Bomba de vácuo seca primária de alto vácuo Edwards EPX 180LE ISO 63 Entrada 208 VAC 3PH. Ref. A41943012 A compacta bomba seca de alto vácuo EPX180LE sem Tool Interface Module (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX180LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-5 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX180 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O EPX 180LE é uma boa opção de substituição para o modelo EPX 180NE descontinuado, número de peça A41944012. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

Bomba de vácuo seca primária de alto vácuo Edwards EPX 180LE ISO 63 Entrada 400 VAC 3PH. PN A41943014 A compacta bomba seca de alto vácuo EPX180LE sem módulo de interface de ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX180LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-5 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX180 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

Bomba de vácuo seca primária de alto vácuo Edwards EPX 180LE ISO 63 Entrada 208 VAC 3PH. Ref. A41943712 A compacta bomba seca de alto vácuo EPX180LE COM Módulo de Interface de Ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX180LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-5 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX180 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

Bomba de vácuo seca primária de alto vácuo Edwards EPX 180LE ISO 63 Entrada 400 VAC 3PH. Ref. A41943714 A nova bomba seca de alto vácuo compacta EPX180LE COM Módulo de Interface de Ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX180LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-5 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX180 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O EPX 180LE é uma boa opção de substituição para o modelo descontinuado EPX 180NE, número de peça A41944712, também para o número de peça descontinuado A41944714. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

NOVA Edwards EPX 500LE Bomba de vácuo primária a seco de alto vácuo ISO 160 Entrada 208 VAC 3PH. PN A41943012 A nova bomba seca de alto vácuo EPX500LE compacta sem módulo de interface de ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX500LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-7 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX500 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

NOVA Edwards EPX 500LE Bomba de vácuo primária a seco de alto vácuo ISO 160 Entrada 208 VAC 3PH. Ref. A41953712 A nova bomba seca de alto vácuo compacta EPX500LE COM Módulo de Interface de Ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX500LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-7 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX500 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.

NOVA bomba de vácuo seca primária de alto vácuo Edwards EPX 500LE ISO 160 entrada 400 VAC 3PH. Ref. A41953714 A nova bomba seca de alto vácuo compacta EPX500LE COM Módulo de Interface de Ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX500LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-7 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX500 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado. O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente. A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.