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Palavra-chave       Número da peça:      

× Bombas de vácuo Câmaras de vácuo modulares Câmaras de vácuo em aço inoxidável Câmaras de vácuo de alumínio ExploraVAC Câmaras Ilimitadas ExploraVAC Câmaras de Vácuo Conexões e Flanges Passatempos Válvulas de Vácuo Kits de reconstrução, peças e motores Vácuo Fluidos, Óleos e Graxas Turbobombas e controladores Filtros armadilhas e silenciadores Fornos de Convecção e Vácuo Detecção de vazamento e RGA Vácuo Pressão Medição Resfriadores e Banhos de Água Recirculantes
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Bomba de vácuo seco Edwards iXH 610 HARSH 200-230 VCA 50/60 Hz 3 ph. PN AC110A121100

Doença:
  Novo
Número da peça:
  P1011379
Garantia:
  Full Manufacturer's Warranty

Fora de estoque   

€42,496.10

Sobre Oferta: €31,872.08

Bomba de vácuo seco Edwards iXH 610 HARSH 200-230 VCA 50/60 Hz 3 ph. PN AC110A121100 31872.08
Esperando   1
Chegada Antecipada   1 on 2024-12-21
Moeda: Euro (Euro)

Descrição

Bomba de vácuo seco Edwards iXH 610 HARSH 200-230 VCA 50/60 Hz 3 ph.
Número de peça Edwards AC110A121100.

A Edwards iXH 610 é uma nova linha de bombas secas construídas para fabricação ecológica e processamento de processos químicos agressivos. Utilizando energia muito baixa, o eficiente mecanismo de raízes foi desenvolvido para reduzir drasticamente a potência de entrada para 1,3 kW, 60% inferior à geração anterior de bombas secas, reduzindo o impacto ambiental e diminuindo o custo de propriedade. A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem uma resistência à corrosão quatro vezes maior do que os produtos da Série iH. Os recursos avançados de manuseio de pó significam que o iXH proporcionará máxima confiabilidade e maior vida útil da bomba para processos de gravação multicamadas e consumo reduzido de energia para processos CVD, especialmente com produtos químicos HARSH.

As bombas Edwards série iXH 610 são compactas e de design leve, combinadas com ruído e vibração excepcionalmente baixos, tornando a iXH a bomba química seca mais versátil da linha Edwards. O iXH transformará suas expectativas em relação à tecnologia de bombas de vácuo secas, proporcionando benefícios reais e maior tempo de atividade, com impacto ambiental mínimo. As bombas iXH são projetadas para uso na maioria dos processos de semicondutores, proporcionando reduções significativas na potência de entrada. Para obter o manual de instruções completo, consulte DOWNLOADS.

Características e benefícios:
  • Principalmente para aplicações químicas HARSH
  • Velocidade máxima de bombeamento 665 m3/h-1 (391 CFM)
  • Pressão final 3,7 x 10-3 Torr
  • Não é necessária manutenção preventiva
  • Enchimentos de água de conexão rápida de 3/8 de polegada
  • Metades de conexão de água e energia
  • Sistema de resfriamento de água SS
  • Módulo de gás multimodo 44 slm

FORMULÁRIOS:
  • Bloqueio de carga
  • Transferir
  • Meteorologia
  • Litografia
  • Processo PVD de Deposição Física de Vapor
  • Deposição Física de Vapor PVD Pré-limpeza
  • Recozimento térmico rápido RTA
  • Tira/Cinza
  • Gravura
  • Fonte do Implante
  • Deposição de vapor químico de plasma de alta densidade HDP CVD
  • RTP de processamento térmico rápido
  • Deposição Química Subatmosférica de Vapor SACVD
  • Deposição de Vapor Químico de Tungstênio WCVD
  • Deposição Química-Vapor Modificada MCVD
  • Deposição de vapor químico aprimorada por plasma PECVD
  • Deposição de Vapor Químico de Baixa Pressão LPCVD


Folheto

Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
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Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, Novo México 87109-5805 USA

Telefone: (505) 872-0037
Fax: (505) 872-9001
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