Fonte de alimentação e leitura do controlador de medidor de vácuo de meio rack MKS 946, sem cartões, RS232 e RS485, 6 canais. Número da peça MKS: 946-US-NANANA-NA. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidores de vácuo de meio rack, que fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Esta é uma unidade bruta sem cartões. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Cabos de sinal e placas opcionais para o MKS 946 estão disponíveis neste site.

Controlador de fluxo de massa do cartão de controle MKS Série 946 e controladores de fluxo de massa duplos. Número da peça MKS: 20000712. O controlador de fluxo de massa do cartão de controle MKS é compatível com os controladores de fluxo de massa 946 e duplos. Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.

Controlador de fluxo de massa (MFC) MKS GM50A controlado digitalmente, intervalo de 0,4 a 20 sccm, D-subminiatura de 15 pinos, 4 VCR macho. Número de peça MKS: GM50A013201RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar N2 ou equivalente, tendo um intervalo de fluxo de escala completa de 20 sccm e um intervalo de controle de 0,4 a 20 sccm. Ele tem um conector analógico D-subminiatura de 15 pinos com aterramentos vinculados, um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC e um encaixe de entrada e saída macho Swagelok® 4 VCR®. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os recursos multi-range podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da web acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. O aplicativo E-diagnostics permite que um usuário monitore o desempenho do MFC em tempo real, bem como plote dados e selecione variáveis. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 1 a 50 sccm, conector de 15 pinos, 4 videocassetes macho. PN: GM50A013501RMM020. Número da peça MKS: GM50A013501RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR® macho. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 50 sccm e uma faixa de controle de 1 a 50 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis. Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok

Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 2 a 100 sccm, subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho. PN: GM50A013102RMM020. Número da peça MKS: GM50A013102RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR® macho. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 100 sccm e uma faixa de controle de 2 a 100 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis. Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok

Controlador de fluxo de massa (MFC) MKS GM50A controlado digitalmente, faixa de 4 a 200 sccm, subminiatura D de 15 pinos. Número da peça MKS: GM50A013202RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR® macho. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 200 sccm e uma faixa de controle de 4 a 200 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis. Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok

Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 10 a 500 sccm, subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho. Número da peça MKS: GM50A013502RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR®. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 500 sccm e uma faixa de controle de 10 a 500 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis. Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok

Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 20 a 1000 sccm, conector subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho. Número da peça MKS: GM50A013103RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR® macho. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 1.000 sccm e uma faixa de controle de 20 a 1.000 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis. Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta o controlador 946 a 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 10 pés (3 m) de comprimento. Número de peça MKS: 100016744. O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta controladores de fluxo de massa 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A a controladores 946 com 15 pinos tipo D High- subminiatura de densidade para conectores subminiatura padrão de 15 pinos. Este é o cabo APENAS. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidor de vácuo de meio rack, fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Os cabos de sinal para o MKS 946 estão disponíveis neste site.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta o controlador 946 a 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número de peça MKS: 100016745. O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta os controladores de fluxo de massa 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A a controladores 946 com 15 pinos tipo D High- subminiatura de densidade para conectores subminiatura padrão de 15 pinos. Este é o cabo APENAS. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidor de vácuo de meio rack, fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Os cabos de sinal para o MKS 946 estão disponíveis neste site.

Manômetro de capacitância e piezo da placa do sensor de vácuo MKS, para controladores das séries 937B e 946. Número de peça MKS: 100015267. A placa do sensor de vácuo MKS suporta manômetros de capacitância e sensores Piezo com os controladores de sistema de vácuo 937B e 946. Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado através dos controles do painel frontal ou remotamente através da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 e 937B fazem leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.

MKS 626D 0.1 Torr Baratron Manômetro de Capacitância Absoluta, Sensor de Medidor de Pressão a Vácuo, Conexão a Vácuo KF-16, PN 626D.1TDEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 0,1 Torr, uma conexão de flange de vácuo KF-16 e número de peça MKS 626D.1TDE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 0,1 Torr Baratron, sensor de manômetro a vácuo, conexão a vácuo UHV Conflat CF Flange de 1,33 polegadas, 626D.1TCEOs manômetros de capacitância absolutos não aquecidos MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho . Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 0,1 Torr, uma conexão de flange UHV de ultra-alto vácuo Conflat CF de 1,33 polegadas e tem número de peça MKS 626D.1TCE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 1 Torr Baratron, sensor de pressão a vácuo, conexão a vácuo KF-16, PN 626D01TDEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 1 Torr, uma conexão de flange de vácuo KF-16 e número de peça MKS 626D01TDE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 10 Torr Baratron, sensor de pressão a vácuo, conexão a vácuo KF-16, PN 626D11TDEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS tipo 626D com um conector de sinal subminiatura D de 15 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 10 Torr, uma conexão de flange de vácuo KF-16 e número de peça MKS 626D11TDE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 10 Torr Baratron, sensor de pressão a vácuo, VCR 8 fêmea, PN 626D11TBOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 10 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 e número de peça MKS 626D11TBE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

MKS 626D 20 Torr Baratron Manômetro de Capacitância Absoluta, Sensor de Medidor de Pressão a Vácuo, Vácuo Fitting VCR 8 Fêmea, PN: 626D21TBEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS tipo 626D com um conector de sinal subminiatura D de 15 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 20 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 e número de peça MKS 626D21TBE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

MKS 626D 100 Torr Baratron Manômetro de Capacitância Absoluta, Sensor de Medidor de Pressão a Vácuo, Conexão a Vácuo KF-16. Número da peça MKS: 626D12TDE. Os manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de pressão e vácuo analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 100 Torr, uma conexão de flange de vácuo KF-16 e número de peça MKS 626D12TDE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 100 Torr Baratron, sensor de pressão a vácuo, VCR 8 fêmea, PN 626D12TBEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 100 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 e número de peça MKS 626D12TBE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 1000 Torr Baratron, sensor de manômetro a vácuo, conexão a vácuo KF-16, PN 626D13TDE. Os manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de pressão e vácuo analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 1000 Torr, uma conexão de flange de vácuo KF-16 e número de peça MKS 626D13TDE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 1000 Torr Baratron, sensor de pressão a vácuo, VCR 8 fêmea, PN 626D13TBEOs manômetros de capacitância absoluta sem aquecimento MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 1000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 e número de peça MKS 626D13TBE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

