Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 20 a 1000 sccm, conector subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho.
Número da peça MKS: GM50A013103RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A pode ser configurado para controlar uma ampla gama de gases de fonte de entrega segura (SDS). As conexões de entrada e saída são Swagelok® 4 VCR® macho. Ele tem uma faixa de fluxo em escala completa de 1.000 sccm e uma faixa de controle de 20 a 1.000 sccm, um conector subminiatura D de 15 pinos com aterramentos vinculados e um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração.
Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis.
Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok