MKS Instruments MFM, O2, 10 SCCM, 9 PINOS ANALÓGICOS (TERRENOS AMARRADOS), MFM, LCMA11CR3L320, Controladores de fluxo de massa selados de metal e elastômero, Controladores de fluxo de massa selados de metal e elastômero, PN GM50A015101RL3020
Esses MKS Instruments MFM, O2, 10 SCCM, 9 PINOS ANALÓGICOS (TERRENOS AMARRADOS), MFM, LCMA11CR3L320 tem número de peça GM50A015101RL3020, são novos e vêm com completo MKS Instruments garantia. Os controladores de fluxo de massa GE250A e GE300A são MGCs de uso geral, selados com elastômero, adequados para uma ampla variedade de aplicações. O GE250A pode variar de 100 a 250 slm (equivalente a N2), enquanto o GE300A pode variar de 150 a 300 slm (equivalente a N2). Ambos estão disponíveis com E/S analógica ou digital, utilizando os mais recentes algoritmos de controle para gás e resposta repetível ao ponto de ajuste. Tempos de estabilização de 1 a 2 segundos e precisões de ponto de ajuste abaixo de 1% do ponto de ajuste excedem os controladores de massa de alto fluxo típicos. O controle preciso é mantido até 2% da faixa de fluxo de escala total configurada. A capacidade multigás/multifaixa e as especificações de desempenho para precisão, faixa de controle e resposta transitória minimizam os requisitos de inventário do controlador de fluxo. O recurso multigás/multifaixa e outros controles personalizados são acessados por meio da interface de diagnóstico integrada. Um cabo Ethernet padrão e um navegador HTML habilitado para JAVA são as únicas ferramentas necessárias. Parâmetros de gás críticos para gases típicos de alta vazão já estão armazenados no MFC. Configure um controlador de fluxo de massa Série G selecionando o gás em um menu suspenso e especificando a faixa de fluxo em escala total desejada. Execute verificações de rotina do funcionamento do dispositivo, plote a resposta do fluxo e armazene dados operacionais para análise off-line usando a interface de diagnóstico MFC da série G.
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