Manômetro de capacitância absoluta MKS 626D 1000 Torr Baratron, sensor de manômetro a vácuo, conexão a vácuo UHV Flange CF de 1,33 polegadas, PN 626D13TCEOs manômetros de capacitância absolutos não aquecidos MKS 626D Baratron® são os mais recentes transdutores de vácuo e pressão analógicos, baseados em capacitância e de alto desempenho. Eles requerem tensão de entrada de ±15 VCC e fornecem um sinal de saída analógico de alto nível de 0-10 VCC que é linear com a pressão. Essa saída analógica pode ser conectada a um controlador de pressão MKS PDR2000, uma fonte de alimentação/instrumento de exibição MKS ou qualquer instrumento que atenda a esses requisitos. As mudanças na pressão/vácuo são determinadas pela medição da mudança na capacitância entre o diafragma do sensor e um disco de eletrodo adjacente. Essa mudança de capacitância é convertida em uma saída utilizável por circuitos eletrônicos de condicionamento de sinal patenteados. O diafragma Inconel® tensionado radialmente no sensor fornece uma resposta muito rápida (<20 ms em muitos casos), baixa histerese, excelente repetibilidade, resolução muito alta (até 0,001% da escala total), resistência à corrosão excepcionalmente alta e parede dupla construção soldada para segurança do operador. O próprio sensor pode suportar exposições repetidas a 45 psia (3,1 bar) sem degradação ou deslocamento permanente, permitindo que ele opere em praticamente qualquer sistema de processo. Os manômetros de capacitância MKS 626D Baratron operam em condições ambientais. Eles estão disponíveis em faixas de pressão/vácuo em escala real de 0,1 a 1000 Torr e são adequados para muitas aplicações industriais, eletrônicas e de pesquisa. Esta listagem é para manômetros de capacitância MKS Tipo 626D com um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo em escala completa de 1000 Torr, uma conexão de flange UHV de ultra-alto vácuo Conflat CF de 1,33 polegadas e tem número de peça MKS 626D13TCE. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital para repetibilidade de processo de última geração Inconel® e Incoloy® construção em liga de níquel do sensor básico opera sem danos em praticamente qualquer ambiente químico Alto limite de sobrepressão garante confiabilidade durante contratempos do sistema Especificado em porcentagem de leitura para melhor precisão e melhor rendimento do processo

MKS 627H 0,02 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,25% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627HU2TBE1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS Tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 0,02 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,25% de leitura, com calibração vertical, e tem número de peça MKS 627HU2TBE1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 0,05 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,15% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627HU5TBD1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS Tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 0,05 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,15% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS 627HU5TBD1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição do gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 0,1 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,15% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: : 627H.1TBD1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 0,1 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,15% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS: 627H.1TBD1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 1 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,12% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627H01TBC1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 1 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,12% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS 627H01TBC1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 10 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,12% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627H11TBC1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS Tipo 627H que é aquecido a 45 °C, possui um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 10 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,12% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS 627H11TBC1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 100 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão 0,12% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627H12TBC1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 100 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,12% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS 627H12TBC1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

MKS 627H 1.000 Torr Aquecido 45 °C, Manômetro de Capacitância Baratron Absoluto, Encaixe a Vácuo VCR 8 Fêmea, Precisão de 0,12% de Leitura, Calibração Vertical. Número da peça MKS PN: 627H13TBC1B. O manômetro de capacitância 627H Baratron® é aquecido a 45°C, com precisão de 0,12% da leitura e inclui eletrônica de controle de temperatura atualizada para fornecer estabilidade e repetibilidade superiores a longo prazo. Este manômetro de capacitância está disponível em faixas de escala completa de até 20 mTorr (0,03 mbar) para acomodar as pressões de processo mais baixas de hoje. Com base na tecnologia estabelecida de manômetro de capacitância Baratron, as superfícies molhadas do sensor são Inconel® para excelente resistência a gases corrosivos. O pacote contemporâneo de aço inoxidável oferece um produto compatível com salas limpas. O produto é intercambiável com manômetros de capacitância Baratron 627A, 627B, 627D e 627F anteriores e pode ser usado com fontes de alimentação MKS, unidades de exibição e controladores de pressão ou outros dispositivos de leitura/fonte de alimentação compatíveis. Esta listagem é para um manômetro de capacitância MKS tipo 627H que é aquecido a 45 °C, tem um conector de sinal D-subminiatura de 15 pinos com Thread Lock, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 1.000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 8 , uma precisão de 0,12% de leitura, com calibração vertical e número de peça MKS 627H13TBC1B. Controlador e cabos compatíveis: P102063 - Cabo de vácuo ideal para fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo Y de 15 pinos, equivalente a CB2000S-1-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Ideal Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo (DCM), fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Excelente estabilidade a longo prazo Percentual de precisão de leitura para sinal de saída mais preciso em faixas de pressão mais baixas Faixas de fundo de escala de até 20 mTorr (0,03 mbar) para medições precisas de processos de baixa pressão Superfícies molhadas totalmente resistentes à corrosão Inconel Tempo de aquecimento mais rápido Status visual e elétrico do circuito de controle de temperatura e aquecedor Compatível com manômetros de capacitância Baratron anteriores, módulos de fonte de alimentação/leitura MKS e controladores de pressão Mede a pressão total diretamente, independente de composição de gás Alta classificação de sobrepressão para maior confiabilidade Pacote de aço inoxidável compatível com sala limpa

Cabo de manômetro MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 626 ou 627, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100007555. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 626 ou 627. Possui conectores subminiatura tipo D de 9 pinos e conectores subminiatura tipo D de 15 pinos. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Cabo de manômetro MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 626 ou 627, 25 pés (7,5 m). Longo. Número da peça MKS: 100007556. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 626 ou 627. Possui conectores subminiatura tipo D de 9 pinos e conectores subminiatura tipo D de 15 pinos. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

MKS 722C Manômetro de Capacitância Absoluta Baratron de Uso Geral, Faixa de Pressão 1 Torr, VCR 4 Conexão a Vácuo, Conector Tipo D de 9 Pinos, PN 722C01TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rigorosos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de uso geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 1 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C01TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

MKS 722C Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral, faixa de pressão 10 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C11TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rigorosos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de uso geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 10 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C11TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral MKS 722C, faixa de pressão 100 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C12TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rígidos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de propósito geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor de leitura de pressão máxima de vácuo de escala completa de 100 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C12TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura de pressão digital Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação na repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável ao meio filtrante Substituição compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral MKS 722C, faixa de pressão 1.000 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C13TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rígidos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de uso geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 1.000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C13TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral MKS 722C, faixa de pressão 5.000 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C53TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rigorosos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de uso geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 5.000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C53TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral MKS 722C, faixa de pressão 10.000 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C14TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rigorosos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de uso geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 10.000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C14TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Manômetro de capacitância absoluta Baratron de uso geral MKS 722C, faixa de pressão 20.000 Torr, VCR 4 conexões a vácuo, conector tipo D de 9 pinos, PN 722C24TCD2FA. Os ambientes de processo de hoje exigem instrumentos de medição de pressão de pequeno porte que forneçam medições precisas, repetíveis e confiáveis a um custo menor. A MKS aplicou sua experiência em design de manômetro de capacitância e tecnologia de fabricação para o desenvolvimento do manômetro de capacitância absoluto Baratron® 722C de uso geral compacto. O design flexível do 722C o torna uma solução ideal para aplicações de atualização, bem como novos projetos de equipamentos. A construção robusta do sensor oferece altas tolerâncias de sobrepressão, reduzindo erros causados por picos ocasionais de pressão na linha. Todas as superfícies molhadas do sensor são feitas de Inconel® para garantir compatibilidade máxima com muitos gases de processo1. A tecnologia sofisticada e os rigorosos controles de processo garantem acabamentos limpos e suaves (=10 Ra) em todas as superfícies molhadas. O circuito de condicionamento de sinal é montado usando as técnicas mais recentes em tecnologia de montagem em superfície. Todos os transdutores têm garantia total de dois anos. Esta listagem é para manômetros de capacitância de propósito geral MKS Tipo 722C com um conector de sinal D-subminiatura de 9 pinos, um valor máximo de leitura de pressão de vácuo de escala completa de 20.000 Torr, uma conexão de flange de vácuo fêmea VCR 4 e número de peça MKS 722C24TCD2FA. Controlador e cabos compatíveis: P102061 - Fonte de alimentação MKS PDR 2000 e cabo de leitura digital Cabo de 9 pinos CB2000S-2-M1 P102062 - Fonte de alimentação digital MKS PDR 2000 e controlador de manômetro de capacitância de leitura digital P1010127 - Controlador de manômetro de capacitância dupla a vácuo ideal (DCM) , Fonte de alimentação e leitura digital de pressão Características do produto: Saída analógica proporcional de 0 a 10 VCC com conector D-sub de 9 pinos Medição direta da pressão total da câmara independente do tipo ou composição do gás Alta precisão em uma ampla faixa de temperatura operacional Limite de sobrepressão de 45 psia ou 2x Full Scale (o que for maior) garante que não haja degradação em repetibilidade ou desempenho zero Todas as superfícies molhadas do sensor são microacabadas para = 10 Ra, eliminando locais de inclusão para crescimento de corrosão O tamanho menor do manômetro ajuda a obter a redução geral do tamanho do sistema Resistente à corrosão - tudo- a construção totalmente soldada em metal expõe apenas o Inconel e o aço inoxidável à mídia. A substituição é compatível com os manômetros de capacitância 722 Baratron anteriores

Cabo de manômetro MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 722, DB9 macho a DB9 fêmea, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016951. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 aos manômetros de capacitância da série 722. Possui conectores subminiatura tipo D de 9 pinos. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Cabo de manômetro MKS conecta controladores 937B ou 946 a manômetros 722, DB9 macho a DB9 fêmea, 25 pés (7,5 m). Longo. Número da peça MKS: 100016952. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 aos manômetros da série 722, DB9 macho a DB9 fêmea. Possui conectores subminiatura tipo D de 9 pinos. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Placa de sensor de vácuo MKS Pirani de dupla convecção, para controladores das séries 937B e 946. Número de peça MKS: 100015132. A placa do sensor de vácuo MKS suporta sensores de convecção Pirani duplos e é usada com os controladores de sistema de vácuo 937B e 946. Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado através dos controles do painel frontal ou remotamente através da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 e 937B fazem leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.

Sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® série 317 KF16 NW16 (PN 103170010SH) (compatível com o controlador de medidor Pirani aprimorado por convecção MKS 947) O sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® 317 fornece medição de pressão confiável e estável a um custo muito baixo. Como os únicos materiais expostos ao vácuo são aço inoxidável, níquel, vidro e platina, o sensor é compatível com uma ampla gama de gases de processo e é especialmente adequado para aplicações UHV. O filamento de platina efetivamente elimina qualquer variação de leitura em toda a faixa de medição mais alta de um sensor de convecção. Mais preciso do que um sensor de termopar, o Sensor 317 mede em uma faixa de pressão mais ampla e responde mais rapidamente às mudanças de pressão do processo. O limite superior de medição de um sensor Pirani aprimorado por convecção é aumentado em relação ao de um sensor Pirani tradicional de 100 Torr para 1.000 Torr. Esse limite superior é útil ao monitorar o bombeamento de um sistema de vácuo da atmosfera para uma pressão de base. O sensor compensa quaisquer mudanças na temperatura ambiente variando de 10° a 50°C. Como todos os sensores de condutividade térmica, o sensor 317 é naturalmente sensível ao tipo de gás. Esse recurso o torna uma solução simples para localizar vazamentos médios a finos em sistemas de vácuo. Ele complementa um detector de vazamento de espectrômetro de massa, que é mais eficiente na localização de vazamentos menores. O sensor, que é protegido contra ruído de RF, atende aos requisitos da marca CE e pode ser aquecido a 100°C. Este sensor 317 inclui conexões de vácuo padrão, como este flange KF16 NW16. O cabo para este sensor não está incluído, mas está disponível em comprimentos padrão de 3 metros. O Sensor 317 pode ser usado com o Controlador de Medidor de Vácuo Pirani de Convecção Série 947, também vendido neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

Sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® série 317 KF25 NW25 (PN 103170027SH) (compatível com o controlador de medidor Pirani aprimorado por convecção MKS 947) O sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® 317 fornece medição de pressão confiável e estável a um custo muito baixo. Como os únicos materiais expostos ao vácuo são aço inoxidável, níquel, vidro e platina, o sensor é compatível com uma ampla gama de gases de processo e é especialmente adequado para aplicações UHV. O filamento de platina efetivamente elimina qualquer variação de leitura em toda a faixa de medição mais alta de um sensor de convecção. Mais preciso do que um sensor de termopar, o Sensor 317 mede em uma faixa de pressão mais ampla e responde mais rapidamente às mudanças de pressão do processo. O limite superior de medição de um sensor Pirani aprimorado por convecção é aumentado em relação ao de um sensor Pirani tradicional de 100 Torr para 1.000 Torr. Esse limite superior é útil ao monitorar o bombeamento de um sistema de vácuo da atmosfera para uma pressão de base. O sensor compensa quaisquer mudanças na temperatura ambiente variando de 10° a 50°C. Como todos os sensores de condutividade térmica, o sensor 317 é naturalmente sensível ao tipo de gás. Esse recurso o torna uma solução simples para localizar vazamentos médios a finos em sistemas de vácuo. Ele complementa um detector de vazamento de espectrômetro de massa, que é mais eficiente na localização de vazamentos menores. O sensor, que é protegido contra ruído de RF, atende aos requisitos da marca CE e pode ser aquecido a 100°C. Este sensor 317 inclui conexões de vácuo padrão, como este flange KF25 NW25. O cabo para este sensor não está incluído, mas está disponível em comprimentos padrão de 3 metros. O sensor 317 pode ser usado com o controlador de medidor de vácuo Pirani de convecção série 947, também vendido neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

MKS HPS® Série 317 O sensor de vácuo Pirani aprimorado por convecção apresenta um Torr de 0,001 a 1000, Conflat CF 1,33 pol. Número da peça MKS: 103170013SH. O sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® 317 fornece medição de pressão confiável e estável a um custo muito baixo, compatível com o controlador de medidor Pirani aprimorado por convecção MKS 947. Como os únicos materiais expostos ao vácuo são aço inoxidável, níquel, vidro e platina, o sensor é compatível com uma ampla gama de gases de processo e é especialmente adequado para aplicações UHV. O filamento de platina efetivamente elimina qualquer variação de leitura em toda a faixa de medição mais alta de um sensor de convecção. Mais preciso do que um sensor de termopar, o Sensor 317 mede em uma faixa de pressão mais ampla e responde mais rapidamente às mudanças de pressão do processo. O limite superior de medição de um sensor Pirani aprimorado por convecção é aumentado em relação ao de um sensor Pirani tradicional de 0,001 para 1.000 Torr. Esse limite superior é útil ao monitorar o bombeamento de um sistema de vácuo da atmosfera para uma pressão de base. O sensor compensa quaisquer mudanças na temperatura ambiente variando de 10° a 50°C. Como todos os sensores de condutividade térmica, o sensor 317 é naturalmente sensível ao tipo de gás. Esse recurso o torna uma solução simples para localizar vazamentos médios a finos em sistemas de vácuo. Ele complementa um detector de vazamento de espectrômetro de massa, que é mais eficiente na localização de vazamentos menores. O sensor, que é protegido contra ruído de RF, atende aos requisitos da marca CE e pode ser aquecido a 100°C. Este sensor 317 inclui conexões de vácuo padrão, como esta conexão de flange Mini-CF CF de 1,33 polegadas. O cabo para este sensor não está incluído, mas está disponível em comprimentos padrão de 3 metros. O sensor 317 pode ser usado com o controlador de medidor de vácuo Pirani de convecção série 947, também vendido neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

MKS HPS® Série 317 O sensor de vácuo Pirani aprimorado por convecção apresenta um Torr de 0,001 a 1000, Conflat CF 1,33 pol. Número da peça MKS: 103170013SH. O sensor Pirani aprimorado por convecção MKS HPS® 317 fornece medição de pressão confiável e estável a um custo muito baixo, compatível com o controlador de medidor Pirani aprimorado por convecção MKS 947. Como os únicos materiais expostos ao vácuo são aço inoxidável, níquel, vidro e platina, o sensor é compatível com uma ampla gama de gases de processo e é especialmente adequado para aplicações UHV. O filamento de platina efetivamente elimina qualquer variação de leitura em toda a faixa de medição mais alta de um sensor de convecção. Mais preciso do que um sensor de termopar, o Sensor 317 mede em uma faixa de pressão mais ampla e responde mais rapidamente às mudanças de pressão do processo. O limite superior de medição de um sensor Pirani aprimorado por convecção é aumentado em relação ao de um sensor Pirani tradicional de 0,001 para 1.000 Torr. Esse limite superior é útil ao monitorar o bombeamento de um sistema de vácuo da atmosfera para uma pressão de base. O sensor compensa quaisquer mudanças na temperatura ambiente variando de 10° a 50°C. Como todos os sensores de condutividade térmica, o sensor 317 é naturalmente sensível ao tipo de gás. Esse recurso o torna uma solução simples para localizar vazamentos médios a finos em sistemas de vácuo. Ele complementa um detector de vazamento de espectrômetro de massa, que é mais eficiente na localização de vazamentos menores. O sensor, que é protegido contra ruído de RF, atende aos requisitos da marca CE e pode ser aquecido a 100°C. Este sensor 317 inclui conexões de vácuo padrão, como esta conexão de flange Mini-CF CF de 1,33 polegadas. O cabo para este sensor não está incluído, mas está disponível em comprimentos padrão de 3 metros. O sensor 317 pode ser usado com o controlador de medidor de vácuo Pirani de convecção série 947, também vendido neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

Cabo de medidor de vácuo MKS para conexão de 345 ou 317 a controladores 945, 947, 937B ou 946, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 103170007SH. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta os sensores do medidor de vácuo 345 ou 317 aos controladores 945, 947, 937B ou 946. Ele se conecta à parte traseira dos controladores MKS e ao lado do sensor MKS 345 ou 317 Pirani. Este é o cabo APENAS. O controlador Pirani aprimorado por convecção Série 947 oferece muitos recursos padrão e é fácil de usar. Um sinal de saída analógica proporcional à pressão é padrão e é acessível pela parte traseira do controlador, onde este cabo é conectado. Os processos são controlados com dois pontos de ajuste de relé independentes que são padrão neste controlador de canal único. Os relés podem ser configurados para disparar em qualquer lugar dentro da faixa de ponto de ajuste do controlador. Todos os controles operacionais são convenientemente acessíveis a partir do painel frontal do controlador, incluindo o botão liga/desliga. Ajuste os pontos de ajuste no painel frontal enquanto visualiza o visor grande e de fácil leitura. A ativação do ponto de ajuste é mostrada com indicadores LED vermelhos. Os pontos de ajuste podem ser verificados a qualquer momento sem interromper o controle do processo.

