예어 부품 번호:
Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 초고진공 반도체 크라이오펌프, LF ISO 250, 3상, 재구축, 6500l/s 물, 2200l/s 공기, 1800l/s 아르곤, 재구축. Edwards CTI 브룩스 부품 번호: 8116086G002. Edwards CTI-Cryogenics(현재 Edwards) Cryo-Torr OB250F, 3상, 크라이오펌프는 반도체 산업에서 사용하기 위한 향상된 성능과 좁은 공간 요구 사항을 위해 특별히 설계 및 제작되었습니다. 이 크라이오펌프에는 ISO 250 흡입 플랜지와 표준 KF-25 러핑 펌프 플랜지가 있습니다. 이는 다음의 정격 펌핑 속도로 10-8 Torr 초고진공(UHV)을 수행할 수 있습니다. 6500l/초 공기 ..................... 2200l/초 수소 ..... 3200l/초 아르곤 ...... 1800l/초 이 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 3상 펌프는 3상 전원에서만 작동합니다. 전력은 특수 CTI 3상 모터 컨트롤러를 통해 공급됩니다. CTI 3상 Cryo-Torr 250F 크라이오펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 배압 펌프를 진공 상태에 노출시키지 않으므로 크라이오펌프 자체에서 시스템 역류 또는 공정 오염 가능성이 제거됩니다.
상태: 재건축
부품 번호: P1010243
가격: ₩11,883,340.00