MKS Instruments VÁLVULA LOPRO DE CORPO QUADRADO, Válvulas Upstream e Controladores de Pressão, Válvulas Upstream e Controladores de Pressão, PN LPV1-50-AC-CLVS
Esses MKS Instruments VÁLVULA LOPRO DE CORPO QUADRADO tem número de peça LPV1-50-AC-CLVS, são novos e vêm com completo MKS Instruments garantia. A válvula 245 é uma versão modificada da válvula de controle assável totalmente metálica Grainville-Philips Série 216. A válvula 245 é capaz de controlar pressão de 10-11 a 6.000 Torr, com vazão máxima de até 2.500 Torr-litros/seg (200 slm): A válvula pode ser usada com muitos gases corrosivos que impedem o uso de outras válvulas. Com o conjunto do acionador da válvula removido, a válvula pode ser aquecida a 450°C para aplicações UHV. O motor de passo usado para acionar o Tipo 245 permite resposta a mudanças de pressão ou ponto de ajuste em frações de segundo e acionará a válvula de uma posição totalmente fechada para uma posição totalmente aberta em apenas 15 segundos. O Controlador Tipo 244 completa o sistema. O sistema de controle de pressão/fluxo 244/245 é um sistema de controle de feedback de circuito fechado para uso em processos de vácuo que exigem uma válvula de controle totalmente metálica e assável, para controle de pressão ou fluxo de ampla faixa. O sistema 244/345, composto por um módulo de controle e uma válvula de vazamento servocontrolada, é ideal para processos de gás único, como pulverização catódica, gravação por pulverização catódica, controle de fonte de íons, implantação de íons, calibração de medidor de vácuo, etc.
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