Cabo de medidor de vácuo MKS para conexão 345 ou 317 a controladores 937B e 946, 10 Ft. (3m) Longo. Número da peça MKS: 103170006SH. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta os sensores do medidor de vácuo 345 ou 317 aos controladores 945, 947, 937B e 946. Ele se conecta à parte traseira dos controladores MKS e ao lado do sensor MKS 345 ou 317 Pirani. Este é o cabo APENAS. O controlador Pirani aprimorado por convecção Série 947 oferece muitos recursos padrão e é fácil de usar. Um sinal de saída analógica proporcional à pressão é padrão e é acessível pela parte traseira do controlador, onde este cabo é conectado. Os processos são controlados com dois pontos de ajuste de relé independentes que são padrão neste controlador de canal único. Os relés podem ser configurados para disparar em qualquer lugar dentro da faixa de ponto de ajuste do controlador. Todos os controles operacionais são convenientemente acessíveis a partir do painel frontal do controlador, incluindo o botão liga/desliga. Ajuste os pontos de ajuste no painel frontal enquanto visualiza o visor grande e de fácil leitura. A ativação do ponto de ajuste é mostrada com indicadores LED vermelhos. Os pontos de ajuste podem ser verificados a qualquer momento sem interromper o controle do processo.

MKS Granville Phillips 275 Sensor de medição de pressão a vácuo, 1/8 macho NPT MKS Granville Phillips Número da peça 275071 O sensor de tubo de medição de pressão convectron 275 MKS Granville Phillips é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O Controlador Convectron MKS Granville Phillips 375 mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

MKS Granville Phillips 275 Sensor de medição de pressão a vácuo de medidor de convectron, 1/4 de polegada Fêmea 4 encaixe de VCR MKS Granville Phillips Número da peça: 275185 O sensor de tubo de medição de pressão de convectron MKS Granville Phillips 275 é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador de convectron MKS Granville Phillips 375 mostrado nas fotografias não está disponível e foi substituído pelo MKS Granville Phillips 475).

MKS Granville Phillips 275 Sensor de medição de pressão a vácuo de medidor de convectron, Conflat 2,75 polegadas MKS Granville Phillips Número da peça: 275238 O sensor de tubo de medição de pressão de convectron MKS Granville Phillips 275 MKS Granville Phillips é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador MKS Granville Phillips 375 Convectron mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

Sensor de medição de pressão a vácuo MKS Granville Phillips 275, Conflat 8 VCR Flange de 1/2 polegada MKS Granville Phillips Número da peça: 275282 O sensor de tubo de medição de pressão convectron MKS Granville Phillips 275 é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O Controlador Convectron MKS Granville Phillips 375 é substituído pelo MKS Granville Phillips 475, não incluído).

Sensor de medição de pressão a vácuo MKS Granville Phillips 275, flange Conflat 1.33 MKS Granville Phillips Número da peça: 275256 O sensor de tubo de medição de pressão convectron MKS Granville Phillips 275 é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador MKS Granville Phillips 375 Convectron mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

Sensor de medição de pressão a vácuo MKS Granville Phillips 275, flange NW KF 16 MKS Granville Phillips Número da peça: 275203 O sensor de tubo de medição de pressão convectron MKS Granville Phillips 275 é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador MKS Granville Phillips 375 Convectron mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

Sensor de medição de pressão a vácuo MKS Granville Phillips 275, flange NW KF 25 MKS Granville Phillips Número da peça: 275196 O sensor de tubo de medição de pressão convectron 275 MKS Granville Phillips é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador MKS Granville Phillips 375 Convectron mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

Sensor de medição de pressão a vácuo MKS Granville Phillips 275, flange NW KF 40 MKS Granville Phillips Número da peça: 275316 O sensor de tubo de medição de pressão convectron MKS Granville Phillips 275 é o medidor Pirani aprimorado por convecção padrão da indústria. O MKS Granville Phillips 275 mede a pressão de vácuo da atmosfera até 1x10-4 Torr e é ideal para medição de pressão de desbaste e foreline. Ele fornece medição de resposta rápida e confiável, em milissegundos, em vez de segundos, como no caso de medidores do tipo termopar. A alta precisão do sensor de medidor de vácuo MKS Granville Phillips 275 Convectron e a repetibilidade ajudam a garantir que os processos comecem na pressão desejada vez após vez. No entanto, eles são sensíveis à composição química dos gases medidos e são chamados de método de medição de pressão relativa, ou seja, determinam a pressão indiretamente a partir da propriedade de condutividade térmica do meio gasoso. (O controlador MKS Granville Phillips 375 Convectron mostrado nas fotos está disponível, mas não está incluído no preço de tabela).

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta os controladores 937B aos medidores de vácuo GP275, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016980. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta os controladores 937B aos medidores de vácuo GP275. Ele se conecta à parte traseira dos controladores MKS e ao lado dos medidores de vácuo GP275. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta os controladores 937B aos medidores de vácuo GP275, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016981. O cabo de sinal do medidor de vácuo MKS conecta os controladores 937B aos medidores de vácuo GP275. Ele se conecta à parte traseira dos controladores MKS e ao lado dos medidores de vácuo GP275. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Cartão de sensor de vácuo MKS cátodo frio, para controladores das séries 937B e 946. Número de peça MKS: 100018446. O cátodo frio da placa do sensor de vácuo MKS é usado com os controladores de sistema de vácuo 937B e 946. Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado através dos controles do painel frontal ou remotamente através da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 e 937B fazem leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.

Medidor de vácuo de cátodo frio com sensor MKS HPS® 423 I-Mag® KF25, NW25, compatível com o controlador de vácuo de cátodo frio MKS 943. Número de peça MKS: 104230004 Usando um design de magnetron invertido, o sensor 423 I-Mag® pode operar em pressões muito mais baixas do que um sensor de cátodo frio Penning tradicional, tão baixo quanto 10-11 Torr com o controlador adequado. Essa faixa de pressão aumentada torna o sensor HPS® Cold Cathode ideal para uso em UHV. Um recurso de design exclusivo do sensor HPS® Cold Cathode é uma segunda passagem para coleta de íons. Em um projeto de passagem simples comum, qualquer vazamento de corrente entre o ânodo e o solo resultaria em erros de medição de pressão. Somente a corrente de íons do cátodo contribui para uma leitura de medição em um design de passagem dupla, tornando-o ideal para monitoramento de processo. Sem filamento para queimar, o sensor 423 I-Mag® não é danificado por entradas repentinas de ar e é resistente a danos causados por vibração. Além disso, não há necessidade de ajustar a corrente de emissão ou desgaseificar o medidor, reduzindo o tempo de resposta às mudanças de pressão. Se o cozimento for necessário, os ímãs e os conectores do sensor podem ser removidos e o sensor pode ser aquecido a 400°C. Este é APENAS um sensor de cátodo frio, o cabo de sinal MKS e o controlador MKS 943 para esta unidade são vendidos separadamente neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

