Pfeiffer Vacuum Conjunto de fusíveis, Analisadores de Gás Residuais, Analisadores de Gás Residuais,  PN  PT 110 050 -T

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Pfeiffer PrimaPro QMG 250

Os espectrômetros de massa quadrupolo Pfeiffer Vacuum com detectores Faraday são os dispositivos preferidos para análise qualitativa da composição do gás em uma câmara de alto vácuo. Comparados aos medidores de vácuo, os espectrômetros de massa quadrupolo oferecem uma riqueza muito maior de informações sobre o vácuo. Um detector Faraday é muitas vezes suficiente para obter informações sobre vazamentos, liberação de vapor d'água ou contaminação com hidrocarbonetos sob alto vácuo. Para esse propósito, a Pfeiffer Vacuum oferece uma linha de espectrômetros de massa quadrupolo com uma variedade de faixas de massa e materiais de filamento.

As correntes iônicas fornecidas pelo espectrômetro de massa para a relação massa-carga dos componentes do gás fornecem informações significativas sobre um sistema de vácuo nas múltiplas fases de operação, seja para determinar a estanqueidade e a ausência de contaminação após a configuração ou para sua caracterização ao operar um processo de vácuo.

A faixa de pressão que pode ser alcançada no sistema de vácuo com base no projeto da câmara de vácuo e do sistema de bombeamento determina a seleção do espectrômetro de massa em relação ao detector. Um detector Faraday é frequentemente suficiente em alto vácuo, enquanto um multiplicador de elétrons secundário é necessário em ultra-alto vácuo para detectar densidades de gás muito baixas.

Outro critério chave é a faixa de massa a ser detectada. No sistema de vácuo tradicional, os gases atmosféricos como nitrogênio, oxigênio, argônio, vapor d'água e, geralmente, a contaminação por hidrocarbonetos leves são o foco principal. Para detectar esses gases, um espectrômetro de massa quadrupolo para a faixa entre 1 e 100 unidades de massa atômica (u) é o ideal, pois demonstra excelente separação de massa nesta faixa. Se também for necessário detectar gases mais pesados e seus componentes, como hidrocarbonetos de cadeia longa, a Pfeiffer Vacuum também oferece filtros de massa para essa finalidade de 1 a 200 u ou 1 a 300 u.

Uma fonte de íons aberta é a melhor escolha para a maioria das tarefas de análise de gases residuais, pois combina um design robusto com alta sensibilidade de detecção. Tarefas para as quais jatos de gás ou fluxos de gás devem ser analisados podem ser vantajosamente realizadas com uma fonte de íons fechada ou de feixe cruzado. Para a faixa de vácuo ultra-alto, também está disponível uma fonte de íons de grade com taxa de liberação de gases extremamente baixa. Graças à configurabilidade precisa dos espectrômetros de massa quadrupolo Pfeiffer Vacuum devido ao grande número de componentes para escolher, os espectrômetros podem ser selecionados de forma ideal para todas as tarefas de medição. Nossos especialistas em produtos e aplicações com muitos anos de experiência terão prazer em aconselhá-lo sobre a configuração do analisador de gases residuais apropriado.

Analisador de alta pressão Pfeiffer HPA 220

O analisador de alta pressão a vácuo Pfeiffer HPA 220 é um sistema de espectrômetro de massa modular e flexível com uma estação de bombeamento turbo seco para análise de gases no vácuo até pressões de 37 Torr (50 hPa). Dependendo do seu uso, com o Pfeiffer Vacuum HPA 220, cinco diferentes válvulas de entrada de gás eletropneumáticas e manuais podem ser selecionadas. Isto permite que até mesmo as menores impurezas no gás de processo sejam detectadas por gases reativos. Também evita eficazmente qualquer falsificação de leituras causada pela retrodifusão da câmara do analisador.

Monitor de processo de pulverização catódica Pfeiffer Vacuum SPM 220

O Monitor de Processo de Pulverização a Vácuo SPM 220 da Pfeiffer oferece a solução perfeita para análises qualitativas e quantitativas de gases de processos de pulverização catódica. A combinação da estação de turbobombeamento Pfeiffer Vacuum HiPace e do sistema de espectrômetro de massa com uma fonte de íons SPM especialmente desenvolvida permite análises precisas e atualizadas de gases de processo até uma pressão de 7,4 mTorr (10-2 hPa).

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Mais informações sobre estesPfeiffer Vacuum Conjunto de fusíveis  pode ser encontrado baixando o catálogo em PDF e os documentos abaixo. Basta abrir o pdf catálogo abaixo, execute a busca em pdf (ctrl F) e procure pelo PT 110 050 -T.