MKS Instruments MFC, AR, 6 SCCM, 9 PINOS ANALÓGICOS, NC VITON, LCEA11CS1AV20, Controladores de fluxo de massa selados de metal e elastômero, Controladores de fluxo de massa selados de metal e elastômero,  PN  GE50A004600SAV020

Esses MKS Instruments MFC, AR, 6 SCCM, 9 PINOS ANALÓGICOS, NC VITON, LCEA11CS1AV20  tem número de peça GE50A004600SAV020, são novos e vêm com completo MKS Instruments garantia. O controlador de fluxo de massa controlado digitalmente GE50A está disponível com RS485, Profibus, EtherCAT ou DeviceNet I/O. A eletrônica de controle digital utilizou os mais recentes algoritmos de controle MKS para resposta rápida e repetível ao ponto de ajuste em toda a faixa de controle do dispositivo. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1 de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração. Os protocolos de E/S são projetados para permitir que o GE50A substitua facilmente as versões RS485 e DeviceNet do 1179A MFC da MKS com codificação menor. Uma área padrão de 3 polegadas permite seu uso sem modificar as configurações existentes da linha de gás. O GE50A incorpora apenas uma vedação externa de elastômero e um obturador de válvula de elastômero. Todas as superfícies molhadas são metálicas. O GE50A vem de fábrica com vedações Viton ou Buna, Neoprene ou Kalrez opcionais para suportar diferentes requisitos de gás.

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