MKS HPS 423 I-Mag Sensor Cold Cathode Vácuo Gauge Conflat 2.75 Inlet. Número de peça MKS: 104230002. (Compatível com o controlador de vácuo de cátodo frio MKS 943) Usando um projeto de magnetron invertido, o sensor 423 I-Mag pode operar em pressões muito mais baixas do que um sensor de cátodo frio Penning tradicional, tão baixo quanto 10-11 Torr com o controlador adequado. Essa faixa de pressão aumentada torna o sensor HPS Cold Cathode ideal para uso em UHV. Um recurso de design exclusivo do sensor HPS Cold Cathode é uma segunda passagem para coleta de íons. Em um projeto de passagem simples comum, qualquer vazamento de corrente entre o ânodo e o solo resultaria em erros de medição de pressão. Somente a corrente de íons do cátodo contribui para uma leitura de medição em um design de passagem dupla, tornando-o ideal para monitoramento de processo. Sem filamento para queimar, o sensor 423 I-Mag não é danificado por entradas repentinas de ar e é resistente a danos causados por vibração. Além disso, não há necessidade de ajustar a corrente de emissão ou desgaseificar o medidor, reduzindo o tempo de resposta às mudanças de pressão. Se o cozimento for necessário, os ímãs e os conectores do sensor podem ser removidos e o sensor pode ser aquecido a 400°C. Este é um novo sensor de cátodo frio APENAS o cabo de sinal MKS e o controlador MKS 943 para esta unidade são vendidos separadamente neste site. Um folheto de especificações completo e um manual de operações estão disponíveis para download em formato PDF abaixo.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta o controlador 946 ao sensor de cátodo frio 423 I-Mag®, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016295. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 946 ao sensor 423 I-Mag® Cold Cathode. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta o controlador 946 ao sensor de cátodo frio 423 I-Mag, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016296. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 946 ao sensor de cátodo frio I-Mag 423. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

MKS 431 Sensor de vácuo de cátodo frio, 1x10-11 a 1x10-2 Torr, CF-2,75 pol. Encaixe de flange. Número da peça MKS: 104310002. O sensor de vácuo de cátodo frio MKS 431 apresenta uma faixa de medição de vácuo de 1x10-11 a 1x10-2 Torr, alta temperatura operacional e um encaixe de flange CF de 2,75 polegadas. Baseia-se na probabilidade de ionização do gás, sendo a ionização resultante de uma descarga de elétrons de alta tensão. Esses sensores de vácuo de pressão de cátodo frio são baseados em um design de magnetron invertido, para uma faixa de medição aumentada. A passagem dupla para coleta de íons é um recurso exclusivo, tornando a leitura de pressão mais precisa do que outros sensores de vácuo e pressão de cátodo frio. Os cabos de sinal para este sensor de vácuo de cátodo frio estão disponíveis neste site.

Cabo de manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 ao sensor de cátodo frio 431 I-Mag®, 3 m (10 pés) de comprimento. Número da peça MKS: 100016217. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 ao sensor de cátodo frio 431 I-Mag®. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 ao sensor de cátodo frio 431 I-Mag®, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100016218. O cabo do manômetro MKS conecta os controladores 937B ou 946 ao sensor de cátodo frio 431 I-Mag®. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Cátodo quente do cartão do sensor de vácuo MKS, para controladores das séries 937B e 946. Número da peça MKS: 100015641. O cátodo frio do cartão do sensor de vácuo MKS é usado com os controladores de sistema de vácuo 937B e 946. Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 e 937B leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.

Tubo nu para sensor de vácuo de cátodo quente MKS, filamento de irídio para 1x10-2 a 1x10-11 Torr, CF-2,75 em encaixe de flange. Número de peça MKS: 100006842. O sensor de vácuo de tubo nu MKS apresenta um filamento de irídio revestido de ítria para uma faixa de medição de vácuo Torr de 1x10-2 a 1x10-11 e um encaixe de flange CF de 2,75 pol. Este sensor de vácuo de ionização estilo Bayard-Alpert, que usa um coletor de fio fino localizado no centro de uma grade. Por causa de sua pequena área, poucos raios X atingem o coletor, e um vacuômetro pode medir pressões em níveis muito baixos. Como a parte de detecção do tubo está localizada dentro do sistema de vácuo e experimenta a pressão real do sistema, os tubos nus fornecem uma medição de pressão representativa e respondem mais rapidamente do que um sensor de envelope de vidro às mudanças de pressão. Os cabos de sinal para este sensor de vácuo de cátodo frio estão disponíveis neste site.

Tubo nu para sensor de vácuo de cátodo quente MKS, filamento de tungstênio para 1x10-2 a 1x10-11 Torr, CF-2,75 em encaixe de flange. Número da peça MKS: 100005980. O sensor de vácuo de tubo nu MKS apresenta um filamento de tungstênio para uma faixa de medição de vácuo Torr de 1x10-2 a 1x10-11 e um encaixe de flange CF de 2,75 pol. Este sensor de vácuo de ionização estilo Bayard-Alpert, que usa um coletor de fio fino localizado no centro de uma grade. Por causa de sua pequena área, poucos raios X atingem o coletor, e um vacuômetro pode medir pressões em níveis muito baixos. Como a parte de detecção do tubo está localizada dentro do sistema de vácuo e experimenta a pressão real do sistema, os tubos nus fornecem uma medição de pressão representativa e respondem mais rapidamente do que um sensor de envelope de vidro às mudanças de pressão. Os cabos de sinal para este sensor de vácuo de cátodo frio estão disponíveis neste site.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta 937B ou 946 ao cátodo quente Nude de baixa potência, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100010909. O cabo do manômetro MKS conecta 937B ou 946 ao Hot Cathode Low Power Nude. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

O cabo do medidor de vácuo MKS conecta 937B ou 946 ao cátodo quente Nude de baixa potência, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100010910. O cabo do manômetro MKS conecta 937B ou 946 ao Hot Cathode Low Power Nude. Este é o cabo APENAS. O controlador de medidor de vácuo de combinação digital série 937B opera até seis sensores de pressão de vácuo simultaneamente. Este controlador de medidor de vácuo altamente flexível suporta uma ampla gama de tecnologias de sensores, incluindo cátodo frio, cátodo quente, Pirani padrão, Pirani de convecção, manômetros de capacitância Baratron® e sensores Piezo absolutos para uma faixa de medição de vácuo ultra-alto a pressão atmosférica acima. O visor LCD retroiluminado, os menus intuitivos e o painel frontal com botão simples facilitam a configuração do 937B. O 937B permite o uso de qualquer placa de sensor em cada um dos slots de placa de sensor. O 937B pode ser configurado com até três medidores do tipo catodo quente ou frio, ou três placas de sensor duplo para um máximo de seis conexões de medidor.

