용 병렬 - PN: 307009 19인치 랙용 왼쪽 또는 오른쪽 제어 장치 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 병렬형 19인치 랙 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114

307 및 350 MKS Granville Phillips 진공 게이지 컨트롤러에 적합 - 랙 장착 하드웨어 - 19인치 랙에 2개의 제어 장치를 나란히 장착합니다. MKS Granville Phillips 부품 번호: 307021 이것은 19인치 랙에 2개의 제어 장치를 나란히 장착하기 위한 MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러 하드웨어입니다. 이것은 2개의 제어 장치만 장착하기 위한 패널 플레이트 및 하드웨어입니다. MKS Granville Phillips 307 또는 350 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹 사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 지침 매뉴얼.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다. : 기타 옵션 하드웨어: - 이 웹 사이트에서 사용할 수 있는 MKS Granville Phillips 307(VGC)용 사용자 설치 랙 마운트 하드웨어는 다음과 같습니다. 19인치 랙용 전원 공급 케이블 및 제어 장치 나란히 - PN: 307009 왼쪽 제어 장치 또는 19인치 랙용 오른쪽 - PN: 307010 19인치 랙 중앙의 제어 장치 - PN: 307011 19인치 랙용 제어 장치 2개 나란히 - PN: 307021 19인치 랙용 전원 공급 장치 1개 또는 2개 - PN: 307008 하프 랙 패널의 전원 공급 장치 - PN: 307114