Válvula borboleta de escape MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (Viton O-ring na flapper), motor de baixa potência (8 in-lbs), 105 ° C, RS232, com fonte de alimentação do sensor +/- 15VDC (para Baratron ). Número da peça MKS: T2BA01K320003V210025. A válvula aceleradora de escape MKS T2BA foi projetada especificamente para aplicações onde um sistema de controle de pressão simples, porém avançado, é desejado. O T2BA integra todos os circuitos de controle, comunicação e acionamento dentro de um conjunto de válvula borboleta, eliminando assim a necessidade de montar um módulo eletrônico de controle de pressão separado. O algoritmo de controle exclusivo baseado em modelo e a operação em alta velocidade levam o sistema ao ponto de ajuste rapidamente com ultrapassagem mínima e garantem receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador. Características do produto:Sistema compacto de controle de pressão - válvula com controlador eletrônico integrado - Fácil integração, sem necessidade de cabos adicionais ou espaço em rack Configurações de alta velocidade disponíveis (<250 mseg. de abertura para fechamento) - Ponto de ajuste e recuperação do fluxo mais rápidos e perturbações de pressão - Permite alto rendimento da ferramenta Acionamentos de alto torque selecionáveis - Prolonga o tempo de atividade em condições severas de processo Entrada de sensor Baratron® de canal duplo com comutação automática de faixa - Suporta ampla faixa de controle de pressão dinâmica - Permite alta precisão de controle de pressão Algoritmo avançado de controle de pressão baseado em modelo - Minimiza o tempo até o ponto de ajuste - Garante receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador Disponível em versões de vedação suave de baixa condutância - Suporta processos de alta pressão mesmo em vazões baixas (Epi, RTP, SACVD e mais) - Adequado para "exaustão doméstica" ou atmosférica aplicações Fornece energia para manômetros de capacitância Baratron conectados (opcional, alguns modelos) A válvula aceleradora de escape T2BA pode operar em dois modos principais: posicionamento da chapeleta ou controle de pressão, qualquer um dos quais pode ser ativado pelo usuário através da interface de E/S. Todos os parâmetros de configuração ajustáveis, operação em tempo de execução e informações de diagnóstico estão disponíveis através da interface de comunicações. EtherCAT T2BA é totalmente compatível com manômetros EtherCAT. Os manômetros analógicos requerem um gateway. A técnica de controle de pressão a jusante oferece ampla faixa dinâmica, funciona com todos os tipos de bombas, fornece resposta rápida e é tolerante à maioria dos gases efluentes. O conceito de “instrumento inteligente” resulta em valiosa economia de espaço no sistema, maior imunidade a ruídos e fácil acesso a informações de processo e calibração urgentes, bem como funções de diagnóstico integradas. O T2BA utiliza um motor de passo de alta velocidade com acionamento direto. O acionador da válvula fornece controle de pressão de alta resolução. O motor de acionamento direto opcional de alto torque proporciona maior tempo de atividade e amplia os ciclos de manutenção preventiva — uma grande vantagem em processos exigentes onde apenas uma hora de inatividade pode custar milhares de dólares. A T2BA também está disponível em versões com engrenagens, proporcionando torque máximo e permitindo operação de longo prazo em ambientes severos. As válvulas T2BA podem ser aquecidas opcionalmente até 200°C com aquecedores externos MKS disponíveis (é necessária a seleção adequada de materiais de vedação). O T2BA está disponível em versões exclusivas de baixa condutância MKS, permitindo controle de pressão de alta velocidade em aplicações atmosféricas, incluindo controle de pressão de exaustão, CVD e RTP, sem a necessidade de depender de projetos baseados em O-Ring para minimizar a condutância da válvula. Um sistema de feedback de posição baseado em encoder é fornecido para fins de diagnóstico. A válvula é construída em aço inoxidável 316 resistente à corrosão, compatível com a maioria dos gases de processo e está disponível em estilos de flange ISO padrão com diâmetros de 1" a 4" (tamanhos alternativos disponíveis sob medida). As vedações padrão oferecidas são Viton®; materiais alternativos podem ser especificados para compatibilidade com vários processos químicos e/ou aplicações aquecidas.

Válvula borboleta de escape MKS T2BA, ISO100, sem vedação (sem O-ring; folga radial de 0,003"), motor de baixa potência (8 in-lbs), 105°C, Viton (vedação do corpo), RS232, com +/- Fonte de alimentação do sensor de 15 VCC (para Baratron). Número de peça MKS: T2BA04N220303V210025. A válvula aceleradora de escape MKS T2BA foi projetada especificamente para aplicações onde um sistema de controle de pressão simples, porém avançado, é desejado. O T2BA integra todos os circuitos de controle, comunicação e driver dentro de um conjunto de válvula borboleta, eliminando assim a necessidade de montar um módulo eletrônico de controle de pressão separado. O algoritmo de controle exclusivo baseado em modelo e a operação em alta velocidade levam o sistema ao ponto de ajuste rapidamente com ultrapassagem mínima e garantem receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador Características do produto: Sistema compacto de controle de pressão - válvula com controlador eletrônico integrado - Fácil integração, sem necessidade de cabos adicionais ou espaço em rack Configurações de alta velocidade disponíveis (<250 mseg. de abertura para fechamento) - Ponto de ajuste e recuperação mais rápidos de perturbações de fluxo e pressão - Permite alto rendimento da ferramenta Acionamentos de alto torque selecionáveis - Prolonga o tempo de atividade em condições severas de processo Entrada de sensor Baratron® de canal duplo com comutação automática de faixa - Suporta ampla faixa de controle de pressão dinâmica - Permite alta precisão de controle de pressão Controle de pressão avançado baseado em modelo algoritmo - Minimiza o tempo até o ponto de ajuste - Garante receitas de processo repetíveis sem envolvimento do operador Disponível em versões de vedação suave de baixa condutância - Suporta processos de alta pressão mesmo em fluxos baixos (Epi, RTP, SACVD e mais) - Adequado para "exaustão doméstica" ou aplicações atmosféricas Fornece energia para manômetros de capacitância Baratron conectados (opcional, alguns modelos) A válvula aceleradora de escape T2BA pode operar em dois modos principais: posicionamento de flapper ou controle de pressão, qualquer um dos quais pode ser ativado pelo usuário através da interface de E/S. Todos os parâmetros de configuração ajustáveis, operação em tempo de execução e informações de diagnóstico estão disponíveis através da interface de comunicações. EtherCAT T2BA é totalmente compatível com manômetros EtherCAT. Os manômetros analógicos requerem um gateway. A técnica de controle de pressão a jusante oferece ampla faixa dinâmica, funciona com todos os tipos de bombas, fornece resposta rápida e é tolerante à maioria dos gases efluentes. O conceito de “instrumento inteligente” resulta em valiosa economia de espaço no sistema, maior imunidade a ruídos e fácil acesso a informações de processo e calibração urgentes, bem como funções de diagnóstico integradas. O T2BA utiliza um motor de passo de alta velocidade com acionamento direto. O acionador da válvula fornece controle de pressão de alta resolução. O motor de acionamento direto opcional de alto torque proporciona maior tempo de atividade e amplia os ciclos de manutenção preventiva — uma grande vantagem em processos exigentes onde apenas uma hora de inatividade pode custar milhares de dólares. A T2BA também está disponível em versões com engrenagens, proporcionando torque máximo e permitindo operação de longo prazo em ambientes severos. As válvulas T2BA podem ser aquecidas opcionalmente até 200°C com aquecedores externos MKS disponíveis (é necessária a seleção adequada de materiais de vedação). O T2BA está disponível em versões exclusivas de baixa condutância MKS, permitindo controle de pressão de alta velocidade em aplicações atmosféricas, incluindo controle de pressão de exaustão, CVD e RTP, sem a necessidade de depender de projetos baseados em O-Ring para minimizar a condutância da válvula. Um sistema de feedback de posição baseado em encoder é fornecido para fins de diagnóstico. A válvula é construída em aço inoxidável 316 resistente à corrosão, compatível com a maioria dos gases de processo e está disponível em estilos de flange ISO padrão com diâmetros de 1" a 4" (tamanhos alternativos disponíveis sob medida). As vedações padrão oferecidas são Viton®; materiais alternativos podem ser especificados para compatibilidade com vários processos químicos e/ou aplicações aquecidas.

Válvula de controle de fluxo de uso geral MKS 248D, 2.000 sccm, conexão de tubo Swagelok de 1/4 pol., vedações Viton. Número da peça MKS: 0248D-02000SV Quando fornecida com uma corrente de controle, esta válvula solenoide modificada de uso geral modulará o fluxo de gás. Quando usada com um controlador MKS e um sensor de fluxo apropriado, a válvula 248D modula o fluxo de gás enquanto mantém pressão ou fluxo exato e preciso. As aplicações incluem controle de fluxo, controle de pressão a montante ou a jusante. Esta válvula modelo 0248D-02000SV apresenta 2.000 centímetros cúbicos padrão por minuto (sccm) de escala completa de nitrogênio, conexões de tubo Swagelok® de 1/4 pol. e vedações Viton. Através da válvula fechada, a condutância de vazamento é <1x10-5 scc/seg He.Swagelok-TM Swagelok Company

Válvula de controle de fluxo de uso geral MKS 248D, 5000 sccm, conexão de tubo Swagelok de 1/4 pol., vedações Viton. Número da peça MKS: 0248D-05000RV. Quando fornecida com uma corrente de controle, esta válvula solenoide modificada de uso geral modulará o fluxo de gás. Quando usada com um controlador MKS e um sensor de fluxo apropriado, a válvula 248D modula o fluxo de gás enquanto mantém pressão ou fluxo exato e preciso. As aplicações incluem controle de fluxo, controle de pressão a montante ou a jusante. Esta válvula modelo 0248D-05000RV apresenta uma faixa de escala total de Nitrogênio de 5.000 centímetros cúbicos padrão por minuto (sccm), conexões de tubo Swagelok® de 1/4 pol. e vedações Viton. Através da válvula fechada, a condutância de vazamento é <1x10-5 scc/seg He.Swagelok-TM Swagelok Company

Válvula de controle de fluxo de uso geral MKS 248D, 10000 sccm, conexão de tubo Swagelok de 1/4 pol., vedações Viton. Número da peça MKS: 0248D-10000SV. Quando fornecida com uma corrente de controle, esta válvula solenoide modificada de uso geral modulará o fluxo de gás. Quando usada com um controlador MKS e um sensor de fluxo apropriado, a válvula 248D modula o fluxo de gás enquanto mantém pressão ou fluxo exato e preciso. As aplicações incluem controle de fluxo, controle de pressão a montante ou a jusante. Esta válvula modelo 0248D-10000SV apresenta uma faixa de escala completa de nitrogênio de 10.000 centímetros cúbicos padrão por minuto (sccm), conexões de tubo Swagelok® de 1/4 pol. e vedações Viton. Através da válvula fechada, a condutância de vazamento é <1x10-5 scc/seg He.Swagelok-TM Swagelok Company

O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta o controlador 946 às válvulas de controle de fluxo 248D, 10 pés (3 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100018192. O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta o controlador 946 às válvulas de controle de fluxo 248D. Este é o cabo APENAS. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidores de vácuo de meio rack, que fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Os cabos de sinal para o MKS 946 estão disponíveis neste site.

O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta o controlador 946 às válvulas de controle de fluxo 248D, 25 pés (7,5 m) de comprimento. Número da peça MKS: 100018192-25. O cabo do controlador de fluxo de massa MKS conecta o controlador 946 às válvulas de controle de fluxo 248D. Este é o cabo APENAS. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidores de vácuo de meio rack, que fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Os cabos de sinal para o MKS 946 estão disponíveis neste site.

Kit de montagem em meio rack MKS para controladores de medidores de vácuo série 937B e 946. Número da peça MKS: RM-13. O kit de montagem de meio rack MKS é compatível com os controladores de medidores de vácuo série 937B e 946. Este é o hardware APENAS. O MKS 946 é um sistema versátil de medição e controle de medidores de vácuo de meio rack, que fornece alimentação e leitura simultânea para até seis medidores de vácuo diferentes e/ou controladores de fluxo de massa, com opções para controlar a pressão. Fontes de alimentação/leitores são projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. O 946 Vacuum System Controller é uma leitura única de seis canais/sequencialmente selecionável. Compatível com controladores de fluxo de massa e leituras de fluxo de massa. Os cabos de sinal para o MKS 946 estão disponíveis neste site.